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1. 发明申请

WO2010117176A3 영상 센터링 방법 审中-公开
公开(公告)号：WO2010117176A3
公开(公告)日：2010-10-14
申请号：PCT/KR2010/002081
申请日：2010-04-06
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사 , 황영민 , 박희재 , 이창열 , 현창홍
发明人： 황영민 , 박희재 , 이창열 , 현창홍
IPC分类号： G01N21/00 , G01B11/00
摘要： 본 발명은 영상 센터링 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 영상 센터링 방법에 있어서, 검사대상물을 제1배율의 광학계로 촬영하고, 촬영된 제1배율의 화상에서 찾고자 하는 검사영역의 위치를 설정하여 모델화상으로 등록하는 등록단계; 상기 검사대상물을 정해진 순서에 따라 제1배율보다 고배율인 제2배율의 광학계로 촬영하여 타겟화상을 획득하는 촬영단계; 상기 촬영단계에서 획득한 타겟화상을 제1배율의 크기로 축소하여 검사화상으로 등록하는 축소단계; 상기 모델화상에서 상기 검사화상을 검색하는 매칭단계; 상기 매칭단계를 통해 상기 검사화상이 검색되면, 상기 등록단계에서 설정된 상기 검사영역의 위치에 대응되도록 상기 제2배율의 광학계 또는 상기 검사대상물을 이동시키는 센터링단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

2. 发明申请

WO2014157882A1 ＴＳＶ 측정장치 및 측정방법 审中-公开
标题翻译： TSV测量装置和TSV测量方法
公开(公告)号：WO2014157882A1
公开(公告)日：2014-10-02
申请号：PCT/KR2014/002434
申请日：2014-03-24
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사
发明人： 황영민 , 김성룡 , 조태영
IPC分类号： G01N21/88 , H01L21/66
CPC分类号： H01L22/12 , G01N21/95692 , G01N2021/9513
摘要： TSV와 같은 비아홀을 측정할 수 있는 TSV 측정장치 및 측정방법이 개시된다. 측정대상물에 형성된 TSV를 측정하기 위한 TSV 측정장치는, 광원, 광원으로부터 조사되는 광의 경로 상에 제공되며 TSV의 종횡비(aspect ratio)에 따라 광원으로부터 조사되는 광의 조사면적을 조절하는 디지털 가변 조리개부, 디지털 가변 조리개부를 통과한 광을 서로 수직인 제1방향과 제2방향으로 분할하여 출력하고 제1방향에 배치된 측정대상물로부터 반사되는 제1반사광 및 제2방향에 배치된 미러로부터 반사되는 제2반사광을 결합하여 결합광으로 출력하는 빔 스플리터, 및 빔 스플리터로부터 안내된 결합광을 이용하여 TSV를 측정하는 검출부를 포함하고, 디지털 가변 조리개부는 물리적인 이동없이 TSV의 종횡비에 대응하여 선택적으로 서로 다른 구경 크기를 갖는 조리개 기능을 수행한다.
摘要翻译：公开了用于测量诸如TSV的通孔的TSV测量装置和TSV测量方法。用于测量形成在待测物体上的TSV的TSV测量装置包括：光源; 设置在从光源照射的光的路径上的数字可变孔径，用于根据TSV的纵横比来调节从光源照射的光的光照射面积; 一个分束器，用于通过将光分解为第一方向和第二方向彼此垂直来输出已经通过数字可变孔径的光，并且通过组合从物体反射的第一反射光并输出组合光测量设置在第一方向上的第二反射光和从沿第二方向设置的反射镜反射的第二反射光; 以及用于通过使用从分束器引导的组合光来测量TSV的检测器，其中数字可变孔径根据TSV的纵横比而执行具有选择性不同直径的孔的功能，而没有物理移动。

3. 发明申请

WO2014148781A1 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치 审中-公开
标题翻译：可测量颜色信息的三维形状测量设备
公开(公告)号：WO2014148781A1
公开(公告)日：2014-09-25
申请号：PCT/KR2014/002217
申请日：2014-03-17
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사
发明人： 조태영 , 황영민 , 김성룡 , 강상수 , 박희재
IPC分类号： G01B11/24 , G01B9/02 , G01N21/25
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/02029 , G01B9/02034 , G01B9/02057 , G01J3/0208 , G01J3/0229 , G01J3/50 , G01J3/506 , G01N21/8806 , G01N21/95 , G01N2021/8845 , G01N2021/9513
摘要： 본 발명은 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치에 관한 것이며, 본 발명의 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치는 간섭계를 이용하여 측정대상물의 형상을 측정하는 3차원 형상 측정 장치에 있어서, 광을 방출하는 광원; 상기 광원으로부터 방출된 광을 반사시키거나 또는 측정대상물에 의하여 반사된 광을 투과시키는 광분할기; 상기 광분할기에 의해 반사된 광을 상기 측정대상물에 집속시키는 렌즈부; 상기 측정대상물로부터 반사되는 광을 검출하는 광검출부; 상기 광원과 상기 광분할기 사이의 광경로 상에 배치되며 상기 광원의 중심 영역으로부터 방출되는 광을 차단하여 상기 렌즈부에서 발생하는 광의 간섭을 약화시키는 광조절부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明涉及能够测量颜色信息的三维形状测量装置。根据本发明能够测量通过使用干涉仪测量的物体的形状的彩色信息的三维形状测量装置包括：用于发射光的光源; 用于反射由光源发射的光或透射被被测量物体反射的光的光分离器; 透镜单元，用于将由分光器反射的光聚焦在被测量物体上; 光检测单元，用于检测由被测量物体反射的光; 以及光调节单元，设置在光源和分光器之间的光路上，用于屏蔽从光源的中心区域发射的光，从而减弱在透镜单元中产生的光的干扰。

4. 发明申请

WO2015041506A1 두께 측정 장치 및 이를 이용한 두께 측정 방법 审中-公开
标题翻译：用于测量厚度的装置和使用其测量厚度的方法
公开(公告)号：WO2015041506A1
公开(公告)日：2015-03-26
申请号：PCT/KR2014/008852
申请日：2014-09-23
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사
发明人： 박희재 , 황영민 , 조태영
IPC分类号： G01B11/06
CPC分类号： G01B11/0625
摘要： 본 발명은 두께 측정 장치에 관한 것이며, 본 발명의 두께 측정 장치는 반사광도계(Reflectometer)를 이용하는 두께 측정 장치에 있어서, 광을 방출하는 광원;상기 광원으로부터 방출되는 광을 제공받아 서로 다른 복수개의 주파수에 대하여 선택적으로 투과시켜 강도분포를 갖는 광으로 변조하되 상기 강도분포를 갖는 광의 파장 폭을 조절할 수 있는 광필터부; 상기 광필터부로부터 변조된 광을 측정대상물 측으로 조사하고, 상기 측정대상물 측으로부터 반사되는 광이 입사되는 광학계; 상기 광학계를 통과한 광을 제공받아 반사도 정보를 획득하는 광검출부; 상기 광필터부를 투과가능한 복수개의 주파수를 설정하여 상기 광필터부에 의해 변조되는 광의 파장 폭을 조절하며, 수학식에 의해 모델링되어 기저장된 이론반사도 정보와 상기 광검출부를 통해 획득된 반사도 정보를 비교함으로써 측정대상물의 두께를 측정하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明涉及一种厚度测量装置。本发明涉及一种用于测量厚度的装置，其是使用反射计测量厚度的装置，包括：用于发光的光源; 用于接收从光源发射的光的光滤波器单元，选择性地透射具有多个不同频率的光，以便调制为具有强度分布的光，其中调整具有强度分布的光的波长宽度 ; 光学系统，用于利用从所述滤光器单元调制的光照射被测量的物体，以及接收从被测量物体反射的光; 光检测单元，用于接收通过光学系统的光以获取反射信息; 以及控制单元，用于设置能够通过所述滤光器单元传输的多个频率，以便调整由所述滤光器单元调制的光的波长宽度，并且通过比较预先存储的理论值来测量所测量的目标的厚度通过数学公式建模的反射信息，具有通过光检测单元获取的反射信息。

5. 发明申请

WO2012173404A3 용접 서버 및 용접관리 시스템 审中-公开
公开(公告)号：WO2012173404A3
公开(公告)日：2012-12-20
申请号：PCT/KR2012/004693
申请日：2012-06-14
申请人： 주식회사 효성 , 장기영 , 황영민 , 류재덕 , 김희수
发明人： 장기영 , 황영민 , 류재덕 , 김희수
IPC分类号： G06Q50/04 , G06Q50/10
摘要： 본 발명은 용접 서버 및 용접관리 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 용접 서버는 제 1 랜카드(104)와 제 2 랜카드(102)를 구비하고, 또한 상기 제 1 랜카드(104)와 제 2 랜카드(102) 중 하나를 선택하는 애플리케이션(110)이 제공된다. 그리고 용접 서버(100)는 상기 제 1 랜카드(104)가 상기 애플리케이션(110)에 의해 선택되면, 네트워크에 접속된 용접제어장치(200)들의 IP 정보를 리드(read)한 후 그룹핑(Grouping) 동작을 수행한다. 또한 용접 서버(100)는 통신 가능한 용접제어장치(200)들과는 지속적으로 통신을 수행하면서 용접 데이터 및 이벤트 정보를 수집 관리하며, 통신 불가한 용접제어장치(200)들에 대해서는 지속적인 스캐닝 동작을 수행하여 통신 가능한 용접제어장치들을 검색한다. 이와 같은 본 발명에 따르면, 용접 품질 관리 측면에서 신뢰성이 향상되고, 네트워크를 구성하는 자원 낭비 및 통신 부하를 방지하는 이점이 있다.

6. 发明授权

KR101775125B1 액정 주입 상태 검사방법과 액정 주입 상태 검사장치 有权
公开(公告)号：KR101775125B1
公开(公告)日：2017-09-06
申请号：KR1020160088125
申请日：2016-07-12
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사
发明人： 황영민 , 김재호 , 김태욱 , 이종훈
IPC分类号： G02F1/1341
摘要： 본발명은상부기판과하부기판사이에액정이주입된액정셀을국부적으로가압함에따라변화되는액정셀의눌림량을통해액정의주입상태를검사할수 있는액정주입상태검사방법과액정주입상태검사장치에관한것이다. 이를위해액정주입상태검사방법은액정셀에기설정된가압력을제공하는가압단계와, 가압단계를거쳐기설정된가압력이제공되는가압위치에서액정셀의눌림량을측정하는측정단계와, 액정셀의눌림량과기설정된기준변형량을비교하는검사단계를포함한다. 검사단계를거쳐액정셀의눌림량이기설정된기준변형량의오차범위내에존재하는경우, 액정이정상적으로주입되었다고판단하고, 검사단계를거쳐액정셀의눌림량이기설정된기준변형량의오차범위를벗어나는경우, 액정의주입상태가불량이다라고판단한다.

7. 发明授权

KR101537854B1 두께 측정 장치 및 이를 이용한 두께 측정 방법 有权
标题翻译：用于测量厚度的装置和用于测量厚度的方法
公开(公告)号：KR101537854B1
公开(公告)日：2015-07-21
申请号：KR1020130112738
申请日：2013-09-23
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사
发明人： 박희재 , 황영민 , 조태영
IPC分类号： G01B11/06
CPC分类号： G01B11/0625
摘要： 본발명은두께측정장치에관한것이며, 본발명의두께측정장치는반사광도계(Reflectometer)를이용하는두께측정장치에있어서, 광을방출하는광원;상기광원으로부터방출되는광을제공받아서로다른복수개의주파수에대하여선택적으로투과시켜강도분포를갖는광으로변조하되상기강도분포를갖는광의파장폭을조절할수 있는광필터부; 상기광필터부로부터변조된광을측정대상물측으로조사하고, 상기측정대상물측으로부터반사되는광이입사되는광학계; 상기광학계를통과한광을제공받아반사도정보를획득하는광검출부; 상기광필터부를투과가능한복수개의주파수를설정하여상기광필터부에의해변조되는광의파장폭을조절하며, 수학식에의해모델링되어기저장된이론반사도정보와상기광검출부를통해획득된반사도정보를비교함으로써측정대상물의두께를측정하는제어부;를포함하는것을특징으로하는두께측정장치것을특징으로한다. 따라서, 본발명에의하면, 측정대상물의소재또는측정위치에상관없이두께측정정확도를향상시킬수 있는할 수있는두께측정장치가제공된다.

8. 发明公开

KR1020150033132A 두께 측정 장치 및 이를 이용한 두께 측정 방법 有权
标题翻译：用于测量厚度的装置和用于测量厚度的方法
公开(公告)号：KR1020150033132A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：KR1020130112738
申请日：2013-09-23
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사
发明人： 박희재 , 황영민 , 조태영
IPC分类号： G01B11/06
CPC分类号： G01B11/0625
摘要： 본발명은두께측정장치에관한것이며, 본발명의두께측정장치는반사광도계(Reflectometer)를이용하는두께측정장치에있어서, 광을방출하는광원;상기광원으로부터방출되는광을제공받아서로다른복수개의주파수에대하여선택적으로투과시켜강도분포를갖는광으로변조하되상기강도분포를갖는광의파장폭을조절할수 있는광필터부; 상기광필터부로부터변조된광을측정대상물측으로조사하고, 상기측정대상물측으로부터반사되는광이입사되는광학계; 상기광학계를통과한광을제공받아반사도정보를획득하는광검출부; 상기광필터부를투과가능한복수개의주파수를설정하여상기광필터부에의해변조되는광의파장폭을조절하며, 수학식에의해모델링되어기저장된이론반사도정보와상기광검출부를통해획득된반사도정보를비교함으로써측정대상물의두께를측정하는제어부;를포함하는것을특징으로하는두께측정장치것을특징으로한다. 따라서, 본발명에의하면, 측정대상물의소재또는측정위치에상관없이두께측정정확도를향상시킬수 있는할 수있는두께측정장치가제공된다.
摘要翻译：厚度测量装置技术领域本发明涉及一种厚度测量装置。使用反射计的本发明的厚度测量装置的特征在于包括光源; 滤光器单元通过接收从光源发射的光来选择性地透射多个不同的频率，以将光修改成具有强度分布的光，并且能够控制具有强度分布的光的带宽; 光学系统，将由所述光学滤光器单元修改的光发射到被测量物体并接收由所述物体反射的光; 光学检测单元，接收穿过光学系统的光以获得反射信息; 以及控制单元，其设定能够通过所述滤光器单元传输的所述多个频率，以控制由所述滤光器单元修改的光的带宽，并且比较由方程重新设计并由预先记录的理论反射信息和由所述滤光单元获得的反射信息光学检测单元来测量物体的厚度。因此，根据本发明，提供了能够提高与物体的材料或测量位置无关地测量厚度的精度的厚度测量装置。

9. 发明公开

KR1020140114156A 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치 有权
标题翻译：用于识别颜色的三维尺寸测量装置
公开(公告)号：KR1020140114156A
公开(公告)日：2014-09-26
申请号：KR1020130028630
申请日：2013-03-18
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사
发明人： 조태영 , 황영민 , 김성룡 , 강상수 , 박희재
IPC分类号： G01B11/24 , G01B9/02 , G01N21/25
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/02029 , G01B9/02034 , G01B9/02057 , G01J3/0208 , G01J3/0229 , G01J3/50 , G01J3/506 , G01N21/8806 , G01N21/95 , G01N2021/8845 , G01N2021/9513
摘要： The present invention relates to a three-dimensional shape measuring apparatus capable of measuring color information, wherein the three-dimensional shape measuring apparatus measuring the shape of a target using an interferometer comprises: an optical source emitting light; an optical divider reflecting the light emitted from the optical source or transmitting light reflected from the target; a lens part focusing the light, which is reflected by the optical divider, on the target; an optical detection part detecting the light reflected from the target; and an optical control part arranged on an optical path between the optical source and the optical divider, and deteriorating the interference of a light, which is generated from the lens part, by blocking the light emitted from the central area of the optical source. Therefore, the three-dimensional shape measuring apparatus according to the present invention is capable of measuring the shape of the target using the interferometer, and is capable of measuring the color information of the target additionally.
摘要翻译：本发明涉及能够测量颜色信息的三维形状测量装置，其中使用干涉仪测量目标的形状的三维形状测量装置包括：发射光的光源; 反射从光源发射的光或透射从靶反射的光的光分路器; 将由光分路器反射的光聚焦在目标上的透镜部分; 光检测部，检测从所述目标反射的光; 以及配置在光源与光分路器之间的光路上的光学控制部件，并且通过阻挡从光源的中心区域发出的光而使从透镜部分产生的光的干涉恶化。因此，根据本发明的三维形状测量装置能够使用干涉仪来测量目标的形状，并且能够另外测量目标的颜色信息。

10. 发明授权

KR101326204B1 박막 두께 측정장치 및 방법 有权
标题翻译：用于测量薄膜厚度的装置和方法
公开(公告)号：KR101326204B1
公开(公告)日：2013-11-08
申请号：KR1020130004698
申请日：2013-01-16
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사
发明人： 김태욱 , 조태영 , 황영민 , 안우정 , 박희재
IPC分类号： G01B11/06
摘要： 형상측정기능의 고 분해능을 유지함과 동시에 두께 측정 정확도를 향상시킬 수 있는 박막 두께 측정장치 및 방법이 개시된다. 반사광도계의 원리(Reflectometry)를 이용하여 박막의 두께를 측정하는 박막 두께 측정장치는, 제1광원, 상기 제1광원으로부터 조사되는 광의 경로 상에 특정 파장 대역의 단일 파장 광을 조사하는 제2광원, 상기 제1 및 제2광원으로부터 각각 조사된 광을 상기 박막에 집속하고, 상기 박막 측으로부터 반사된 광을 안내하는 대물렌즈를 포함하는 광학계, 상기 광학계로부터 안내된 광을 이용하여 상기 박막의 두께를 측정하는 제1검출부 및 상기 광학계로부터 안내된 광을 이용하여 상기 박막의 영상 정보를 검출하는 제2검출부를 포함하고, 상기 제1검출부는 상기 제1광원의 광이 조사된 영역 중 상기 제2광원의 단일 파장 광이 조사된 영역과 겹쳐지는 영역을 제외한 나머지 영역을 이용하여 상기 박막의 두께를 측정한다.

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