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1. 发明授权

KR100738870B1 회전형 타깃관 스퍼터링용 음극설비 有权
标题翻译：用于喷射可旋转目标管的阴极装置
公开(公告)号：KR100738870B1
公开(公告)日：2007-07-12
申请号：KR1020050074757
申请日：2005-08-16
申请人： 어플라이드 머티어리얼즈 게엠베하 운트 컴퍼니 카게 , 어플라이드 머티리얼스, 인코포레이티드
发明人： 뉴콤리챠드 , 트르베스코트 , 리조톰 , 가와카미켄 , 마르크바르트디트마 , 자우어안드레아스
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： F03H1/00 , H01J37/3405
摘要： 본 발명은 플라즈마를 흡장(吸藏)시키기 위한 자계(磁界)를 발생시키기 위하여 비회전 자석장치(非回轉磁石裝置)(23)를 갖고 있는 타깃관(target tube)(12)을 스퍼터링(sputtering) 시키기 위하여, 이때 상기 타깃관(12)은 진공실 내의 자계 속에서 회전될 수 있으며, 최소 1개 이상의 지지구조(1) 안에는 타깃관(12)을 회전시킬 수 있는 회전 지지축(6)이 장치되어 있고, 또한 상기 타깃관(12) 내에는 자석장치(23)를 지지하기 위한 파지부(把持部)가 장치되어 있으며, 상기 지지축(6)과 타깃관(12) 사이에는 타깃관(12)의 교체를 위한 최소 1개 이상의 분해 가능한 결합장치가 장치되어 있는 타깃관 스퍼터링 음극설비(陰極設備)에 관한 것이다.
전술한 바와 같은 음극설비에 있어서 운전조작 및 취급에 필요로 하는 공간과 시간을 크게 소요하지 않고 지지축(6)과 타깃관(12)에 대한 동시적인 고부하 동축성(高負荷同軸性)과, 습기 및 진공에 대한 안전하고 확실한 밀페성과, 빈번하게 반복되는 상기 지지축(6)과 타깃관(12)의 결합 및 분리작업의 용이성 및 내구성을 달성하고, 일정한 축 위치에서 동심회전(同心回轉)을 보장하는 본 발명의 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따라 적어도 상기 회전구동 지지축(6)과 상기 타깃관(12) 사이에 1개의 동축 스페이서(15)와 2개의 분리/결합식 분리부(分離部)(32/53)들을 장치하고, 상기 분리부(32/53)들을 이용하여 한편으로는 상기 지지축(6)과 스페이서(15) 사이와, 다른 한편으로는 상기 스페이서(15)와 타깃관(12) 사이에 회전방지 및 정밀결합 장치를 분리/재결합 가능하도록 하는 방법이 제안되었다.
캐소드 배열, 연료분사, 동심회전, 비회전 자석장치 구비관 , 플라즈마 흡장

2. 发明公开

KR1020060050479A 회전형 타깃관 스퍼터링용 음극설비 有权
标题翻译：用于喷射可旋转目标管的阴极装置
公开(公告)号：KR1020060050479A
公开(公告)日：2006-05-19
申请号：KR1020050074757
申请日：2005-08-16
申请人： 어플라이드 머티어리얼즈 게엠베하 운트 컴퍼니 카게 , 어플라이드 머티리얼스, 인코포레이티드
发明人： 뉴콤리챠드 , 트르베스코트 , 리조톰 , 가와카미켄 , 마르크바르트디트마 , 자우어안드레아스
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： F03H1/00 , H01J37/3405
摘要： 본 발명은 플라즈마를 흡장(吸藏)시키기 위한 자계(磁界)를 발생시키기 위하여 비회전 자석장치(非回轉磁石裝置)(23)를 갖고 있는 타깃관(target tube)(12)을 스퍼터링(sputtering) 시키기 위하여, 이때 상기 타깃관(12)은 진공실 내의 자계 속에서 회전될 수 있으며, 최소 1개 이상의 지지구조(1) 안에는 타깃관(12)을 회전시킬 수 있는 회전 지지축(6)이 장치되어 있고, 또한 상기 타깃관(12) 내에는 자석장치(23)를 지지하기 위한 파지부(把持部)가 장치되어 있으며, 상기 지지축(6)과 타깃관(12) 사이에는 타깃관(12)의 교체를 위한 최소 1개 이상의 분해 가능한 결합장치가 장치되어 있는 타깃관 스퍼터링 음극설비(陰極設備)에 관한 것이다.
전술한 바와 같은 음극설비에 있어서 운전조작 및 취급에 필요로 하는 공간과 시간을 크게 소요하지 않고 지지축(6)과 타깃관(12)에 대한 동시적인 고부하 동축성(高負荷同軸性)과, 습기 및 진공에 대한 안전하고 확실한 밀페성과, 빈번하게 반복되는 상기 지지축(6)과 타깃관(12)의 결합 및 분리작업의 용이성 및 내구성을 달성하고, 일정한 축 위치에서 동심회전(同心回轉)을 보장하는 본 발명의 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따라 적어도 상기 회전구동 지지축(6)과 상기 타깃관(12) 사이에 1개의 동축 스페이서(15)와 2개의 분리/결합식 분리부(分離部)(32/53)들을 장치하고, 상기 분리부(32/53)들을 이용하여 한편으로는 상기 지지축(6)과 스페이서(15) 사이와, 다른 한편으로는 상기 스페이서(15)와 타깃관(12) 사이에 회전방지 및 정밀결합 장치를 분리/재결합 가능하도록 하는 방법이 제안되었다.
캐소드 배열, 연료분사, 동심회전, 비회전 자석장치 구비관 , 플라즈마 흡장

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