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1. 发明公开

KR1020090097942A 집적 회로-ＭＥＭＳ 플랫폼상에 구조물을 지지하는 검사-질량체 및 이의 제조 방법 有权
标题翻译：集成电路MEMS平台支持结构的防护质量及其制造方法
公开(公告)号：KR1020090097942A
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：KR1020097014975
申请日：2007-10-24
申请人： 아쿠스티카 인코퍼레이티드
发明人： 다이아몬드브렛엠 , 질레즈닉매튜에이 , 밴드미어잔이 , 가브리엘카이검제이
IPC分类号： H01L29/84 , G01P15/125
CPC分类号： B81C1/00246 , B81C2203/0742
摘要： Provided is a micro-electromechanical-system (MEMS) device including a substrate; at least one semiconductor layer provided on the substrate; a circuit region including at least one chip containing drive/sense circuitry, the circuit region provided on the at least one semiconductor layer; a support structure attached to the substrate; at least one elastic device attached to the support structure; a proof-mass suspended by the at least one elastic device and free to move in at least one of the x-, y-, and z-directions; at least one top electrode provided on the at least one elastic device; and at least one bottom electrode located beneath the at least one elastic device such that an initial capacitance is generated between the at least one top and bottom electrodes, wherein the drive/sense circuitry, proof-mass, supporting structure, and the at least one top and bottom electrodes are fabricated on the at least one semiconductor layer.
摘要翻译：提供了一种包括基板的微机电系统（MEMS）装置; 设置在所述基板上的至少一个半导体层; 电路区域，包括至少一个包含驱动/感测电路的芯片，所述电路区域设置在所述至少一个半导体层上; 附着在基板上的支撑结构; 连接到所述支撑结构的至少一个弹性装置; 由所述至少一个弹性装置悬挂的自由移动的x，y和z方向中的至少一个; 设置在所述至少一个弹性装置上的至少一个顶部电极; 以及位于所述至少一个弹性装置下方的至少一个底部电极，使得在所述至少一个顶部和底部电极之间产生初始电容，其中所述驱动/感测电路，证明质量，支撑结构和所述至少一个在至少一个半导体层上制造顶部和底部电极。

2. 发明授权

KR101454497B1 집적 회로-ＭＥＭＳ 플랫폼상에 구조물을 지지하는 검사-질량체 및 이의 제조 방법 有权
标题翻译：集成电路MEMS平台上的支撑结构的证明质量及其制造方法
公开(公告)号：KR101454497B1
公开(公告)日：2014-10-23
申请号：KR1020097014975
申请日：2007-10-24
申请人： 아쿠스티카 인코퍼레이티드
发明人： 다이아몬드브렛엠 , 질레즈닉매튜에이 , 밴드미어잔이 , 가브리엘카이검제이
IPC分类号： H01L29/84 , G01P15/125
CPC分类号： B81C1/00246 , B81C2203/0742
摘要： 기판; 기판상에 제공된 적어도 하나의 반도체층; 구동/감지 회로소자를 가지는 적어도 하나의 칩을 포함하고, 적어도 하나의 반도체층 상에 제공된 회로 영역; 기판에 부착된 지지 구조물; 지지 구조물에 부착된 적어도 하나의 탄성 장치; x, y 및 z-방향 중 적어도 하나의 방향으로 자유롭게 이동하고 적어도 하나의 탄성 장치에 의해 부유된 검사-질량체; 적어도 하나의 탄성 장치상에 제공된 적어도 하나의 상부 전극; 및 초기 커패시턴스가 적어도 하나의 상부 전극과 적어도 하나의 하부 전극 사이에 발생되도록 적어도 하나의 탄성 장치 아래에 위치한 적어도 하나의 하부 전극를 포함하는 MEMS(micro-electromechanical-system) 장치가 제공되어 있으며, 구동/감지 회로소자, 검사-질량체, 지지 구조물, 적어도 하나의 상부 전극 및 적어도 하나의 하부 전극은 적어도 하나의 반도체층 상에 제조된다.
MEMS 장치, 구동/감지 회로소자, 검사-질량체

3. 发明授权

KR101414416B1 장벽을 가지는 집적 회로 장치 및 이의 제조 방법 有权
标题翻译：一种具有屏障的集成电路器件及其制造方法
公开(公告)号：KR101414416B1
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：KR1020087031742
申请日：2007-05-24
申请人： 아쿠스티카 인코퍼레이티드
发明人： 다이아몬드브렛트엠 , 질레즈닉매튜에이
IPC分类号： H01L29/82 , H01L29/84 , H01L27/14
CPC分类号： B81C1/00246 , B81B2201/0257 , B81B2207/015 , B81B2207/07 , B81C2203/0778 , H01L23/564 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 집적 회로 장치는 반도체 기판을 포함하는 반도체 다이, 반도체 다이의 주변 영역을 따라 배치된 구동/감지 회로, 반도체 다이의 중심 영역 내에 배치된 MEMS 장치, 및 구동/감지 회로와 MEMS 장치 사이에 배치된 장벽을 포함한다.
집적 회로, 반도체 기판, 반도체 다이, 구동/감지 회로, MEMS 장치

4. 发明公开

KR1020090039686A 장벽을 가지는 집적 회로 장치 및 이의 제조 방법 有权
标题翻译：具有障碍物的集成电路装置及其制造方法
公开(公告)号：KR1020090039686A
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：KR1020087031742
申请日：2007-05-24
申请人： 아쿠스티카 인코퍼레이티드
发明人： 다이아몬드브렛트엠 , 질레즈닉매튜에이
IPC分类号： H01L29/82 , H01L29/84 , H01L27/14
CPC分类号： B81C1/00246 , B81B2201/0257 , B81B2207/015 , B81B2207/07 , B81C2203/0778 , H01L23/564 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： An integrated circuit device includes a semiconductor die, the semiconductor die including a semiconductor substrate, driving/control circuitry disposed along a peripheral region of the semiconductor die, a MEMS device disposed within a central region of the semiconductor die, and a barrier disposed between the driving/control circuitry and the MEMS device.
摘要翻译：集成电路器件包括半导体管芯，半导体管芯包括半导体衬底，沿着半导体管芯的周边区域设置的驱动/控制电路，设置在半导体管芯的中心区域内的MEMS器件，驱动/控制电路和MEMS器件。

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