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    • 6. 发明公开
    • 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 방법 및 시스템
    • 用于检测和分类基板缺陷的方法和系统
    • KR1020120040257A
    • 2012-04-26
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    • 슈바이처장-필립리후이펀린샤오펑꾸오샤오펑꾸오펑쑨샤오웨이
    • G01N21/896
    • G01N21/896G01N2021/8967
    • 기판의 결함을 검출하고 분류하기 위한 방법 및 시스템이 제공된다. 이 시스템은, 투명 또는 반투명 기판(260)에 광을 조사하도록 구성되는 제1 조명 유닛(210)과 제1 조명 유닛(210)이 기판(260)에 광을 조사할 때 기판(260)으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제1 이미지형성 유닛(220)을 포함하는 제1 채널; 기판(260)에 광을 조사하도록 구성되는 제2 조명 유닛(210)과 제2 조명 유닛(210)이 기판(260)에 광을 조사할 때 기판(260)으로부터 광을 감지함으로써 이미지를 촬영하도록 구성되는 제2 이미지형성 유닛(230)을 포함하는 제2 채널; 각각 제1 이미지형성 유닛(220)에 의해 촬영된 이미지와 제2 이미지형성 유닛(230)에 의해 촬영된 이미지를 사용하여 기판(260)의 두 이미지를 구성하도록 구성되는 이미지 구성 모듈(240); 및 기판(260)이 결함을 가질 경우, 기판(260)의 결함이 기판(260)의 두 이미지에서 나타나는 위치의 관계에 기초하여, 결함이 기판(260) 상에 있는지 또는 기판(260) 내에 있는지를 검출하도록 구성되는 이미지 처리 모듈(250)을 포함한다. 이 방법 및 시스템을 사용함으로써, 투명 또는 반투명 기판(260)이 결함을 갖는지가 검출되고 분류될 수 있다.