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1. 发明公开

KR1020130016138A 박막패턴 형성장치, 박막패턴 형성방법, 및 장치의 조정방법 有权
标题翻译：薄膜图案形成装置，薄膜图案形成方法和装置的调整方法
公开(公告)号：KR1020130016138A
公开(公告)日：2013-02-14
申请号：KR1020120085951
申请日：2012-08-06
申请人： 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
发明人： 오카모토유지 , 이소게이지
IPC分类号： B05C5/00 , B05D7/24 , H05K3/28
CPC分类号： B05C5/00 , B05B12/084 , B05C11/10 , B05C21/00 , B05D3/00
摘要： PURPOSE: A thin film pattern forming device is provided to form a thin film pattern by restraining the operation of an apparatus by forming a thin film pattern even in a state defects are generated in a nozzle hole. CONSTITUTION: A thin film pattern forming device comprises: a stage(25) supporting a substrate(50), a nozzle unit(40), a mobile apparatus(21), a first photographing apparatus(32), and a control apparatus(33). The nozzle unit comprises a plurality of nozzle holes which discharges liquid droplet of a thin film material to the substrate. The first photographing apparatus detects a thin film pattern formed by a thin film material spread on the substrate. The control apparatus forms a inspection pattern by a thin film material attached to the substrate by discharging liquid droplet onto the substrate, obtains image data about the inspection pattern and detects the state of the nozzle hole of the nozzle unit. [Reference numerals] (20) Surface plate; (21) Mobile apparatus; (25) Supporting apparatus; (30) Pillar; (31) Beam; (32) Photographing unit; (33) Control unit; (34) Memorizing unit; (35) Input unit; (36) Output unit; (37) Repairing unit; (40) Nozzle unit; (50) Substrate; (65) Nozzle unit supporting apparatus
摘要翻译：目的：提供薄膜图案形成装置，以通过形成薄膜图案来限制装置的操作来形成薄膜图案，即使在状态下在喷嘴孔中产生缺陷。构成：薄膜图案形成装置，包括：支撑基板（50）的台（25），喷嘴单元（40），移动装置（21），第一拍摄装置（32）和控制装置）。喷嘴单元包括多个喷嘴孔，其将薄膜材料的液滴排放到基板。第一摄影装置检测由扩散在基板上的薄膜材料形成的薄膜图案。控制装置通过将液滴喷射到基板上而通过附着在基板上的薄膜材料形成检查图案，获得关于检查图案的图像数据，并检测喷嘴单元的喷嘴孔的状态。（附图标记）（20）表面板; （21）移动设备; （25）配套设备; （30）支柱; （31）梁; （32）摄影单位; （33）控制单元; （34）记忆单位; （35）输入单元; （36）输出单元; （37）维修单位; （40）喷嘴单元; （50）基材; （65）喷嘴单元支撑装置

2. 发明授权

KR101322198B1 박막형성방법 및 박막형성장치 有权
标题翻译：薄膜形成方法和薄膜形成装置
公开(公告)号：KR101322198B1
公开(公告)日：2013-10-28
申请号：KR1020120071653
申请日：2012-07-02
申请人： 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
发明人： 이소게이지
IPC分类号： H01L21/027 , B05C5/00 , B05C9/12 , H05K3/10
摘要： 스루풋의 저하를 초래하는 일 없이, 기판에 부착된 박막재료를 경화시킬 수 있는 박막형성방법을 제공한다.
기판을 스테이지에 지지하고, 노즐헤드로부터 광경화성의 박막재료의 액적을 토출시켜, 기판의 표면에 박막재료의 액적을 착탄시킨다. 기판에 착탄된 박막재료에, 가경화용 광원으로부터 광을 조사하여, 박막재료의 표층부를 경화시킨다. 액적을 착탄시키는 공정, 및 박막재료의 표층부를 경화시키는 공정 후, 기판을 스테이지로부터 반출한다.

3. 发明公开

KR1020120036287A 레이저 조사장치, 레이저 조사방법, 및 절연막 형성장치 有权
标题翻译：激光辐射装置，激光辐射方法和绝缘膜形成装置
公开(公告)号：KR1020120036287A
公开(公告)日：2012-04-17
申请号：KR1020110102191
申请日：2011-10-07
申请人： 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
发明人： 이소게이지
IPC分类号： H05K3/28 , H01L21/60 , H01S3/02
CPC分类号： H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： PURPOSE: A laser irradiating device, a laser irradiating method, and an insulation layer forming device are provided to form a resist pattern with high quality by removing resist materials in an incident location through a pulse laser beam. CONSTITUTION: A stage(50) includes a chuck plate(50a) for absorbing a print wire plate(60). An ink-jet print(40) spreads ultraviolet curable ink(41) on the print wire plate. A laser source(21) emits a pulse laser beam according to a control signal of a control device(30). A laser beam passing through a transmission area of a mask(22) is inputted to a galvano scanner(24) by the reflection on a fold mirror(23). The galvano scanner emits the output direction of the inputted laser beam in a 2D direction.
摘要翻译：目的：提供激光照射装置，激光照射方法和绝缘层形成装置，通过脉冲激光束在入射位置除去抗蚀剂材料，形成高质量的抗蚀剂图案。构成：台架（50）包括用于吸收打印线板（60）的卡盘（50a）。喷墨印刷（40）将紫外线固化油墨（41）在印刷线板上铺展。激光源（21）根据控制装置（30）的控制信号发射脉冲激光束。穿过掩模（22）的透射区域的激光束通过折射镜（23）上的反射被输入到电流扫描仪（24）。电动扫描仪沿2D方向发射输入的激光束的输出方向。

4. 发明授权

KR101369700B1 박막패턴 형성장치, 박막패턴 형성방법, 및 장치의 조정방법 有权
标题翻译：薄膜图案形成装置，薄膜图案形成方法和装置的调整方法
公开(公告)号：KR101369700B1
公开(公告)日：2014-03-04
申请号：KR1020120085951
申请日：2012-08-06
申请人： 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
发明人： 오카모토유지 , 이소게이지
IPC分类号： B05C5/00 , B05D7/24 , H05K3/28
摘要： 노즐구멍 막힘 등의 불량이 발생하면, 가동 중의 장치를 정지하여 노즐헤드를 교환하여야 한다. 장치의 가동 정지시간을 삭감하는 기술이 요망되고 있다.
스테이지에 지지된 기판에, 박막재료의 액적을 토출하는 복수의 노즐구멍이 형성된 노즐유닛이 대향한다. 이동기구가, 노즐유닛에 대하여, 기판을, 기판의 면내방향으로 이동시킨다. 기판에 도포된 박막재료에 의하여 형성된 박막패턴을 제1 촬상장치가 검출한다. 제어장치가, 기판에 노즐유닛으로부터 박막재료의 액적을 토출시켜, 기판에 부착된 박막재료에 의하여 검사패턴을 형성한다. 또한, 제1 촬상장치로 촬상된 검사패턴의 화상데이터를 취득하여, 해석함으로써, 노즐유닛의 노즐구멍의 양호 및 불량을 판정한다.

5. 发明公开

KR1020130006316A 박막형성방법 및 박막형성장치 有权
标题翻译：薄膜成型方法和薄膜成型装置
公开(公告)号：KR1020130006316A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：KR1020120071653
申请日：2012-07-02
申请人： 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
发明人： 이소게이지
IPC分类号： H01L21/027 , B05C5/00 , B05C9/12 , H05K3/10
CPC分类号： H01L21/0274 , B05C5/005 , B05C9/12 , B05D1/02 , B05D3/061 , B05D7/24 , H05K3/101
摘要： PURPOSE: A method and apparatus for forming a thin film are provided to harden thin film materials attached to a substrate without the deterioration of a throughput by separately performing a temporary hardening process and a main hardening process. CONSTITUTION: A lifter(31,32) is guided by a linear guide(30) and moves in an x direction. A stage(55) is received in a first thin film material discharge station(23). The stage is guided by a linear guide(56) and moves in a y direction cross the x direction. The lifter moves to the first thin film material discharge station to load a substrate(40) on the stage. A nozzle head unit(57) is supported by a support member(58).
摘要翻译：目的：提供一种用于形成薄膜的方法和装置，用于通过分别执行临时硬化处理和主要硬化处理来硬化附着在基板上的薄膜材料，而不会降低生产率。构成：升降机（31,32）由直线导轨（30）引导并沿x方向移动。阶段（55）被容纳在第一薄膜材料放电站（23）中。舞台由直线导轨（56）引导，并沿x方向移动。升降器移动到第一薄膜材料放电站以将基板（40）加载在载物台上。喷嘴头单元（57）由支撑构件（58）支撑。

6. 发明公开

KR1020010111016A 레이저 가공장치 및 가공방법 无效
标题翻译：激光加工设备和加工方法
公开(公告)号：KR1020010111016A
公开(公告)日：2001-12-15
申请号：KR1020010031657
申请日：2001-06-07
申请人： 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
发明人： 이소게이지
IPC分类号： H01S3/10
摘要： 본 발명은 레이저 가공장치 및 가공방법에 관한 것으로서,
자외선영역의 파장의 레이저빔을 사용하여, 가공시간을 단축시키는 것이 가능한 레이저 가공장치 및 가공방법을 제공하는 것을 목적으로 하며,
제어수단이 주기적인 파형을 가지는 제1계기신호와, 제1계기신호에 동기(同期)된 주기적인 파형을 가지는 제2계기신호를 출력하며, 제1레이저광원이 제1계기신호에 동기되어, 자외선영역의 파장을 가지는 제1펄스레이저빔을 출사하고, 제2레이저광원이 제2계기신호에 동기되어, 자외선영역의 파장을 가지는 제2펄스레이저빔을 출사하며, 집광광학계가 제1펄스레이저빔과 제2펄스레이저빔을 동일점에 집광하고, 집광광학계에서 집광된 펄스레이저빔이 조사되는 위치로 유지수단이 피가공물을 유지하는 것을 구성상의 특징으로 한다.

7. 发明授权

KR101840932B1 기판 제조 방법 및 레이저 가공 장치 有权
标题翻译：基板制造方法和激光加工装置
公开(公告)号：KR101840932B1
公开(公告)日：2018-03-21
申请号：KR1020160067893
申请日：2016-06-01
申请人： 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
发明人： 이소게이지
IPC分类号： H01L21/768 , H01L21/268 , H01L21/02
摘要： 적외레이저의광에너지를흡수하기위한재료의도포정밀도를높이지않고, 또한레이저에너지의이용효율을높이는것이가능한기판제조방법을제공한다. 내부도체층, 절연층, 및표층도체층이이 순서로적층된적층구조를포함하는기판의표층도체층상에, 적외역의파장의광을흡수하는표층막의액상재료를도포함으로써, 표층막을형성한다. 평면에서보았을때 표층막의내부에빔스폿이배치되는조건으로, 적외역의레이저빔을표층막에입사시킴으로써, 표층도체층및 절연층에바이어홀을형성한다.
摘要翻译：本发明提供一种不提高红外激光的光能吸收用材料的涂布精度就能够提高激光能量的利用效率的基板制造方法。通过施加一个内导体层，绝缘层，和包含层叠在表层导体层序列此，液体材料的吸收光的波长在红外范围内的表面层，所述薄膜表面层中的叠层结构的衬底的表面导体层。通过使红外线区域的激光入射到表面层膜中，在从平面观察时束点位于表面层膜内部的条件下，在通孔表面层导体层和绝缘层中形成通孔。

8. 发明公开

KR1020160142779A 기판 제조 방법 및 레이저 가공 장치 审中-实审
标题翻译：基板制造方法和激光加工装置
公开(公告)号：KR1020160142779A
公开(公告)日：2016-12-13
申请号：KR1020160067893
申请日：2016-06-01
申请人： 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
发明人： 이소게이지
IPC分类号： H01L21/768 , H01L21/268 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/76897 , H01L21/02063 , H01L21/02288 , H01L21/268 , H01L21/768 , H01L21/7687 , H01L21/76894
摘要： 적외레이저의광에너지를흡수하기위한재료의도포정밀도를높이지않고, 또한레이저에너지의이용효율을높이는것이가능한기판제조방법을제공한다. 내부도체층, 절연층, 및표층도체층이이 순서로적층된적층구조를포함하는기판의표층도체층상에, 적외역의파장의광을흡수하는표층막의액상재료를도포함으로써, 표층막을형성한다. 평면에서보았을때 표층막의내부에빔스폿이배치되는조건으로, 적외역의레이저빔을표층막에입사시킴으로써, 표층도체층및 절연층에바이어홀을형성한다.

9. 发明授权

KR101384926B1 레이저 조사장치, 레이저 조사방법, 및 절연막 형성장치 有权
标题翻译：激光照射装置，激光照射方法和绝缘膜形成装置
公开(公告)号：KR101384926B1
公开(公告)日：2014-04-11
申请号：KR1020110102191
申请日：2011-10-07
申请人： 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
发明人： 이소게이지
IPC分类号： H05K3/28 , H01L21/60 , H01S3/02
CPC分类号： H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： [과제] 레지스트패턴을 고품질로 형성한다.
[해결수단] 펄스레이저빔을 출사하는 레이저광원과, 기판을 지지하는 스테이지와, 스테이지에 지지된 기판 상에 레지스트재료를 도포하는 도포장치와, 레이저광원으로부터 출사한 펄스레이저빔을, 도포장치에 의하여 도포된 레지스트재료 상에 집광하여 전달하여, 전달위치의 레지스트재료를 경화시키는 제1 전달광학계와, 레이저광원으로부터 출사한 펄스레이저빔을, 제1 전달광학계에 의하여 전달된 펄스레이저빔에 의하여 경화된 레지스트재료 상에 전달하여, 전달위치의 레지스트재료를 제거하는 제2 전달광학계와, 레이저광원으로부터 출사한 펄스레이저빔을 제1 전달광학계 또는 제2 전달광학계에 선택적으로 입사시키는 광로전환장치를 가지는 레이저 조사장치를 제공한다.

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