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    • 3. 发明公开
    • 반도체 테스트 장치
    • 半导体测试设备
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    • 본발명의일 실시예에의한반도체테스트장치는미테스트반도체칩, 2차불량반도체칩, 및양품반도체칩이적재될수 있는커스터머트레이가수납된트레이수납부, 상기트레이수납부로부터공급된상기미테스트반도체칩을로딩세트플레이트에위치시키고, 상기미테스트반도체칩을테스트트레이에로딩시키는로딩부, 상기테스트트레이가투입및 반출되며, 상기테스트트레이에적재된반도체칩들을테스트하는테스트부, 상기테스트부로부터반출된상기테스트트레이에적재된반도체칩들을언로딩하며, 테스트된반도체칩들을 1차불량반도체칩, 상기 2차불량반도체칩, 및상기양품반도체칩으로분류하여언로딩세트플레이트에위치시키는언로딩부, 및상기 2차불량반도체칩, 및상기양품반도체칩을상기트레이수납부로이송시키고, 상기 1차불량반도체칩을상기로딩세트플레이트로이송시키는리테스트제어부를포함하며, 상기 1차불량반도체칩은상기테스트부에서리테스트되는것을특징으로한다.
    • 根据本发明的实施方式的半导体检查装置中的非测试半导体芯片,所述第二坏的半导体芯片,和一个无缺陷的半导体芯片是keoseuteomeo收容托盘是托盘的数量在堆叠,其中所述非测试从托盘的隔室供给 半导体芯片被定位在装载板组,所述非测试和装载单元装载到测试托盘上,所述半导体芯片,其中,所述测试盘放入和取出,测试单元,用于测试堆叠在测试托盘上的半导体芯片的测试单元, 堆叠在从取出的测试盘和所述测试半导体芯片主坏的半导体芯片,所述第二半导体坏芯片,以及将所述无负载组分为无缺陷的半导体芯片板的卸载半导体芯片的卸载 并且第二有缺陷的半导体芯片和良好的半导体芯片被转移到托盘接收部分,并且第一有缺陷的半导体芯片被转移到装载组保持器 包括木马宋力测试控制器到主坏的半导体芯片,其特征在于由所述测试单元的重新测试。