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1. 发明公开

KR1020000021332A 고정 눈금자를 갖는 박막 형성 장치의 회전 작업대 无效
标题翻译：薄膜形成装置的旋转切割
公开(公告)号：KR1020000021332A
公开(公告)日：2000-04-25
申请号：KR1019980040351
申请日：1998-09-28
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이시경 , 김정태 , 라관출
IPC分类号： H01L21/312
摘要： PURPOSE: A spin chuck with a scale is to accurately measure a width of a washed portion of a wafer, from which an SOG(Spin On Glass) film is removed, thereby reducing a measuring error due to an individual difference and thus increasing the productivity. CONSTITUTION: A spin chuck of a thin film forming apparatus comprises a rotational plate (120) on which a wafer(110) is disposed, a rotational shaft(130) connected to a center portion of the rotational plate, a driving apparatus(140) rotating the rotational shaft, a scale(150) fixedly mounted on a corresponding place vertically apart from a terminal end of the wafer at an interval and a supporter(160) on which the scale is fixed. The scale has a scale mark formed toward a center portion of the wafer so as to measure a width of a washed portion of a wafer using the scale mark. Therefore, an operator can measure the width of the washed portion without stopping a whole process.
摘要翻译：目的：具有刻度的旋转卡盘是为了精确地测量晶片的洗涤部分的宽度，从中除去SOG（旋转玻璃）膜，从而减少由于个体差异导致的测量误差，从而提高生产率。构成：薄膜形成装置的自旋卡盘包括旋转板（120），其上设置有晶片（110），连接到旋转板的中心部分的旋转轴（130），驱动装置（140）旋转所述旋转轴，刻度尺（150），其间隔地固定地安装在与所述晶片的终端垂直分隔的相应位置上，并且所述支架（160）固定在所述刻度尺上。刻度具有朝向晶片的中心部分形成的刻度，以便使用刻度来测量晶片的洗涤部分的宽度。因此，操作者可以在不停止整个过程的情况下测量洗涤部分的宽度。

2. 实用新型

KR200135805Y1 반도체소자 생산라인의 밸브 조립체 失效
标题翻译：半导体制造线阀组件
公开(公告)号：KR200135805Y1
公开(公告)日：1999-03-20
申请号：KR2019960002796
申请日：1996-02-23
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이시경 , 이화석
IPC分类号： H01L21/304
摘要： 작업자가 반도체소자 생산라인으로 들어가지 전에 세정하는데 필요한 순수 및 아이샤워액을 공급 및 제어하는 반도체소자 생산라인의 밸브 조립체에 관한 것이다.
본 고안은 유체관과 연결되어 회전됨에 따라 유체의 흐름을 제어하도록 구멍이 형성되어 있으며, 외벽의 바깥족으로 돌출된 단부에 소정 형상의 돌기를 형성하고 있는 밸브로드와 중심부에 상기 돌기의 형상과 대응되는 형상을 갖는 요홈이 형성된 손잡이를 포함하여 구성된 반도체소자 제조설비의 밸브 조립체에 있어서, 돌기의 일단면 중심에 암스크류가 형성된 밸브로드와 암스크류와 대응되는 요홈의 내면에 소정 크기의 관통된 구멍이 형성된 손잡이 및 구멍을 통해 암스크류와 나사 체결되도록 형성되어 밸브로드로부터 손잡이를 고정시키는 수스크류를 포함한 구성으로 이루어진다.
따라서, 밸브로드의 돌기로부터 밸브 손잡이가 빠지지 않도록 고정시키고, 필요에 의해 분리하기 용이하며, 위급시 밸브의 조작을 신속히 할 수 있는 효과가 있다.

3. 实用新型

KR2019970052823U 반도체소자 생산라인의 밸브 조립체 失效
标题翻译：半导体器件生产线的阀组件
公开(公告)号：KR2019970052823U
公开(公告)日：1997-09-08
申请号：KR2019960002796
申请日：1996-02-23
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이시경 , 이화석
IPC分类号： H01L21/304

4. 发明公开

KR1019970063469A 반도체 확산설비의 배기시스템 无效
标题翻译：半导体扩散设备的排气系统
公开(公告)号：KR1019970063469A
公开(公告)日：1997-09-12
申请号：KR1019960004817
申请日：1996-02-27
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이시경 , 김경숙
IPC分类号： H01L21/22
摘要： 반도체 확산설비의 배기시스템의 구조를 단순화하여 원가절감을 이룰 수 있는 반도체 확산설비의 배기시스템에 관한 것이다.
본 발명은 복수개의 확산설비에서 배기되는 배기가스가 옥내의 습식스크러버를 거치지 않고 직접 습식 통합 옥외스크러버에 의해서 희석된 후 배기되도록 구성됨을 특징으로 한다.
따라서, 반도에 확산설비의 구조를 단순화할 수 있는 효과가 있고, 원가를 절감할 수 있다는 효과가 있다. 그리고 시티워터를 절약할 수 있는 효과와 실내공간을 확보할 수 있다는 효과가 있다.

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