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    • 6. 发明授权
    • 멤스소자 및 그 제조방법
    • MEMS器件及其制造方法
    • KR101126169B1
    • 2012-03-23
    • KR1020070047961
    • 2007-05-17
    • 삼성전자주식회사
    • 김일우박병하이문철심동식김경일
    • H01L29/00
    • B41J2/1601B33Y80/00B41J2/1628B41J2/1631B41J2/1632B41J2/1639
    • 기판 상에 적층되는 챔버층에 이 챔버층의 두께가 설정된 두께인지 용이하게 검사할 수 있도록 하는 디텍션 인디케이터가 형성되는 MEMS소자 및 그 제조방법을 개시한다. 이러한 MEMS소자는 챔버층이 설정된 두께로 평탄화되었는지 용이하게 검사할 수 있도록 챔버층에 형성되는 서로 다른 깊이를 가진 두 개의 디텍션 인디케이터나 챔버층의 평탄화 시 그 윗면이 하측으로 갈수록 작아지는 테이퍼형상의 디텍션 인디케이터가 챔버층에 형성된다. 이에 따라 챔버층에 형성되는 디텍션 인디케이터를 챔버층의 평탄화 후 광학현미경으로 검사하여 이 챔버층이 설정된 두께로 평탄화되었는지 정밀하게 판단할 수 있으며, 챔버층 두께의 검사를 용이하게 할 수 있다.
    • 一种MEMS(微机电系统)装置及其制造方法,其中在层叠在基板上的室层上形成检测指示器,使得用户容易地检查室层是否具有所需的厚度。 MEMS器件可以包括形成在室层上并具有彼此不同深度的两个检测指示器,或者形成在腔室层上并具有锥形截面形状的检测指示器,其中检测指示器的上表面是 在向下的方向上逐渐变窄,使得使用者可以容易地检查腔室层是否具有所需的厚度。 用户可以通过平坦化形成在室层上的检测指示器,并且通过使用光学显微镜检查检测指示器来精确地确定室层是否被平坦化到所需厚度,从而便于检查室层的厚度。
    • 8. 发明公开
    • 잉크젯 헤드의 온도 감지장치
    • 用于感应喷头温度的装置
    • KR1020090084562A
    • 2009-08-05
    • KR1020080010818
    • 2008-02-01
    • 삼성전자주식회사
    • 정용원최형한은봉윤용섭이문철심동식
    • B41J2/235B41J2/365B41J2/01B41J2/04
    • B41J2/04586B41J2/0454B41J2/04563
    • A temperature sensing apparatus of an ink-jet head is provided to convert the result of a temperature sensor into frequency by using a voltage controlled oscillator. A temperature sensing apparatus of an ink-jet head comprises one or more CMOS lateral BJTs(200) and a current supply unit(100). One or more CMOS lateral BJTs sense the temperature of an ink-jet head. The current supply unit supplies the current to the CMOS lateral BJT. One or more CMOS lateral BJTs are connected to be parallel. One or more CMOS lateral BJTs are serially connected. One or more CMOS lateral BJTs are arranged to be adjacent to a feed hole of the ink-jet head. One or more CMOS lateral BJTs comprise a voltage controlled oscillator(300). The voltage controlled oscillator converts voltage outputted according to temperature change into frequency signals and outputs the frequency signals. The ink-jet head is a wide array head.
    • 提供了一种喷墨头的温度感测装置,通过使用压控振荡器将温度传感器的结果转换成频率。 喷墨头的温度检测装置包括一个或多个CMOS横向BJT(200)和电流供应单元(100)。 一个或多个CMOS侧向BJT感测喷墨头的温度。 电流供应单元向CMOS侧面BJT提供电流。 一个或多个CMOS侧向BJT被并联连接。 一个或多个CMOS侧向BJT串联连接。 一个或多个CMOS侧向BJT布置成与喷墨头的进给孔相邻。 一个或多个CMOS横向BJT包括压控振荡器(300)。 压控振荡器将根据温度变化输出的电压转换为频率信号,并输出频率信号。 喷墨头是宽阵列头。
    • 9. 发明公开
    • 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법
    • 喷墨打印机及其制造方法
    • KR1020090058225A
    • 2009-06-09
    • KR1020070124907
    • 2007-12-04
    • 삼성전자주식회사
    • 심동식윤용섭이문철정용원최형
    • B41J2/045B41J2/015
    • B41J2/14129B41J2/1603B41J2/1626B41J2/1639B41J2002/14387
    • An inkjet print head and a manufacturing method thereof are provided to prevent damage to a drive circuit area due to a lower feed hole although a lower feed hole is misaligned. An inkjet print head comprises: a SOI(Silicon On Insulator) substrate(110) in which an ink feed hole(111) is bored; an insulating layer(112) laminated on an upper silicon substrate of the SOI substrate; a nozzle layer(130) laminated on a chamber layer; a heater(114) formed on the insulating layer; and a drive circuit area(113) in which a driver circuit for operating the heater is formed. The SOI substrate comprises a lower silicon substrate(110a), an intermediate insulation layer(110b) and upper silicon substrate(110c). On the chamber layer, a plurality of ink chambers(122) are formed. On the nozzle layer, the several nozzles(132) discharging the ink are formed. The heater discharges the ink through a nozzle by generating bubbles through heating the ink within the ink chamber.
    • 提供一种喷墨打印头及其制造方法,以防止由于较低的进给孔而导致的驱动电路区域的损坏,尽管下馈送孔未对准。 一种喷墨打印头,其特征在于包括:在其中钻出供墨孔(111)的SOI(绝缘体上硅)衬底(110) 层叠在所述SOI衬底的上硅衬底上的绝缘层(112); 层叠在室层上的喷嘴层(130) 形成在绝缘层上的加热器(114) 以及形成用于操作加热器的驱动电路的驱动电路区域(113)。 SOI衬底包括下硅衬底(110a),中间绝缘层(110b)和上硅衬底(110c)。 在室层上形成多个墨室(122)。 在喷嘴层上形成排出油墨的多个喷嘴(132)。 加热器通过加热油墨室内的油墨而产生气泡,通过喷嘴排出油墨。