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1. 发明专利

KR20210029530A KR20210029530A - Semicondutor chip bonding apparatus including a head unit having thermally conductive materials 审中-公开
公开(公告)号：KR20210029530A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：KR1020190110881A
申请日：2019-09-06
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 최세빈 , 김성협 , 이석원 , 이종구
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677 , H01L23/00
CPC分类号： B23K1/0016 , H01L21/67092 , B23K3/047 , B23K3/053 , B23K3/08 , H01L21/67098 , H01L21/67712 , H01L21/67721 , H01L24/741 , H01L24/75 , B23K2101/40 , B23K2101/42 , H01L2224/16225 , H01L2224/75252
摘要： 반도체 칩 본딩 장치는 본체부; 상기 본체부의 하면 상에 배치되는 히터; 상기 히터의 하면 상에 배치되는 콜릿; 및 상기 콜릿의 하면 상에 배치되는 헤드부를 포함하되, 상기 헤드부는 직사각형의 플레이트 형태이고, 상기 헤드부의 하면 및 측면은 노출되고, 상기 헤드부의 상면은 상기 콜릿의 상기 하면과 접촉하고, 상기 헤드부의 상면은 상기 콜릿의 하면보다 작은 면적을 가지며, 상기 헤드부는, 상기 헤드부의 중심을 향하여 오목하게 함입되는 리세스와, 상기 헤드부의 상기 측면의 일부인 외측면을 포함하는 중심부; 및 상기 중심부의 리세스에 연결되며, 상기 헤드부의 코너를 형성하는 주변부를 포함하며, 상기 주변부와 상기 중심부는 열전도성이 서로 다를 수 있다.

2. 发明专利

KR102238648B1 KR102238648B1 - Semiconductor process management system, semiconductor manufacturing system including the same and method for manufacturing semiconductor including the same 有权
公开(公告)号：KR102238648B1
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：KR1020140067789A
申请日：2014-06-03
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 한동훈 , 원제형 , 김도형 , 김성협 , 김호준
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/66
摘要： 반도체 공정 관리 시스템은 하나 이상의 공정 설비로부터 공정 레시피를 수신하고, 하나 이상의 계측 설비로부터 샘플링 포인트 별 계측값을 수신하는 통신부와, 상기 공정 레시피 및 상기 샘플링 포인트 별 계측값에 기반하여 상기 공정 레시피 및 상기 샘플링 포인트 별 계측값 간의 상호 영향 모델을 수립하는 제1 판단부를 포함한다.

3. 发明专利

KR20210031578A KR20210031578A - Substrate treatment apparatus 审中-公开
公开(公告)号：KR20210031578A
公开(公告)日：2021-03-22
申请号：KR1020190112913A
申请日：2019-09-11
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 남상기 , 이장엽 , 김성열 , 김성협 , 박수남 , 쓰칭루
IPC分类号： H01L21/67 , H01J37/32 , H01L21/3065 , H01L21/311
CPC分类号： H01L21/67086 , H01L21/67069 , H01J37/32715 , H01J37/32174 , H01J37/32532 , H01J37/32568 , H01J37/32899 , H01L21/3065 , H01L21/31144 , H01L21/67075 , H01L21/67098 , H01L21/6715 , H01J2237/2007 , H01J2237/334 , H01J37/32082 , H01L21/32139 , H01L21/67103
摘要： 본 발명의 일 실시예는, 상하로 배치되는 제1 내부 공간 및 제2 내부 공간을 가지며 상기 제1 내부 공간 내에 공정 가스가 공급되어 상기 제1 내부 공간 내에서 플라즈마가 형성되는 공정 챔버; 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간을 분할하며, 상기 제1 내부 공간 내에서 발생된 상기 플라즈마 내에 포함된 이온들을 추출한 이온빔을 유도하는 복수의 관통공이 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간을 연통하도록 배치되는 유도 전극; 상기 제2 내부 공간에 위치하며, 피처리 대상이 침지되는 약액을 수용하는 수용부 및 상기 수용부에 나노펄스(nano pulse)를 인가하여 상기 약액 내에 라디칼을 형성하는 하부 전극을 포함하는 라디칼 공급부; 및 상기 수용부에 약액을 공급하는 약액 공급부;를 포함하는 기판 처리 장치를 제공한다.

4. 发明授权

KR102238648B1 반도체 공정 관리 시스템, 이를 포함하는 반도체 제조 시스템 및 반도체 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102238648B1
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：KR1020140067789
申请日：2014-06-03
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 한동훈 , 원제형 , 김도형 , 김성협 , 김호준
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/66
摘要： 반도체공정관리시스템은하나이상의공정설비로부터공정레시피를수신하고, 하나이상의계측설비로부터샘플링포인트별 계측값을수신하는통신부와, 상기공정레시피및 상기샘플링포인트별 계측값에기반하여상기공정레시피및 상기샘플링포인트별 계측값간의상호영향모델을수립하는제1 판단부를포함한다.

5. 发明授权

KR100873909B1 화상형성장치 失效
标题翻译：图像形成装置
公开(公告)号：KR100873909B1
公开(公告)日：2008-12-15
申请号：KR1020070057162
申请日：2007-06-12
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 백성구 , 김성협 , 김선수 , 황규덕 , 김종우 , 조현기 , 류제형 , 김태희
IPC分类号： G03G15/20 , G03G15/00
摘要： An image forming apparatus capable of minimizing a phenomenon that heat of a fusing unit is transferred to a cover of an upper side is provided to minimize heat increase on a cover upper surface by preventing heat transferred to an upper portion from a fusing unit through a double layered heat block layer of the cover. Double layered shielding heat blocking spaces(62a,62b,62c,62d) are divided each other. At least one divider(63a,63b,63c) divides the heat blocking spaces vertically and horizontally. A plurality of partitions divides the inside of each heat blocking space in an intersection direction with the divider to block air flow in each heat block space.
摘要翻译：提供一种成像装置，其能够将定影单元的热量转移到上侧的盖板的现象最小化，以通过防止从定影单元的上部传递通过双重的热量来最小化盖上表面的热量增加覆盖层的分层热阻层。双层隔离隔热空间（62a，62b，62c，62d）彼此分开。至少一个分隔器（63a，63b，63c）垂直和水平地分隔热阻隔空间。多个隔板将每个隔热空间的内部与分隔器交叉方向分隔开，以阻止每个加热块空间中的气流。

6. 发明公开

KR1020150139334A 반도체 공정 관리 시스템, 이를 포함하는 반도체 제조 시스템 및 반도체 제조 방법 审中-实审
标题翻译：半导体工艺管理系统，包括其的半导体制造系统和制造其中的半导体的方法
公开(公告)号：KR1020150139334A
公开(公告)日：2015-12-11
申请号：KR1020140067789
申请日：2014-06-03
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 한동훈 , 원제형 , 김도형 , 김성협 , 김호준
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/66
CPC分类号： G05B19/41875 , G05B2219/31443 , G05B2219/45031 , G05B2219/50139 , Y02P90/20 , Y02P90/22
摘要： 반도체공정관리시스템은하나이상의공정설비로부터공정레시피를수신하고, 하나이상의계측설비로부터샘플링포인트별 계측값을수신하는통신부와, 상기공정레시피및 상기샘플링포인트별 계측값에기반하여상기공정레시피및 상기샘플링포인트별 계측값간의상호영향모델을수립하는제1 판단부를포함한다.
摘要翻译：半导体处理管理系统包括通信部件，其从至少一个处理设备接收处理配方，并且从至少一个测量设备接收采样点的测量值，以及第一确定部件，其在处理配方之间建立交互模型和测量值，基于过程配方和测量值。

7. 发明公开

KR1020080097837A 정착 장치 有权
标题翻译：固定装置
公开(公告)号：KR1020080097837A
公开(公告)日：2008-11-06
申请号：KR1020070043188
申请日：2007-05-03
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김성협 , 원정연 , 최득현
IPC分类号： G03G15/20
摘要： A fixing apparatus is provided to set a heat transfer path of a radiation unit clearly, thereby increasing heat efficiency. A cylindrical heating unit(210) generates heat. A fixing device(200) fixes toner powder by transferring radiant heat of the heating unit through a heat transferring unit(220) between an inside barrel(250) and an outside barrel(260). The heater and the inside barrel comprise the first medium unit maintaining a predetermined straight distance, and the second medium unit of a predetermined number between the inside barrel and outside barrel. The first medium unit and the second medium unit are filled with a liquid medium which has a coefficient of heat conduction of 1W /m-k or greater at least.
摘要翻译：提供了一种定影装置，用于清晰地设置辐射单元的传热路径，从而提高热效率。圆筒形加热单元（210）产生热量。定影装置（200）通过传递加热单元的辐射热量通过内筒（250）和外筒（260）之间的传热单元（220）来固定调色剂粉末。加热器和内筒包括保持预定直线距离的第一介质单元，以及在内筒和外筒之间的预定数量的第二介质单元。第一介质单元和第二介质单元至少具有1W / m-k以上的导热系数的液体介质。

8. 发明授权

KR101398899B1 화상형성장치 有权
公开(公告)号：KR101398899B1
公开(公告)日：2014-05-26
申请号：KR1020070065119
申请日：2007-06-29
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 황규덕 , 김성협 , 김선수 , 김종우 , 백성구 , 조현기 , 류제형 , 김태희
IPC分类号： G03G15/20 , G03G15/04 , G03G15/06
摘要： 개시된 본 발명에 의한 화상형성장치는 감광체와, 감광체에 빛을 조사하여 정전잠상을 형성시키는 노광장치와, 감광체에 현상제를 부착하여 가시화상을 형성시키는 현상기와, 감광체에 형성된 가시화상을 인쇄매체로 전사시키는 전사장치와, 열을 발생하는 히팅롤러, 히팅롤러와 밀착되는 가압롤러, 히팅롤러 및/또는 가압롤러를 보호하는 정착기커버를 갖는 정착기를 포함하고, 정착기커버의 내부면에는 상승하는 공기의 흐름 방향을 따라 연장되는 복수의 리블렛(riblet)이 형성된 것을 특징으로 한다. 이러한 본 발명에 의하면, 정착기커버의 내부면에 공기의 상승 방향을 따라 가는 홈 형태의 리블렛이 다수 구비됨으로써, 히팅롤러에서 주변으로의 열전달이 억제된다.
화상형성장치, 정착기, 정착기커버, 리블렛, 열전달

9. 发明公开

KR1020090019567A 화상형성장치 有权
标题翻译：图像形成装置
公开(公告)号：KR1020090019567A
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：KR1020070084104
申请日：2007-08-21
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 백성구 , 김성협 , 김선수 , 황규덕 , 김종우 , 조현기 , 류제형 , 김태희
IPC分类号： G03G15/00 , G03G15/20
CPC分类号： G03G21/20 , G03G15/2064
摘要： An image forming apparatus for preventing the settlement of heat inside a device radiated to the outside is provided to minimize the temperature of parts which are in the surrounding of the fixing device and to minimize that the heat of a settlement inside of device is radiated to the fixing device outside. A fixing device(40) is installed inside a main body(10). An opening and closing member(100) opens and closes the exit of the fixing device. The heat of the settlement inside of device is unable to go through exit. A cam member(210) moves opening and closing member between the first location closing exit and the second position opening exit. A driving part rotates the cam member. The controller controls the driving part. The rotational phase of the cam member is determined. A cover(70) opens and closes a portion of the main body. It is installed on the top of the fixing device.
摘要翻译：提供一种用于防止辐射到外部的装置内的热量沉降的图像形成装置，以使定影装置周围的部件的温度最小化，并使装置内部的沉降物的热辐射到固定装置外面。固定装置（40）安装在主体（10）的内部。打开和关闭构件（100）打开和关闭定影装置的出口。设备内部沉淀物的热量不能通过出口。凸轮构件（210）使打开和关闭构件在第一位置关闭出口和第二位置打开出口之间移动。驱动部件使凸轮部件旋转。控制器控制驱动部分。确定凸轮构件的旋转相位。盖（70）打开和关闭主体的一部分。它安装在定影装置的顶部。

10. 发明公开

KR1020090001049A 화상형성장치 有权
标题翻译：图像形成装置
公开(公告)号：KR1020090001049A
公开(公告)日：2009-01-08
申请号：KR1020070065119
申请日：2007-06-29
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 황규덕 , 김성협 , 김선수 , 김종우 , 백성구 , 조현기 , 류제형 , 김태희
IPC分类号： G03G15/20 , G03G15/04 , G03G15/06
摘要： An image forming apparatus is provided to suppress heat transferred to surroundings from a heating roller. An image forming apparatus comprises a photoconductor(33), an exposure apparatus(34), a developer(35), a transferring apparatus(36) and a fuser(50). The exposure apparatus applies light on the photoconductor to form an electrostatic latent image. The developer forms a visible image by adhering a developing agent on the photoconductor. The transferring apparatus transfers the visible image formed on the photoconductor to a printing medium. The fuser comprises a heating roller, a pressing roller and a fuser cover. The heating roller generates heat. The pressing roller is closely contacted with the heating roller. The fuser cover protects the heating roller and/or the pressing roller.
摘要翻译：提供了一种图像形成装置，用于抑制从加热辊传递到周围环境的热量。图像形成装置包括光电导体（33），曝光装置（34），显影剂（35），转印装置（36）和定影器（50）。曝光装置将光照射在感光体上以形成静电潜像。显影剂通过将显影剂粘附在感光体上形成可见的图像。转印装置将形成在感光体上的可见图像转印到打印介质上。定影器包括加热辊，加压辊和定影盖。加热辊发热。加压辊与加热辊紧密接触。定影器盖保护加热辊和/或加压辊。

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