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    • 4. 发明公开
    • 반사형 편광판의 제조방법 및 반사형 편광판을 구비한 표시장치
    • 反射极化板的制造方法和具有反射极化板的显示装置
    • KR1020150093891A
    • 2015-08-19
    • KR1020140014167
    • 2014-02-07
    • 삼성디스플레이 주식회사
    • 김태우김철규강민강민혁김봉연박승원이문규
    • G02B5/30G02F1/1335
    • G02B5/3058B82Y20/00G02B5/3041Y10S977/762
    • 본 발명의 실시예에 의한 반사형 편광판의 제조방법은, 개구영역 및 비개구영역이 정의된 기판 상에 금속층, 제1 격벽층 및 희생층을 순차적으로 형성하는 단계와; 상기 개구영역의 희생층 상에 제1 높이를 가지면서 상호 이격되는 복수의 제1 포토 마스크 패턴들을 형성함과 아울러, 상기 비개구영역의 희생층 상에 상기 제1 높이보다 큰 제2 높이를 갖는 제2 포토 마스크 패턴을 형성하는 단계와; 상기 제1 및 제2 포토 마스크 패턴들을 마스크로 하여 상기 개구영역의 희생층을 선택적으로 식각함에 의해 복수의 희생층 패턴들을 형성하는 단계와; 상기 제1 포토 마스크 패턴들을 제거함과 아울러, 상기 제2 포토 마스크 패턴의 일부만을 제거하는 단계와; 상기 희생층 패턴들이 형성된 기판 상에 제2 격벽층을 형성하고, 이를 이방성 식각함에 의해 상기 희생층 패턴들의 측벽을 따라 형성되는 복수의 제1 격벽들을 형성한 후, 상기 개구영역의 희생층 패턴들만을 선택적으로 제거하는 단계와; 상기 제1 격벽들 사이의 공간에 대응하는 그리드 패턴 영역에 공중합체층을 형성한 후 패터닝함에 의해 상호 이격된 다수의 그리드 패턴들을 형성하는 단계와; 상기 그리드 패턴들을 이용하여 상기 개구영역의 금속층을 패터닝함에 의해, 상기 개구영역에 상호 이격되어 배열되는 다수의 나노 와이어 패턴들과 상기 비개구영역의 금속막으로 구성되는 와이어 그리드 편광자를 형성하는 단계;를 포함한다.
    • 制造反射式偏振片的方法包括以下步骤:在限定了开口面积和非开口面积的基片上依次形成元层,第一分隔壁层和牺牲层; 形成彼此分离的多个第一光掩模图案,同时在所述开口区域的所述牺牲层上具有第一高度,以及形成在所述非开口区域的所述牺牲层上具有高于所述第一高度的第二高度的第二光掩模图案; 通过使用第一和第二光掩模图案作为掩模来选择性地蚀刻开口区域的牺牲层来形成多个牺牲图案; 去除第一光掩模图案并仅去除第二光掩模图案的一部分; 在其上形成有牺牲层图案的基板上形成第二分隔壁层,通过各向异性蚀刻第二分隔壁层形成沿着牺牲层图案的侧壁形成的多个第一分隔壁,然后仅选择性地除去牺牲层图案 的开放区域; 在对应于第一分隔壁之间的空间的网格图案区域中的共聚物层,然后通过图案化形成彼此分离的多个网格图案; 并且通过使用网格图案来形成通过使开口区域的金属层图案化而形成布置成在开口区域中彼此分离的多个纳米线图案和由非开口区域的金属膜形成的线栅偏振片。