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1. 发明公开

KR1020170121788A 셀의 리페어 및 검사 복합 장치 및 이를 이용한 셀의 리페어 및 검사 복합 방법 审中-实审
标题翻译：使用它的细胞的复杂修理和检查和细胞的复杂修理和检查
公开(公告)号：KR1020170121788A
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：KR1020160050334
申请日：2016-04-25
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 김희선 , 김시준 , 김준걸 , 우현주 , 이경철 , 한세광
IPC分类号： G02F1/13
摘要： 셀의리페어및 검사복합장치는테이블, 리페어유닛및 리페어검사유닛을포함한다. 상기테이블은불량이발생한제1 셀및 불량이발생한제2 셀을포함한다. 상기리페어유닛은상기기판상에제공되고, 상기제1 셀및 상기제2 셀을각각리페어한다. 상기리페어검사유닛은상기기판상에제공되고, 상기리페어된제1 셀및 상기리페어된제2 셀각각의리페어여부를검출한다. 상기제1 셀은상기리페어유닛에의해리페어되고, 상기리페어검사유닛에의해리페어여부가검사되고, 상기제2 셀은상기제1 셀의리페어여부가검사된후, 상기리페어유닛에의해리페어된다.
摘要翻译：该单元的修理和检查复合装置包括工作台，修理单元和修理检查单元。该表包括发生缺陷的第一单元和发生缺陷的第二单元。修复单元设置在装置板上以分别修复第一电池和第二电池。修理检查单元被提供在设备板上并且检测第一修理单元和第二修理单元是否被修理。第一单元由修复单元修复，修复检查单元检查修复是否被执行，并且在检查第一单元的修复之后修复单元修复第二单元。

2. 发明授权

KR101427594B1 기판 적재장치 有权
标题翻译：用于存储基板的装置
公开(公告)号：KR101427594B1
公开(公告)日：2014-08-08
申请号：KR1020070063158
申请日：2007-06-26
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 이강혁 , 박영길 , 이경철 , 김호진
IPC分类号： G02F1/13
摘要： 효율적인 공간활용을 위해 기판을 경사진 상태로 적재하며, 기판의 적재 순서에 상관없이 특정 슬롯에 적재된 기판만을 반출시킬 수 있는 기판 적재장치를 개시한다. 이러한 기판 적재장치는 적재프레임과, 적재프레임에 배치되며 기판을 일정 각도로 기울어진 상태에서 수직 적재하는 다수의 슬롯을 구비하는 기판적재부와; 적재프레임의 하측에 배치되는 구동프레임과, 구동프레임에 장착되어 적재프레임을 수평 이동시키는 수평이동유닛과, 구동프레임에 장착되어 수평이동유닛에 의해 이동된 각 슬롯 중 어느 하나의 슬롯에 적재된 기판을 반출시키기 위하여 구동되는 구동유닛을 구비하는 구동부를 구비한다. 개시된 기판 적재장치에 의하면 기판을 일정 각도로 기울어진 상태에서 수직 적재하는 슬롯에 적재함으로써 효율적인 공간활용을 할 수 있으며, 수평이동유닛에 의해 적재프레임을 수평 이동시킬 수 있으므로 사용자가 원하는 특정 슬롯에 적재된 기판을 기판 적재 순서에 상관없이 반출할 수 있다.

3. 发明公开

KR1020080099550A 스퍼터링장치 失效
标题翻译：溅射装置
公开(公告)号：KR1020080099550A
公开(公告)日：2008-11-13
申请号：KR1020070045227
申请日：2007-05-09
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 이강혁 , 박영길 , 김성래 , 이경철
IPC分类号： C23C14/34
摘要： A sputtering device is provided to grow away a substrate from a tension bar in the process of evaporating a thin film on the substrate. Therefore, the sputtering device prevents substrate is damaged by the thin film which the tension bar is piled in the transfer of the substrate in which the deposition producing is completed. A sputtering device comprises as follows: A stage(10) which a pin roller(11) in which substrate is settled in the upper side is mounted, and is rotated so that substrate be perpendicularly established in order to perform the deposition producing; a tension bar(23) is prepared in the body and substrate is supported in the rotation of the stage so that substrate be perpendicularly established and supports substrate in the rotation of the stage so that substrate be again horizontally converted; a push bar(25) which pushes the tension bar in the rotation of the stage so that substrate be again horizontally converted and isolates the tension bar from substrate; a weight(27) for pendulating in the rotation of the stage and delivering the power to the push bar; a clamp unit(10) including the hook latch(29) which moves according to move of the weight posted at the front side of the weight; and a hook unit(40) in which it loosens the hook latch if the horizontal change over of substrate is finished and the push bar pushes the tension bar.
摘要翻译：提供了一种溅射装置，用于在基板上蒸发薄膜的过程中从张力杆上移走基板。因此，溅射装置防止基板在沉积生成完成的基板的转印中被张力杆堆积的薄膜损坏。一种溅射装置，其特征在于包括如下步骤：安装在上侧安装有基板的针辊（11）的台架（10），使基板垂直成形，进行沉积生成; 在主体中制备张力杆（23），并且基板在台架的旋转中被支撑，使得基板垂直地建立并且在台架的旋转中支撑基板，使得基板再次水平转换; 推杆（25），其在台架的旋转中推动张力杆，使得基板再次水平转换并将张力杆与基板隔离; 用于在舞台旋转中摆动并将动力传递到推杆的重物（27）; 夹具单元（10），其包括钩扣（29），所述钩闩（29）根据在所述重物前侧张贴的重物的移动而移动; 以及钩单元（40），如果基板的水平切换结束并且推杆推动张力杆，其中松开钩闩。

4. 发明授权

KR101326297B1 스퍼터링장치 失效
公开(公告)号：KR101326297B1
公开(公告)日：2013-11-11
申请号：KR1020070045227
申请日：2007-05-09
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 이강혁 , 박영길 , 김성래 , 이경철
IPC分类号： C23C14/34
摘要： 증착공정을 진행할 때 기판과 이 기판을 클램핑하기 위하여 마련된 텐션바에 박막이 증착되어 증착이 완료된 기판의 이송 시 기판이 손상되는 것을 방지하는 스퍼터링장치를 개시한다. 이러한 스퍼터링장치는 그 상면에 기판이 안착되는 핀롤러가 장착되며, 증착공정을 수행하기 위해 기판이 수직으로 세워질 수 있도록 회전되는 스테이지와; 스테이지의 일측에 마련된 몸체와, 몸체에 마련되어 스테이지가 수직으로 세워지도록 회전 시 기판을 지지하고 스테이지가 수평으로 전환되도록 다시 회전 시 기판을 밀어주는 텐션바와, 스테이지의 수평 전환 시 텐션바를 밀어 텐션바를 기판으로부터 이격시키는 푸쉬바와, 스테이지의 회전 시 진자운동하여 푸쉬바에 힘을 전달하는 무게추와, 무게추의 전면에 배치되어 무게추의 움직임에 따라 움직이는 후크걸림쇠를 구비하는 클램프유닛; 및 스테이지의 수평 전환 시 후크걸림쇠의 움직임을 구속하고 스테이지의 수평 전환이 완료되면 후크걸림쇠를 풀어 주어 푸쉬바가 텐션바를 밀게 하는 후크유닛을 구비한다. 이에 따라 증착공정이 완료되어 스테이지의 수평 전환 시 후크유닛에 의해 푸쉬바가 텐션바를 밀게 되므로 이 텐션바가 기판으로부터 이격되어 기판의 이송 시 기판의 손상을 방지할 수 있다.

5. 发明公开

KR1020080114019A 기판 적재장치 有权
标题翻译：储存基材的装置
公开(公告)号：KR1020080114019A
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：KR1020070063158
申请日：2007-06-26
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 이강혁 , 박영길 , 이경철 , 김호진
IPC分类号： G02F1/13
CPC分类号： H01L21/67769 , B65G49/063 , H01L21/6773 , H01L21/67772
摘要： A substrate loading apparatus for vertically loading substrates is provided to easily unload a specific substrate, and maximizing space use efficiency. A substrate loading part(10) has a plurality of slots(30) which vertically loads substrates in the state inclining to the constant angle while being arranged in the loading frame(20). A plurality of substrate transfer rollers(31) are placed at the bottom side of each slot. A horizontally moving unit is placed at a driving frame(60) and moves the loaded frame horizontally. A driving unit is moved by the horizontally moving unit, and unloads a specific substrate.
摘要翻译：提供用于垂直装载基板的基板装载装置以容易地卸载特定基板，并且最大化空间使用效率。基板装载部件（10）具有多个狭槽（30），其在布置在装载框架（20）中的状态下倾斜至恒定角度的状态垂直地承载基板。多个基板转印辊（31）放置在每个槽的底侧。将水平移动单元放置在驱动框架（60）处并水平移动加载的框架。驱动单元由水平移动单元移动，并卸载特定的基板。

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