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    • 3. 发明授权
    • 다결정 실리콘층의 형성 방법 및 이를 이용한 박막트랜지스터의 제조 방법
    • 用于制造多晶硅层的方法和使用其制造薄膜晶体管的方法
    • KR101200945B1
    • 2012-11-13
    • KR1020060083232
    • 2006-08-31
    • 삼성디스플레이 주식회사
    • 박명일이용의이덕중박준우
    • H01L29/786
    • 다결정 실리콘층의 형성 방법 및 이를 이용한 박막 트랜지스터의 제조 방법이 개시된다. 박막 트랜지스터의 제조 방법은 기판 상에 게이트 전극을 형성하는 단계와, 게이트 전극이 형성된 기판 상에 절연층을 형성하는 단계와, 절연층 상에 게이트 전극과 중첩되며, 비정질 실리콘으로 이루어진 반도체층 및 이온 도핑된 비정질 실리콘으로 이루어진 오믹 콘택층이 순차적으로 적층된 액티브층을 형성하는 단계와, 액티브층 상에 액티브층과 일부 중첩되는 소스 전극 및 소스 전극으로부터 소정 간격 이격되어 액티브층과 일부 중첩되는 드레인 전극을 형성하는 단계 및 펨토초 레이저를 이용하여, 소스 전극과 드레인 전극의 이격부에 형성된 반도체층의 절연층과 접하는 면으로부터 소정 두께를 결정화시키는 단계를 포함한다.
      이에 따라, 액티브층 내 전기적 채널이 주로 형성되는 영역을 전자 이동도가 높은 다결정 실리콘으로 형성할 수 있으므로 박막 트랜지스터의 구동 특성을 향상시킬 수 있다.
      펨토초 레이저, Femto seconds, 박막 트랜지스터, bottom gate