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    • 6. 发明公开
    • 유기물 증착 장치 및 유기 발광 표시 장치
    • 有机物气相沉积装置和有机发光显示器制造
    • KR1020150033386A
    • 2015-04-01
    • KR1020130113340
    • 2013-09-24
    • 삼성디스플레이 주식회사
    • 박동진이주화
    • H01L51/56C23C14/24H05B33/10
    • H01L27/3225C23C14/042C23C14/12C23C14/545
    • 본기재는수동형 RFID 센서의역전파(back propagation) 특성변화를감지하여진공챔버내에증착되는유기물의증착량을감지하는유기물증착장치를제공하는것이다. 본발명의일 실시예에따른유기물증착장치는, 유기물증착공정을수행하는챔버, 상기챔버내에설치되어유기물을증발하는증착원, 상기증착원을향하여설치되고, 상기증착원의반대측에기판을합착하는증착마스크, 상기챔버내에설치되어상기기판에구비되는무선주파수식별(RFID; Radio Frequency Identification) 센서로부터역전파를수신하는안테나, 및상기안테나에연결되어상기역전파의변화량으로부터유기물의증착량을계측하는무선주파수리더(RF reader)를포함한다.
    • 本发明的目的是提供一种能够通过检测无源射频识别(RFID)传感器的反向传播特性变化来检测沉积在真空室中的有机物的沉积量的有机物质沉积装置。 根据本发明的一个实施例,有机物沉积装置包括:进行有机沉积工艺的室; 沉积源,其安装在所述室中以蒸发有机物质; 沉积掩模,其被安装成面对沉积源以将衬底结合到沉积源的相对侧; 安装在所述腔室中以从安装在所述衬底上的RFID传感器接收反向传播的天线; 以及射频(RF)读取器,其连接到天线,以根据反向传播的量的变化来测量有机物质的沉积量。