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    • 1. 发明授权
    • 기계적 가공과 화학적 에칭가공을 조합한 실리콘 웨이퍼의 패턴가공
    • 使用化学和机械过程的方法
    • KR100151935B1
    • 1998-12-01
    • KR1019950029532
    • 1995-09-06
    • 김대은이재준
    • 김대은이재준
    • H01L21/302
    • 본 발명은 초정밀 미세 가공기술의 하나로서 기존의 여러 가공기술과는 달리 마스킹을 하지 않고 단결정 실리콘 웨이퍼 표면에 폭과 깊이 각각 수 ㎛의 치수를 갖는 3차원적 입체 패턴을 가공할 수 있는 기술에 대한 것이다. 마스킹을 사용하지 않음으로써 초기 투자비용이 적게 소요되며 다품종 소량생산에 유리하다는 등의 장점을 가지고 있다.
      이는 단결정 재질의 전위이론 (dislocation theory) 에 대한 연구결과를 기반으로 한 것이다 즉, 단결정 재질에 존재하는 격자결함을 찾아 내기 위한 방법으로서 에칭을 행할 경우, 결함이 있는 위치에 힐록 (hillock)이나 피팅 (pitting)이 생기는 것을 알 수 있는데, 이러한 격자결함을 원하는 위치에 인위적으로 유발시킴으로써 원하는 패턴을 가공한다. 1차적으로 미세한 날끝반경을 지니는 기계적 공구 (다이아몬드와 같이 단결정 실리콘 보다 경도가 더 큰 재질) 로써 원하는 형상의 패턴을 단결정 재료에 가공하고 이때 패턴을 따라 발생되는 전위결함을 이용하여 재료를 선택적으로 에칭하여 3차원적 입체 구조를 가공하는 것이다.
      가공된 3차원적 입체 패턴은 마이크로 기계요소에서 사용되는 유체채널 또는 광케이블의 가이드, 마이크로 커넥터 등, 미세기전시스템 (MEMS) 의 제작분야에 폭넓게 이용될 수 있으리라 생각된다.
    • 2. 发明公开
    • 기계적 가공과 화학적 에칭가공을 조합한 실리콘 웨이퍼의 패턴가공
    • 结合机械和化学蚀刻的硅晶片图案化
    • KR1019970018140A
    • 1997-04-30
    • KR1019950029532
    • 1995-09-06
    • 김대은이재준
    • 김대은이재준
    • H01L21/302
    • 본 발명은 초정밀 미세 가공기술의 하나로서 기존의 여러 가공기술과는 달리 마스킹을 하지 않고 단결정 실리콘 웨이퍼 표면에 폭과 깊이 각각 수 ㎛의 치수를 갖는 3차원적 입체 패턴을 가공할 수 있는 기술에 대한 것이다. 마스킹을 사용하지 않음으로써 초기 투자비용이 적게 소요되며 다품종 소량생산에 유리하다는 등의 장점을 가지고 있다.
      이는 단결정 재질의 전위이론(dislocation theory)에 대한 연구결과를 기반으로 한 것이다. 즉, 단결정 재질에 존재하는 격자결함을 찾아 내기 위한 방법으로서 에칭을 행할 경우, 결합이 있는 위치에 힐록(hillock)이나 피팅(pitting) 생기는 것을 알 수 있는데, 이러한 격자결함을 원하는 위치에 인위적으로 유발시킴으로써 원하는 패턴을 가공한다. 1차적으로 미세한 날끝반경을 지니는 기계적 공구(다이아몬드와 같이 단결정 실리콘 보다 경도가 더 큰 재질)로써 원하는 형상의 패턴을 단결정 재료에 가공하고 이때 패턴을 따라 발생되는 전위결함을 이용하여 재료를 선택적으로 에칭하여 3차원적 입체 구조를 가공하는 것이다. 가공된 3차원적 일체 패턴은 마이크로 기계요소에 사용되는 유체채널 또는 광케이블의 가이드, 마이크로 커넥터 등, 미세기전시스템(MEMS)의 제작분야에 폭넓게 이용할 수 있으리라 생각된다.
    • 4. 发明公开
    • 부상형 광학/자기헤드 보호구조
    • 保护信息存储设备光学头的结构
    • KR1020030012535A
    • 2003-02-12
    • KR1020010046590
    • 2001-08-01
    • 김대은정구현이정규박진무
    • 김대은정구현박진무이정규
    • G11B21/21
    • PURPOSE: A structure for protecting an optical head of an information storage device is provided to protect an optical or magnetic head of a head slider flying over the surface of a disc from contamination. CONSTITUTION: A head slider/disc interface includes an optical/magnetic head(20), a slider(30) having a leading edge, a trailing edge and an air bearing for forming a desired flying height from the surface of a disc, and a suspension for supporting the slider. There is formed a difference between the surface energy of the slider and the surface energy of the optical head in such a manner that the area surrounding the optical/magnetic head mounted on the slider has a large surface energy but the optical/magnetic head has a small surface energy.
    • 目的:提供一种用于保护信息存储装置的光头的结构,以保护飞越盘表面的磁头滑块的光头或磁头免受污染。 构成:头部滑动器/盘接口包括光学/磁头(20),具有前缘的滑块(30),用于从盘表面形成期望的飞行高度的后缘和空气轴承,以及 用于支撑滑块的悬架。 在滑块的表面能与光学头的表面能之间形成差别,使得安装在滑块上的光/磁头周围的面积具有大的表面能,但是光学/磁头具有 表面能量小。
    • 5. 发明公开
    • 광픽업의 반사미러 고정장치
    • 用于固定光学反射镜的装置
    • KR1020020035908A
    • 2002-05-16
    • KR1020000065699
    • 2000-11-07
    • 박영필김수경박진무이문도김대은
    • 박영필김대은김수경이문도박진무
    • G11B7/1362
    • PURPOSE: A device for fixing a reflective mirror of an optical pickup is provided to install the reflective mirror formed in curvature independently on a cover case of an optical pickup body, not integrally with an optical pickup driving part, so as to prevent light beam from deviating from a reflective area within an allowable range. CONSTITUTION: A light source(103) generates light beam(1000) to a driving part for the recording and reproduction of an optical disk in an upper and a lower cover cases(101,102). An objective lens(105) scans the light beam from the light source on a recording surface of the optical disk. A reflective mirror(110) refracts the light beam from the light source to scan the refracted light beam to the optical disk through the objective lens. The objective lens is configured by being separated from the driving part of an optical pickup optical system. And a reflective mirror fixing holder(111) couples with the reflective mirror on an internal of the upper cover case to separate the reflective mirror, and fixes and supports the reflective mirror.
    • 目的:提供一种用于固定光学拾取器的反射镜的装置,以将不同于光学拾取器驱动部件的光学拾取器主体的盖壳体上独立地形成为曲率的反射镜安装在一起,以防止光束 偏离反射区域在允许范围内。 构成:光源(103)产生光束(1000)到驱动部分,用于在上盖和下盖壳体(101,102)中记录和再现光盘。 物镜(105)将来自光源的光束扫描在光盘的记录表面上。 反射镜(110)折射来自光源的光束,以通过物镜将折射光束扫描到光盘。 物镜通过与光拾取光学系统的驱动部分分离而构成。 并且反射镜固定保持器(111)与反射镜耦合在上盖壳体的内部以分离反射镜,并固定和支撑反射镜。
    • 6. 发明公开
    • 실리콘웨이퍼의패턴가공을위한박막가공방법및장치
    • 用于图案化硅晶片的薄膜处理的方法和装置
    • KR1019990084670A
    • 1999-12-06
    • KR1019980016592
    • 1998-05-09
    • 김대은진원혁
    • 김대은진원혁
    • H01L21/027
    • 실리콘웨이퍼에 대하여 미세 패턴을 가공하여 미소 유체 채널의 가공, 광케이블의 가이드 가공, 일련번호의 가공 등을 수행하는 데에 있어서 기존의 가공법은 사진 기술을 응용하여 포토레지스트에 패턴을 식각 하고 실리콘에 대해 에칭을 수행하였다. 그러나 이러한 가공법은 패턴의 형상을 만들고, 포토레지스트를 인화 및 현상하는 데에 필요한 초기 설비비가 많이 들며, 일단 한 가지 패턴을 형성하면 그 모양을 유연하게 바꾸기에 어려운 단점이 있다. 따라서 기존의 사진 기술을 응용한 가공 기술의 단점들을 보완하기 위한 새로운 가공 방법이 요구되고 있다.
      본 발명은 초정밀 미세 가공법의 하나로서 실리콘웨이퍼의 표면에 수 ㎛의 폭과 깊이를 지니는 미세 패턴을 가공하는 기술에 관한 것이다. 실리콘웨이퍼의 표면에 연금속이나 폴리머 재료를 박막의 형태로 증착시키고, 미세한 날끝 반경을 지니는 기계적 공구로써 가공하고자 하는 패턴의 모양대로 박막의 재료만을 제거한다. 이와 같은 방법으로 가공된 박막은 기존의 가공법에서 형성되는 포토레지스트와 동일한 기능을 수행하여 실리콘웨이퍼에 대한 화학적 에칭 작업을 수행할 때 마스크로서의 역할을 하게 된다.
      위와 같은 가공법을 사용하면 기존의 포토레지스트를 사용한 가공법에서 필수적인 고가의 설비가 필요치 않게 되며, 기계적 가공의 경로를 간편하게 지정할 수 있으므로 보다 유연한 패턴의 가공이 가능하게 된다.
    • 7. 发明公开
    • 정보 저장 기기용 기록 및 판독 장치
    • 信息存储设备的记录和读取设备
    • KR1019990050031A
    • 1999-07-05
    • KR1019970069055
    • 1997-12-16
    • 대우전자주식회사김대은
    • 김대은김경배
    • G11B7/08
    • 압전 액츄에이터를 이용하여 근접촉 방식 또는 접촉 방식에 의하여 기록 및 판독용 헤드가 데이터를 광 또는 자기 디스크에 기록하거나 디스크로부터 판독하는 디스크 드라이브용 기록 및 판독 장치에 있어서, 적어도 하나의 지지 부재에는 다수의 제1 압전 액츄에이터가 고정되며 지지 부재는 제2 압전 액츄에이터에 장착되고, 제1 압전 액츄에이터의 자유단에는 기록 및 판독용 헤드가 각기 장착되며, 제1 압전 액츄에이터의 압전 박막의 양측에는 제1 전극 및 제2 전극이 형성되어, 전기 신호에 따라 전압이 인가되면 제1 압전 액츄에이터는 좌우 방향으로 소정량만큼 벤딩 변형되고, 해당 기록 및 판독용 헤드는 원하는 데이터 트랙 위로 이동하여, 지지 부재는 제1 압전 액츄에이터와 직교하는 방향으로 형성된 제2 압전 액츄에이터에 장착되어 전기 신� �에 따라 전압이 인가되면 소정량만큼 벤딩 변형하여 기록 및 판독용 헤드는 디스크의 경계면을 향하여 이동하여 디스크의 경계면과 근접촉 또는 접촉하는 상태에서 기록 및 판독을 행함으로써, 디스크의 데이터 기록 밀도가 향상되고 디스크의 마찰 및 마모가 최소화되며 데이터 액세스 시간이 단축된다.
    • 8. 发明授权
    • 부상형 광학/자기헤드 보호구조
    • 부상형광학/자기헤드보호구조
    • KR100441418B1
    • 2004-07-22
    • KR1020010046590
    • 2001-08-01
    • 김대은정구현이정규박진무
    • 김대은정구현박진무이정규
    • G11B21/21
    • PURPOSE: A structure for protecting an optical head of an information storage device is provided to protect an optical or magnetic head of a head slider flying over the surface of a disc from contamination. CONSTITUTION: A head slider/disc interface includes an optical/magnetic head(20), a slider(30) having a leading edge, a trailing edge and an air bearing for forming a desired flying height from the surface of a disc, and a suspension for supporting the slider. There is formed a difference between the surface energy of the slider and the surface energy of the optical head in such a manner that the area surrounding the optical/magnetic head mounted on the slider has a large surface energy but the optical/magnetic head has a small surface energy.
    • 目的:提供一种用于保护信息存储装置的光学头的结构,以保护在磁盘表面上飞行的磁头滑块的光学或磁头免受污染。 一种磁头滑块/磁盘接口包括一个光学/磁头(20),一个具有前缘,后缘和空气轴承的滑块(30),用于从磁盘表面形成所需的浮动高度,以及 用于支撑滑块的悬架。 在滑块的表面能量和光学头的表面能量之间形成一个差值,使得安装在滑块上的光学/磁头周围的区域具有大的表面能量,但是光学/磁头具有 小的表面能。
    • 10. 发明公开
    • 고체함침렌즈와 슬라이더 일체형 광학유닛
    • 具有固体浸没镜头的光学单元与滑块集成
    • KR1020020015542A
    • 2002-02-28
    • KR1020000048672
    • 2000-08-22
    • 강신일김동묵문수동김대은
    • 강신일김동묵문수동김대은
    • G11B7/09
    • PURPOSE: An optical unit having an SIL(Solid Immersion Lens) integral with a slider is provided to simplify the structure of an optical slider by manufacturing a slider and an optical system such as an SIL integrally with transparent material, and to remove the tolerance of an assembly line. CONSTITUTION: An optical unit(4) having an optical system integrated with a slider(9) is positioned on a disk substrate(7). The optical system consists of SILs. The bottom of the optical unit is apart from the disk substrate with specific flying height(6). At the tip thereof, a head disk interface having a suspension(8) is formed. In the optical unit, an optical pickup consisting of the SILs is mounted at the end of the slider. To obtain the optical characteristics of an SIL, the highest part of a lens is distant from the lowest part. The bottom of the SILs is agreed with the bottom of the slider with the disk substrate as a base line. A specific critical angle is formed between the SILs to project beam from the SILs smoothly. The tolerance in an assembly line is removed as the optical unit meets all of notices to be considered.
    • 目的:提供具有与滑块一体的SIL(固体浸没透镜)的光学单元,以通过制造滑块和诸如SIL的光学系统与透明材料一体制造来简化光学滑块的结构,并且消除 一条装配线。 构成:具有与滑块(9)一体化的光学系统的光学单元(4)位于盘基片(7)上。 光学系统由SILs组成。 光学单元的底部与具有特定飞行高度的盘基板分离(6)。 在其顶端形成有具有悬架(8)的头盘接口。 在光学单元中,由SIL组成的光学拾取器安装在滑块的端部。 为了获得SIL的光学特性,透镜的最高部分远离最低部分。 SIL的底部与滑块的底部一致,盘基底为基线。 在SIL之间形成一个特定的临界角,从而平稳地投射SIL的光束。 当光学单元满足要考虑的所有通知时,装配线中的公差被移除。