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    • 3. 发明申请
    • 주사탐침열현미경을 이용한 정량적 온도 및 열전도도 계측방법
    • 使用扫描探针显微镜定量测量温度和热导率
    • WO2011002201A2
    • 2011-01-06
    • PCT/KR2010/004204
    • 2010-06-29
    • 고려대학교 산학협력단권오명김경태
    • 권오명김경태
    • G01Q60/58G01N25/18
    • G01Q60/58G01N25/18
    • 본 발명은 나노스케일(nano scale)의 해상력을 가지고 시편을 주사(scanning)하여 시편의 열적 특성 등을 이미지로 나타내는 주사탐침열현미경 및 이를 이용한 정량적 온도 및 열전도도 계측방법에 관한 것이다. 특히 본 발명은 주사탐침열현미경의 탐침이 시편에 접촉된 상태에서 상기 시편을 주사하여 상기 시편의 온도(즉, 접촉모드 온도)을 계측하는 단계와; 상기 주사탐침열현미경의 탐침이 상기 시편으로부터 유격된 높이에 따라서 복수 회 상기 시편을 주사하여 상기 시편의 온도(즉, 비접촉모드 온도)를 계측하는 단계와; 상기 복수 회의 비접촉모드 온도로부터 외삽법에 의해, 상기 유격된 높이가 '0'인 보간 온도를 산출하는 단계와; 상기 접촉모드 온도과 상기 보간 온도의 비교에 의해, 국부 정량적 온도 및 열전도도를 획득하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사탐침열현미경 및 이를 이용한 정량적 온도 및 열전도도 계측방법을 제시한다.
    • 本发明是一种纳米级扫描探针热显微镜和其定量温度和使用表示由图像样品的热性质的扫描(扫描)的样品具有(纳米尺度)的分辨率的热导率的测量 < 特别地,本发明是扫描样品测量的温度的步骤(即,在接触模式中,温度)与样品的状态的扫描型探针显微镜进行热接触的探针的样品; 该方法通过扫描样品按照从样品测量的温度间隙的高度多次包括扫描探针显微镜列的探针(即,非接触模式,温度)试样的; 通过从多个非接触模式温度外推计算间隙高度为“0”的内插温度; 并且通过比较接触模式温度和插值温度以及使用其的定量温度和热导率测量方法来获得局部定量温度和热导率, p>

    • 4. 发明申请
    • 주사탐침열현미경 및 이를 이용한 온도 프로파일링 방법
    • 扫描热显微镜及其使用温度分布的方法
    • WO2012165791A2
    • 2012-12-06
    • PCT/KR2012/004007
    • 2012-05-21
    • 고려대학교 산학협력단권오명정재훈김경태황광석
    • 권오명정재훈김경태황광석
    • G01Q60/58
    • G01Q60/58
    • 본 발명은 시편을 주사(scanning)하여 시편의 정량적 온도, 열적 특성 등을 프로파일링할 수 있는 주사탐침열현미경 및 이를 이용한 온도 프로파일링 방법에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 시편을 주사할 수 있는 첨단을 갖는 탐침; 상기 탐침 첨단이 활성모드로 구동될 수 있도록 상기 탐침 첨단을 가열하는 구동 전원부; 상기 탐침 첨단이 상기 시편에 접촉된 상태인 접촉모드 및 상기 시편으로부터 유격된 상태인 비접촉모드로 각각 구동될 수 있도록 상기 탐침 첨단 높이 위치를 제어하는 구동 기구부; 상기 탐침 첨단이 활성모드 또는 비 활성모드로 구동되어 접촉모드, 비접촉모드에서 각각 시편을 주사할 수 있도록 상기 구동 전원부 및 상기 구동 기구부를 제어하는 제어부; 상기 시편의 주사로 인해 상기 탐침 첨단에 생성된 열전전압으로부터 상기 시편의 온도를 계측하는 시편 온도 계측부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사탐침열현미경 및 이를 이용한 온도 프로파일링 방법을 제시할 수 있다.
    • 本发明涉及通过扫描样品来分析样品的定量温度和热特性的扫描热显微镜以及使用其的温度分布方法。 特别地,本发明的扫描热显微镜包括:具有用于扫描样品的尖端的探针; 驱动电源单元,用于加热探针的尖端,以将探头的尖端驱动到主动模式; 用于控制探针的尖端的高度位置的驱动机构,以便将探针的尖端驱动到探针的尖端接触样品并且进入非接触模式的接触模式, 其中探针的尖端与样品间隔开; 控制单元,用于通过将探头的尖端驱动到活动模式或被动模式中来控制驱动电源单元和驱动机构,以便在接触模式和非接触模式中的每一个中扫描样本; 以及采样温度测量单元,用于利用由于样品的扫描而在探针的尖端处产生的热电电压来测量样品的温度。
    • 9. 发明授权
    • 주사탐침열현미경 및 이를 이용한 온도 프로파일링 방법
    • 扫描热显微镜和温度分析方法使用相同
    • KR101240399B1
    • 2013-03-11
    • KR1020110051103
    • 2011-05-30
    • 고려대학교 산학협력단
    • 권오명정재훈김경태황광석
    • G01Q60/58G01K13/12
    • G01Q60/58
    • 본 발명은 시편을 주사(scanning)하여 시편의 정량적 온도, 열적 특성 등을 프로파일링할 수 있는 주사탐침열현미경 및 이를 이용한 온도 프로파일링 방법에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 시편을 주사할 수 있는 첨단을 갖는 탐침; 상기 탐침 첨단이 활성모드로 구동될 수 있도록 상기 탐침 첨단을 가열하는 구동 전원부; 상기 탐침 첨단이 상기 시편에 접촉된 상태인 접촉모드 및 상기 시편으로부터 유격된 상태인 비접촉모드로 각각 구동될 수 있도록 상기 탐침 첨단 높이 위치를 제어하는 구동 기구부; 상기 탐침 첨단이 활성모드 또는 비 활성모드로 구동되어 접촉모드, 비접촉모드에서 각각 시편을 주사할 수 있도록 상기 구동 전원부 및 상기 구동 기구부를 제어하는 제어부; 상기 시편의 주사로 인해 상기 탐침 첨단에 생성된 열전전압으로부터 상기 시편의 온도를 계측하는 시편 온도 계측부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사탐침열현미경 및 이를 이용한 온도 프로파일링 방법을 제시할 수 있다.
    • 10. 发明公开
    • 주사탐침열현미경을 이용한 정량적 온도 및 열전도도 계측방법
    • 使用扫描热显微镜的定量温度和热导率测量方法
    • KR1020110004925A
    • 2011-01-17
    • KR1020090058290
    • 2009-06-29
    • 고려대학교 산학협력단
    • 권오명김경태
    • G01Q60/58G01N25/18
    • G01Q60/58G01N25/18
    • PURPOSE: A quantitative temperature and a thermal conductivity measuring method is provided to measure a quantitative temperature by eliminating an effect by air using SThM(Scanning Thermal Microscope) method. CONSTITUTION: A probe of the SThM measures contact mode temperature by injecting a test sample while the probe is being contacted with the test sample. The probe of SThM measures lift mode temperature by injecting the test sample according to the gap from the test sample. An interpolation temperature from the gap is 0 is calculated by extrapolation method using the lift mode temperature. A quantitative temperature and a thermal conductivity are obtained by compared with the contact mode temperature, and interpolation temperature.
    • 目的:提供定量温度和热导率测量方法,通过使用SThM(扫描热显微镜)方法消除空气的影响来测量定量温度。 构成:探头与测试样品接触时,SThM的探头通过注射测试样品来测量接触模式温度。 SThM的探头通过根据测试样品的间隙注入测试样品来测量提升模式温度。 通过使用提升模式温度的外推法计算间隙内插温度为0。 通过与接触模式温度和插值温度相比,获得定量温度和热导率。