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    • 6. 发明公开
    • 용매열 스핀 코팅 단일 공정을 이용한 자가 조립 블록 공중합체 패턴의 제조방법
    • 使用溶剂热旋涂单一工艺制造自组装嵌段共聚物图案的方法
    • KR1020170136291A
    • 2017-12-11
    • KR1020160068182
    • 2016-06-01
    • 고려대학교 산학협력단부산대학교 산학협력단
    • 방준하최영선허준우상훈정현중
    • H01L21/027H01L21/02G03F7/00H01L21/033H01L21/308H01L21/324
    • 본발명은용매열스핀코팅단일공정을이용한자가조립블록공중합체패턴의제조방법에관한것으로서, 더욱구체적으로는, 기판상에블록공중합체 (block copolymers, BCP) 용액을도포하고스핀코팅및 상기기판에열을가해줌으로써상기블록공중합체의자가조립에의해서상기블록공중합체의패턴을형성하는방법에있어서, 상기스핀코팅과동시에열 처리를수행하는것을특징으로하는용매열스핀코팅단일공정을이용한자가조립블록공중합체패턴의제조방법에관한것이다. 본발명에따르면, 블록공중합체를이용한미세구조형성의공정을간소화함으로써, 나노리소그래피를이용한대량생산에적합한공정을제공할수 있는바, 특히, 매우간단한장비구성을통해서나노패터닝을구현하는것이가능하다. 이를통해서, 기존의복잡한공정에서야기되는나노패턴의결함발생율을획기적으로낮출수 있으며, 공정시간단축을통해서대량생산의효율성을높일수 있다.
    • 本发明溶剂热旋涂涉及一种使用一个单一的过程,并且更具体地,该嵌段共聚物中的应用(嵌段共聚物,BCP)在基板和旋涂溶液组装嵌段共聚物图案的自制造方法,以及基板 一种通过施加退火热使嵌段共聚物自组装而形成嵌段共聚物的图案的方法,其特征在于退火与旋涂同时进行。 和生产组装嵌段共聚物图案的方法。 根据本发明,通过简化由嵌段共聚物形成的微结构的过程中,也能够实现通过栏中的纳米图案化,并且特别地,一个非常简单的装置结构,可以提供一种用于使用批量生产纳米光刻合适的工艺 。 由此,能够大幅降低现有的复杂的工艺所引起的纳米图案的缺陷发生率,能够缩短处理时间,提高批量生产的效率。
    • 10. 发明授权
    • 극성과 흐름성이 조절되는 내충격성 에폭시 접착제 조성물
    • 极性和熔体流动控制的耐冲击环氧胶粘剂组合物
    • KR101588717B1
    • 2016-01-26
    • KR1020140019479
    • 2014-02-20
    • 부산대학교 산학협력단
    • 최영선
    • C09J163/00C09J11/00C09J7/00
    • (a) 에폭시수지및 극성조절용고분자중간체를포함하는제1 성분; (b) 에폭시수지, 상기에폭시수지에용해성을갖는폴리아미드엘라스토머, 및상기폴리아미드엘라스토머와부분적으로반응하는단량체를포함하는제2 성분; 및 (c) 에폭시수지및 엘라스토머공중합체나노소재를함유한첨가제혼합물을포함하는제3 성분을포함하는극성과흐름성이조절된내충격성에폭시접착제조성물로서, 상기극성조절용고분자중간체는폴리에테르모노아민으로서, 중량평균분자량이 500 내지 5,000이고, 주사슬에에틸렌옥사이드와프로필렌옥사이드사슬을단독또는혼합된형태로포함하는것을특징으로하고, 흐름성제어를위하여사용하는엘라스토머공중합체나노소재는폴리스티렌-폴리부타디엔-폴리메틸메타크릴레이트성분으로구성된 SBM 블록공중합체와폴리메틸메타크릴레이트-폴리부틸아크릴레이트성분으로구성된 MAM 블록공중합체에라스토머를포함하는것을특징으로하는극성과흐름성이조절된내충격성에폭시접착제조성물을얻을수 있다.