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1. 发明公开

KR1020150117596A 산란 Ｘ선 제거용 그리드의 제조방법 有权
标题翻译：用于移除散射X射线的网格的制造方法
公开(公告)号：KR1020150117596A
公开(公告)日：2015-10-20
申请号：KR1020150031450
申请日：2015-03-06
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 카츠미유키토 , 마치이요시후미 , 하세가와케이이치 , 하세가와히로츠네 , 요시하라유타카 , 요시다마사토 , 사토히데노부
IPC分类号： G21K1/02 , A61B6/06
CPC分类号： G21K1/025 , A61B6/06
摘要： [과제] 과제중 하나는, 1차 X선의투과특성이뛰어난산란 X선제거용그리드를간편하고쉬우면서도염가로제조할수 있는제조방법을제공하는것이다. [해결수단] 해결수단중 하나는, 관통패턴성형공정에서, 수지기판(GS)에싱크로트론광빔을조사함으로써, 6각형상단위관통부(H)를, 소정간격을두고복수배치한관통패턴을형성한 1차가공기판을성형한다. 그다음에, 무전해도금처리공정에서, X선흡수성을갖춘금속(Au)을포함하는무전해도금용액에해당 1차가공기판을침지함으로써, 단위관통부(H) 사이의연결부분(B)의표리면및 단위관통부(H)의내면에무전해금도금층을형성한다.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种用于制造用于去除散射X射线的格栅的方法，该方法具有优异的穿透第一X射线的特性。在穿透图案模塑工艺中，通过用同步加速器光束照射树脂基板（GS）来形成具有以预定间隔布置有六边形单元穿透部分（H）的穿透图案的第一处理基板。然后，在化学镀处理中，通过浸渍第一被处理基板，在单元穿透单元（H）的接合部（B）的外侧和单元穿透单元（H）的内侧形成化学镀金层，包括具有X射线吸收特性的金属（Au）的化学镀溶液。

2. 发明授权

KR101686321B1 산란 Ｘ선 제거용 그리드의 제조방법 有权
标题翻译：用于去除散射X射线的栅格制造方法
公开(公告)号：KR101686321B1
公开(公告)日：2016-12-13
申请号：KR1020150031450
申请日：2015-03-06
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 카츠미유키토 , 마치이요시후미 , 하세가와케이이치 , 하세가와히로츠네 , 요시하라유타카 , 요시다마사토 , 사토히데노부
IPC分类号： G21K1/02 , A61B6/06
摘要： [과제] 과제중 하나는, 1차 X선의투과특성이뛰어난산란 X선제거용그리드를간편하고쉬우면서도염가로제조할수 있는제조방법을제공하는것이다. [해결수단] 해결수단중 하나는, 관통패턴성형공정에서, 수지기판(GS)에싱크로트론광빔을조사함으로써, 6각형상단위관통부(H)를, 소정간격을두고복수배치한관통패턴을형성한 1차가공기판을성형한다. 그다음에, 무전해도금처리공정에서, X선흡수성을갖춘금속(Au)을포함하는무전해도금용액에해당 1차가공기판을침지함으로써, 단위관통부(H) 사이의연결부분(B)의표리면및 단위관통부(H)의내면에무전해금도금층을형성한다.
摘要翻译：本发明旨在提供一种用于散射X射线去除的滤光光栅的制造方法，其可以容易且廉价地制造具有优异透射特性的初级X射线。该方法包括通过将同步加速光照射到树脂基板GS，以特定间隔形成设置有多个六边形单元贯通部H的贯穿图案的主处理基板的贯穿图案形成工序; 以及通过将初级处理基板浸渍到无电镀液中，在单元贯通部H和单元贯通部H的内表面之间形成无电解镀层的化学镀处理工序含有具有X射线吸收率的金属（Au）。

4. 发明授权

KR102239202B1 액추에이터, 밸브, 유체 공급 시스템 및 반도체 제조 장치 有权
公开(公告)号：KR102239202B1
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：KR1020197038314
申请日：2018-06-22
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 미우라다케루 , 시노하라츠토무 , 나카타도모히로 , 이나다도시유키 , 와타나베가즈나리 , 곤도겐타 , 사토히데노부 , 유하라도모코
IPC分类号： F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/31 , F15B13/042
摘要： 간이한구성으로개폐속도의변동을저감하는것이가능한액추에이터, 밸브, 유체공급시스템및 반도체제조장치를제공한다. 밸브(1)는, 유체통로(11b, 11c)가형성된바디(10)와, 유체통로를개폐하는다이어프램(15)과, 다이어프램(15)에의해유체통로(11b, 11c)를개폐시키기위해서, 다이어프램(15)에대하여근접및 이격이동가능하게마련된스템(26)과, 케이싱내에마련되어, 외부로부터공급되는구동유체의압력을소정의압력으로감압하는감압밸브(40)와, 케이싱내에마련되고, 감압밸브(40)에의해감압된소정의압력의구동유체에의해스템(26)을구동하는구동부(30)를구비한다.

5. 发明授权

KR102210582B1 밸브장치, 유량 조정방법, 유체 제어장치, 유량 제어방법, 반도체 제조장치 및 반도체 제조방법 有权
公开(公告)号：KR102210582B1
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：KR1020207001448
申请日：2018-09-11
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 콘도켄타 , 요시다토시히데 , 아이카와켄지 , 사토히데노부 , 나카타토모히로 , 시노하라츠토무 , 타키모토마사히코
IPC分类号： F16K7/12 , F16K31/02 , F16K31/122 , F16K37/00 , H01L21/67 , C23C16/52 , C23C16/455
摘要： 외부센서를이용하지않고, 경시, 경년등에의한유량변동을정밀하게조정가능한밸브장치를제공한다. 개방위치에위치한조작부재의위치를조정하기위한압전소자를이용한조정용액추에이터(100)를갖고, 조정용액추에이터(100)의구동회로(200)는, 압전소자에생기는변형량에관한전기신호를검출하는검출부(210)와, 압전소자의변형량에관한전기신호에근거하여, 밸브체에의한유로의개방도가목표개방도가되도록조정용액추에이터(100)를제어하는제어부(210)를갖는다.

6. 发明授权

KR101876258B1 회전 핸들용 캡 有权
公开(公告)号：KR101876258B1
公开(公告)日：2018-08-02
申请号：KR1020167011498
申请日：2015-02-06
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 이와나가유스케 , 사토히데노부 , 마쓰다다카히로
IPC分类号： F16K31/44 , F16K31/60 , F16K35/04 , F16K51/00
CPC分类号： F16K35/02 , F16K7/00 , F16K31/60 , F16K35/04
摘要： 본발명은밸브의개폐를제어하는회전핸들에장착하기위한넓은스페이스를필요로하지않고상기회전핸들에용이하게장착할수 있고, 장착후에있어서는, 회전핸들과함께회전가능상태및 회전핸들과는독립인회전가능상태를간단한조작에의해실현할수 있는회전핸들용캡을제공하는것에관한것으로, 회전축에장착되고, 또한그 회전축을회전시키는회전핸들에장착되는회전핸들용캡으로서, 상기회전핸들에고정되도록장착되는내장체와, 상기내장체를내장하는외장체와, 상기내장체에대하여상기외장체의회전축을중심으로하여상기외장체를회전가능및 회전불가능하게하는클러치부와, 상기클러치부에의해상기내장체에대하여회전가능하게된 상기외장체의회전가능상태를유지하는유지부를포함하는, 회전핸들용캡에관한것이다.

7. 发明授权

KR102237042B1 밸브장치, 이 밸브장치를 사용한 유량제어방법 및 반도체 제조방법 有权
公开(公告)号：KR102237042B1
公开(公告)日：2021-04-08
申请号：KR1020197017553
申请日：2017-11-02
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 요시다토시히데 , 나카타토모히로 , 시노하라츠토무 , 이나다토시유키 , 후나코시타카시 , 사토히데노부 , 유하라토모코
IPC分类号： F16K1/00 , F16K31/122 , F16K7/14 , F16K31/02 , H01L21/205
摘要： [과제] 유량제어범위가넓어지고, 범용성이향상한밸브장치를제공한다. [해결수단] 유로(12, 13)를획정하는밸브보디(10)와, 밸브보디(10)에대하여유로(12, 13)를개폐가능하게설치된다이어프램(20)과, 다이어프램(20)을조작해서유로(12, 13)를개폐시키는개폐방향Al, A2에이동가능하게설치된조작부재(40)와, 조작부재(40)에대하여개폐방향의개방향Al 또는폐방향으로주어지는조작압에따른구동력을부여하는주 액추에이터(60)와, 유로의개도를규정하는조작부재(40)의위치를서로다른제1의개위치Pl 또는제2의개위치P2에조작압의크기에따라서선택적으로전환가능한전환기구와, 제1의개위치Pl 및제2의개위치P2를각각독립적으로조절가능한조절기구(70, 80)를, 가진다.

8. 发明授权

KR101772745B1 적층형 Ｘ선 그리드의 제조장치 및 제법 有权
公开(公告)号：KR101772745B1
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：KR1020150017877
申请日：2015-02-05
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 카츠미유키토 , 마치이요시후미 , 하세가와케이이치 , 하세가와히로츠네 , 요시하라유타카 , 요시다마사토 , 사토히데노부
IPC分类号： A61B6/00
摘要： [과제] 형태유지성, 강성, 내구성을갖는적층형 X선그리드를제공한다. [해결수단] 본발명에따른적층형 X선그리드(14)는, X선투과성을갖는시트(2)의상면에 X선흡수제도착층(4)과공극층(5)으로이루어진소정패턴의인쇄층(3)이형성된인쇄시트(1)를단위층으로하여, 복수매의상기인쇄시트(1)가시트(2)와인쇄층(3)이적층방향으로번갈아배치되도록적층된인쇄시트적층체(13)로구성되며, 시트(2)를사이에두고상하로대향하여적층되는복수의 X선흡수제도착층(4)에의해 X선흡수부(10)가형성되고, 시트(2)를사이에두고상하로대향하여적층되는복수의공극층(5)에의해 X선투과부(12)가형성되는것을특징으로한다. 또한, 최상면에 X선투과성을갖는상측플레이트(20)가배치되고, 최하면에 X선투과성을갖는하측플레이트(18)를배치할수도있다.

9. 发明公开

KR1020160063388A 회전 핸들용 캡 审中-实审
标题翻译：转向转向轮盖
公开(公告)号：KR1020160063388A
公开(公告)日：2016-06-03
申请号：KR1020167011498
申请日：2015-02-06
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 이와나가유스케 , 사토히데노부 , 마쓰다다카히로
IPC分类号： F16K31/44 , F16K31/60 , F16K35/04 , F16K51/00
CPC分类号： F16K35/02 , F16K7/00 , F16K31/60 , F16K35/04 , F16K31/44 , F16K51/00
摘要： 본발명은밸브의개폐를제어하는회전핸들에장착하기위한넓은스페이스를필요로하지않고상기회전핸들에용이하게장착할수 있고, 장착후에있어서는, 회전핸들과함께회전가능상태및 회전핸들과는독립인회전가능상태를간단한조작에의해실현할수 있는회전핸들용캡을제공하는것에관한것으로, 회전축에장착되고, 또한그 회전축을회전시키는회전핸들에장착되는회전핸들용캡으로서, 상기회전핸들에고정되도록장착되는내장체와, 상기내장체를내장하는외장체와, 상기내장체에대하여상기외장체의회전축을중심으로하여상기외장체를회전가능및 회전불가능하게하는클러치부와, 상기클러치부에의해상기내장체에대하여회전가능하게된 상기외장체의회전가능상태를유지하는유지부를포함하는, 회전핸들용캡에관한것이다.

10. 发明公开

KR1020150113817A 적층형 Ｘ선 그리드의 제조장치 및 제법 有权
标题翻译：堆叠型X射线网，其制造设备和制造方法
公开(公告)号：KR1020150113817A
公开(公告)日：2015-10-08
申请号：KR1020150017877
申请日：2015-02-05
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 카츠미유키토 , 마치이요시후미 , 하세가와케이이치 , 하세가와히로츠네 , 요시하라유타카 , 요시다마사토 , 사토히데노부
IPC分类号： A61B6/00
CPC分类号： A61B6/4291
摘要： [과제] 형태유지성, 강성, 내구성을갖는적층형 X선그리드를제공한다. [해결수단] 본발명에따른적층형 X선그리드(14)는, X선투과성을가지는시트(2)의상면에 X선흡수제도착층(4)과공극층(5)으로이루어진소정패턴의인쇄층(3)이형성된인쇄시트(1)를단위층으로하여, 복수매의상기인쇄시트(1)가시트(2)와인쇄층(3)이적층방향으로번갈아배치되도록적층된인쇄시트적층체(13)로구성되며, 시트(2)를사이에두고상하로대향하여적층되는복수의 X선흡수제도착층(4)에의해 X선흡수부(10)가형성되고, 시트(2)를사이에두고상하로대향하여적층되는복수의공극층(5)에의해 X선투과부(12)가형성되는것을특징으로한다. 또한, 최상면에 X선투과성을가지는상측플레이트(20)가배치되고, 최하면에 X선투과성을가지는하측플레이트(18)를배치할수도있다.
摘要翻译：本发明提供一种具有保形性，强度和耐久性的层状X射线栅格。根据本发明的分层X射线栅格（14）使用印刷片（1），其上由X射线吸收材料到达层（4）构成的规定图案的印刷层（3）和气隙在具有X射线透射特性的片材（2）的上表面上的层（5）作为单位层，并且包括多个彼此层叠的打印片材（1），并且其中片材（2））和印刷层（3）以层叠方向交替排列以形成层叠体（13）。 X射线吸收单元（10）由放置在其间的片材（2）垂直层叠的多个X射线吸收材料到达层（4）形成。 X射线透射单元（12）由设置在其间的片材（2）垂直层叠的多个气隙层（5）形成。并且，具有X射线透过性的上板（20）可以设置在最上表面，并且具有X射线透过性的下板（18）可以设置在最下表面上。

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