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1. 发明公开

KR1020110048549A 시험 장치 및 회로 모듈 有权
标题翻译：测试设备和电路模块
公开(公告)号：KR1020110048549A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：KR1020117005308
申请日：2009-10-15
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 아타카,츠요시 , 코지마,쇼지
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/2874
摘要： 서로 마주 보게 배치된 제1 시험 기판 및 제2 시험 기판과, 제1 시험 기판에서 제2 시험 기판에 대향하는 면에 설치되어, 피시험 디바이스를 시험하는 제1 시험 회로와, 제2 시험 기판에서 제1 시험 기판에 대향하는 면에 설치되어, 피시험 디바이스를 시험하는 제2 시험 회로와, 제1 시험 기판 및 제2 시험 기판의 사이의 공간을 밀폐하는 것으로, 제1 시험 회로 및 제2 시험 회로를 공통의 공간에 밀폐하는 한편, 공통의 공간에 냉각재가 충전되는 밀폐부를 마련한다.
摘要翻译：第一测试电路，设置在第一测试基板的与第二测试基板相反的表面上，用于测试被测器件;以及第二测试电路，用于测试被测器件，第二测试电路设置在面向第一测试基板的表面上，用于测试被测器件以及第一测试基板和第二测试基板之间的空间被密封，电路密封在公共空间中，并且在共同空间中提供其中充满冷却剂的密封空间。

2. 发明公开

KR1020090038818A 시험장치 失效
标题翻译：测验设备
公开(公告)号：KR1020090038818A
公开(公告)日：2009-04-21
申请号：KR1020080100673
申请日：2008-10-14
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 코지마,쇼지
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/31924 , G11C29/56 , G11C2029/5602
摘要： A test equipment is provided to allow the amplitude of a difference signal fro DUT without input voltage of a first and a second amplifier by installing two replica drive amplifier. Automatic test equipment is connected with a DUT and a differential transmission line and output a differential signal from DUT. The DUT is composed of a sending amp, a receiving amp, and an output resistance(Rtu1,Rtu2). The receiving amp produces a differential voltage of the differential signal interposing the differential transmission line. A differential transmission line and the differential signal outputted from a transmit amplifier is inputted to ATE.
摘要翻译：提供了一种测试设备，通过安装两个副本驱动放大器来允许通过第一和第二放大器的输入电压的DUT的差分信号的幅度。自动测试设备与DUT和差分传输线相连，并从DUT输出差分信号。 DUT由发送放大器，接收放大器和输出电阻（Rtu1，Rtu2）组成。接收放大器产生插入差分传输线的差分信号的差分电压。将差分传输线路和从发送放大器输出的差分信号输入到ATE。

3. 发明授权

KR101001027B1 시험장치 失效
标题翻译：测验设备
公开(公告)号：KR101001027B1
公开(公告)日：2010-12-14
申请号：KR1020080100673
申请日：2008-10-14
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 코지마,쇼지
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/31924 , G11C29/56 , G11C2029/5602
摘要： [과제] 쌍방향 차동 인터페이스를 가지는 DUT의 시험장치를 제공한다.
[해결수단] 메인 드라이버 앰프(AMP0)는, DUT(102)에 송신해야 하는 패턴 데이터(PAT)에 기초하여 제 1 차동신호(Vd)를 생성한다. 제 1 리플리커 드라이버 앰프(AMP1)는, 패턴 데이터(PAT)에 기초하여 제 2 차동신호(Vcp)를 생성한다. 제 2 리플리커 드라이버 앰프(AMP2)는, 패턴 데이터(PAT)에 기초하여 제 3 차동신호(Vcn)를 생성한다. 제 1 비교기(CMP1)는, 노드(N1)와 노드(N2)의 전압을 비교하고, 제 2 비교기(CMP2)는 노드(N3)와 노드(N4)의 전압을 비교한다.
시험장치

4. 发明公开

KR1020100116547A 드라이버 콤퍼레이터 회로 및 이를 이용한 시험 장치 有权
标题翻译：驱动器比较器电路和使用这些的测试装置
公开(公告)号：KR1020100116547A
公开(公告)日：2010-11-01
申请号：KR1020100036897
申请日：2010-04-21
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 코지마,쇼지
IPC分类号： H03K19/0175 , H04L25/02 , G01R31/28
CPC分类号： H04L25/028 , G01R31/31924
摘要： PURPOSE: A driver comparator circuit and a test apparatus using the same are provided to compare the signal component transmitted from the opponent device with a threshold voltage using a comparator. CONSTITUTION: A first resistance(R1) comprises a first terminal receiving the first voltage and a second terminal connecting with an input output terminal(P1). A second resistance(R2) comprises a first terminal receiving the first voltage. A tail current source(12) generates the predetermined tail current.
摘要翻译：目的：提供驱动器比较器电路和使用其的测试装置，以使用比较器将从对手装置发送的信号分量与阈值电压进行比较。构成：第一电阻（R1）包括接收第一电压的第一端子和与输入端子（P1）连接的第二端子。第二电阻（R2）包括接收第一电压的第一端子。尾电流源（12）产生预定的尾电流。

5. 发明公开

KR1020170036595A 노광 장치 및 노광 방법 审中-实审
标题翻译：曝光装置和曝光方法
公开(公告)号：KR1020170036595A
公开(公告)日：2017-04-03
申请号：KR1020160095783
申请日：2016-07-27
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 코지마,쇼지 , 야마다,아키오 , 세야마,마사히로
IPC分类号： G03F1/20 , G03F1/44 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/7055 , G03F7/2059 , H01J37/045 , H01J37/3177 , H01J2237/304
摘要： (과제) 복수의하전입자빔을이용해빔 마다의조사타이밍의오차를저감시켜복잡하고미세한패턴을형성한다. (해결수단) 시료상에패턴을노광하는노광장치에있어서, 복수의하전입자빔에대응하여설치되어입력전압에따라시료상에대응하는하전입자빔을조사하는지여부를각각스위칭하는복수의블랭킹전극과, 복수의블랭킹전극의각각에공급되는블랭킹전압을스위칭하기위한스위칭신호를출력하는조사제어부와, 복수의블랭킹전극의각각에대하여, 스위칭신호의변화로부터블랭킹전압의변화까지의지연량을계측하는계측부를포함하는노광장치를제공한다.
摘要翻译：本发明的一个目的是提供一种通过使用多个带电粒子束减少每个束的照射定时的误差来形成复杂和精细图案的设备和方法。与多个带电粒子束相对应地设置的多个消隐电极，用于根据输入电压来切换是否照射样本上的相应带电粒子束，并且，对用于切换的消隐电压输出的开关信号的照射控制单元被提供给每个所述多个消隐电极的，该用于所述多个消隐电极，测量的延迟量从所述开关信号的变化的消隐电压kkajiui改变的提供了包括测量单元的曝光设备。

6. 发明授权

KR101160410B1 드라이버 콤퍼레이터 회로 및 이를 이용한 시험 장치 有权
标题翻译：驱动器比较器电路和使用这些的测试装置
公开(公告)号：KR101160410B1
公开(公告)日：2012-06-28
申请号：KR1020100036897
申请日：2010-04-21
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 코지마,쇼지
IPC分类号： H03K19/0175 , H04L25/02 , G01R31/28
CPC分类号： H04L25/028 , G01R31/31924
摘要： 쌍방향 전송에 있어서 송신 신호를 캔슬한다.
제 1 저항(R1)은 제 1 단자에 제 1 전압 VH'가 인가되고, 제 2 단자가 입출력단자(P1)와 접속된다. 제 2 저항(R2)은 제 1 단자에 제 1 전압 VH'가 인가된다. 테일 전류원(12)은 소정의 테일 전류 Ia'를 생성한다. 전류 스위치(10)는 제 2 디바이스(102)에 송신해야 할 데이터 PAT를 수신하고, 그 값에 대응하여 제 1 저항(R1)의 제 2 단자와 제 2 저항(R2)의 제 2 단자 중의 어느 하나를 선택하여, 테일 전류원(12)과 결합한다. 분압 회로(DIV1)는 제 1 저항(R1)의 제 2 단자와 제 2 저항(R2)의 제 2 단자 사이에 차례로 직렬로 마련된 제 3 저항(R3) 및 제 4 저항(R4)을 포함한다. 부하 밸런서(LB1)는 제 1 단자에 제 2 전압 VLB가 인가되고, 제 2 단자가 제 2 저항(R2)의 제 2 단자와 접속된 제 5 저항(R5)을 포함한다.

7. 发明公开

KR1020120023598A 가변 이퀄라이저 회로 및 이를 이용한 시험 장치 失效
标题翻译：可变的均衡器电路和测试装置
公开(公告)号：KR1020120023598A
公开(公告)日：2012-03-13
申请号：KR1020117020889
申请日：2010-03-31
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 코지마,쇼지
IPC分类号： H04B3/14 , G01R31/28 , G01R31/319 , H03H7/01
CPC分类号： G01R31/2851 , H04B3/14
摘要： 가변 이퀄라이저 회로(100)는, 통신 상대의 디바이스로부터 전송선로(3)를 개재하여 수신한 신호를 이퀄라이징한다. 제 1 저항(R1)은, 출력단자(P2)와 고정전압단자(Pvss) 사이에 마련되고, 그 저항값이 가변으로 구성된다. 제 1 커패시터(C1)는, 출력단자(P2)와 고정전압단자(Pvss) 사이에 제 1 저항(R1)과 병렬로 마련되고, 그 용량값이 가변으로 구성된다. 제 2 저항(R2)은, 입력단자(P1)와 출력단자(P2) 사이에 마련된다. 제 2 커패시터(C2)는, 입력단자(P1)와 출력단자(P2) 사이에 제 2 저항(R2)과 병렬로 마련된다. 션트 저항(Rs)은, 입력단자(P1)에서 고정전압단자(Pvss)에 이르는 제 1 커패시터(C1) 및 제 2 커패시터(C2)를 포함하는 경로 상에 마련된다.

8. 发明授权

KR101239487B1 가변 이퀄라이저 회로 및 이를 이용한 시험 장치 失效
标题翻译：可变的均衡器电路和测试装置
公开(公告)号：KR101239487B1
公开(公告)日：2013-03-07
申请号：KR1020117020889
申请日：2010-03-31
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 코지마,쇼지
IPC分类号： H04B3/14 , G01R31/28 , G01R31/319 , H03H7/01
CPC分类号： G01R31/2851 , H04B3/14
摘要： 가변 이퀄라이저 회로(100)는, 통신 상대의 디바이스로부터 전송선로(3)를 통하여 수신한 신호를 이퀄라이징한다. 제 1 저항(R1)은, 출력단자(P2)와 고정전압단자(Pvss) 사이에 마련되고, 그 저항값이 가변으로 구성된다. 제 1 커패시터(C1)는, 출력단자(P2)와 고정전압단자(Pvss) 사이에 제 1 저항(R1)과 병렬로 마련되고, 그 용량값이 가변으로 구성된다. 제 2 저항(R2)은, 입력단자(P1)와 출력단자(P2) 사이에 마련된다. 제 2 커패시터(C2)는, 입력단자(P1)와 출력단자(P2) 사이에 제 2 저항(R2)과 병렬로 마련된다. 션트 저항(Rs)은, 입력단자(P1)에서 고정전압단자(Pvss)에 이르는 제 1 커패시터(C1) 및 제 2 커패시터(C2)를 포함하는 경로 상에 마련된다.

9. 发明授权

KR101214036B1 시험 장치 및 회로 모듈 有权
标题翻译：测试设备和电路模块
公开(公告)号：KR101214036B1
公开(公告)日：2012-12-20
申请号：KR1020117005308
申请日：2009-10-15
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 아타카,츠요시 , 코지마,쇼지
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/2874
摘要： 서로마주보게배치된제1 시험기판및 제2 시험기판과, 제1 시험기판에서제2 시험기판에대향하는면에설치되어, 피시험디바이스를시험하는제1 시험회로와, 제2 시험기판에서제1 시험기판에대향하는면에설치되어, 피시험디바이스를시험하는제2 시험회로와, 제1 시험기판및 제2 시험기판의사이의공간을밀폐하는것으로, 제1 시험회로및 제2 시험회로를공통의공간에밀폐하는한편, 공통의공간에냉각재가충전되는밀폐부를마련한다.

10. 发明授权

KR101121090B1 전원 안정화 회로, 전자 디바이스 및 시험 장치 失效
标题翻译：电源稳压电路，电子设备和测试装置
公开(公告)号：KR101121090B1
公开(公告)日：2012-03-16
申请号：KR1020107005033
申请日：2008-08-19
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 코지마,쇼지
IPC分类号： H01L21/82 , H01L27/04 , G01R19/00
CPC分类号： G01R31/31721 , G01R31/31924
摘要： 전자 디바이스의 칩 내에 설치되어 전자 디바이스의 동작 회로에 공급되는 전원 전압을 안정화하는 전원 안정화 회로에 있어서, 동작 회로에 전원 전압을 공급하는 주전원 배선에서의 전원 전압의 변동 성분을 검출하고, 검출한 변동 성분을 증폭하여 출력하는 증폭기와, 증폭기의 출력단 및 주전원 배선의 사이에 설치되고, 증폭기의 출력에 따라, 주전원 배선에서의 전원 전압의 변동을 억제하는 전류를, 주전원 배선에 공급하는 안정화 커패시터를 포함하는 전원 안정화 회로를 제공한다.

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