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1. 发明公开

KR1020070100213A 기화 시스템의 기화기 失效
标题翻译：用于蒸发系统的蒸发器
公开(公告)号：KR1020070100213A
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：KR1020070095883
申请日：2007-09-20
申请人： 가부시키가이샤 시마즈세이사쿠쇼 , 미츠비시덴키 가부시키가이샤
发明人： 요시오카나오키 , 가와모토다츠시 , 가와오미츠시 , 마츠노시게루 , 야마다아키라 , 미야시타쇼지 , 우치카와후사오키
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： F16K11/207 , B01D1/0082 , C23C16/448 , C23C16/4486 , F16K31/1221 , Y10S261/65
摘要： A vaporizer for a vaporizing system is provided to reduce generation of non-vaporized residues and particles and provides a reliable vaporization evaluation method. A vaporizer for a vaporizing system includes a liquid material supply apparatus(1), and a vaporizer(2). Liquid material supplied from the liquid material supply apparatus(1) to the evaporator(2) is supplied into a CVD reactor installed at a CVD apparatus after vaporization in the vaporizer(2). Material vessels(3A,3B,3C) installed at the liquid material supply apparatus(1) are filled with liquid materials(4A,4B,4C). When a BaSrTi oxide layer is formed, solution, in which raw materials Ba, Sr, and Ti are dissolved, is used as the liquid materials(4A,4B,4C).
摘要翻译：提供了一种蒸发系统的蒸发器，用于减少非汽化残余物和颗粒的产生，并提供可靠的汽化评估方法。蒸发系统的蒸发器包括液体材料供应装置（1）和蒸发器（2）。在蒸发器（2）中蒸发后，从液体材料供给装置（1）供给到蒸发器（2）的液体材料被供给到安装在CVD装置上的CVD反应器。安装在液体材料供给装置（1）的材料容器（3A，3B，3C）填充有液体材料（4A，4B，4C）。当形成BaSrTi氧化物层时，其中溶解有原料Ba，Sr和Ti的溶液作为液体材料（4A，4B，4C）。

2. 发明公开

KR1020070053199A 기화 시스템의 액체재료 공급장치 失效
标题翻译：用于蒸发系统的液体物质供应装置
公开(公告)号：KR1020070053199A
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：KR1020070046453
申请日：2007-05-14
申请人： 가부시키가이샤 시마즈세이사쿠쇼 , 미츠비시덴키 가부시키가이샤
发明人： 요시오카나오키 , 가와모토다츠시 , 가와오미츠시 , 마츠노시게루 , 야마다아키라 , 미야시타쇼지 , 우치카와후사오키
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： F16K11/207 , B01D1/0082 , C23C16/448 , C23C16/4486 , F16K31/1221 , Y10S261/65
摘要： 본 발명은 기화 시스템의 액체재료 공급장치, 기화기 및 기화성능 평가방법에 관한 것으로서, 액체재료 공급장치에 있어서, 이송 라인에 2밸브 3방향 전환 밸브를 사용하거나 재료용기와 이송 라인을 3밸브 4방향 전환밸브로 접속함과 동시에 3밸브 4방향 전환밸브와 재료용기를 이송 라인으로부터 일체로 떼어낸 구성으로 하고, 또한 기화기에 있어서 액체재료를 포함하는 기액혼합재료가 흐르는 내측 배관의 선단부를 둘러싸도록 오리피스 부재를 설치하여, 내측 배관과 오리피스 부재의 간극으로부터 무화(霧化)용 가스를 기화 챔버내에 분출시키도록 하며, 또한 기화 챔버 내의 기화면의 온도를 액체재료에 따라서 독립적으로 온도 제어하는 것을 특징으로 한다.

3. 发明授权

KR100792964B1 기화 시스템의 기화기 失效
标题翻译：用于蒸发系统的蒸发器
公开(公告)号：KR100792964B1
公开(公告)日：2008-01-08
申请号：KR1020070095883
申请日：2007-09-20
申请人： 가부시키가이샤 시마즈세이사쿠쇼 , 미츠비시덴키 가부시키가이샤
发明人： 요시오카나오키 , 가와모토다츠시 , 가와오미츠시 , 마츠노시게루 , 야마다아키라 , 미야시타쇼지 , 우치카와후사오키
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： F16K11/207 , B01D1/0082 , C23C16/448 , C23C16/4486 , F16K31/1221 , Y10S261/65
摘要： 본 발명은 기화 시스템의 액체재료 공급장치, 기화기 및 기화성능 평가방법에 관한 것으로서, 액체재료 공급장치에 있어서, 이송 라인에 2밸브 3방향 전환 밸브를 사용하거나 재료용기와 이송 라인을 3밸브 4방향 전환밸브로 접속함과 동시에 3밸브 4방향 전환밸브와 재료용기를 이송 라인으로부터 일체로 떼어낸 구성으로 하고, 또한 기화기에 있어서 액체재료를 포함하는 기액혼합재료가 흐르는 내측 배관의 선단부를 둘러싸도록 오리피스 부재를 설치하여, 내측 배관과 오리피스 부재의 간극으로부터 무화(霧化)용 가스를 기화 챔버내에 분출시키도록 하며, 또한 기화 챔버 내의 기화면의 온도를 액체재료에 따라서 독립적으로 온도 제어하는 것을 특징으로 한다.
기화기, 분무부, 기화부

4. 发明公开

KR1020020024798A 기화 시스템의 기화기 失效
标题翻译：用于蒸发系统，蒸发器和蒸发性能评估方法的液体物质供应装置
公开(公告)号：KR1020020024798A
公开(公告)日：2002-04-01
申请号：KR1020010059297
申请日：2001-09-25
申请人： 가부시키가이샤 시마즈세이사쿠쇼 , 미츠비시덴키 가부시키가이샤
发明人： 요시오카나오키 , 가와모토다츠시 , 가와오미츠시 , 마츠노시게루 , 야마다아키라 , 미야시타쇼지 , 우치카와후사오키
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： F16K11/207 , B01D1/0082 , C23C16/448 , C23C16/4486 , F16K31/1221 , Y10S261/65
摘要： PURPOSE: A liquid substance supply device for a vaporizing system is provided to control generation of debris and air bubbles and to give a liquid material supplying apparatus in which a liquid material is stably controlled. CONSTITUTION: A three-port two-valve directional control valve is provided in a transfer line. A substance container and the transfer line are connected together by a four-port three-valve directional control valve in such a way that the four-port three-valve directional control valve and the substance container can be removed from the transfer line as a unit. In a vaporizer, an orifice member is provided to surround the end portion of an internal conduit in which flows a mixture substance consisting of a gas and a liquid substance mixed therewith. Gas for atomization is spouted into a vaporization chamber through a gap defined between the internal conduit and the orifice member. The temperature of a vaporization surface in the vaporization chamber can be controlled independently in correspondence with the nature of the liquid substrate.
摘要翻译：目的：提供一种用于蒸发系统的液体物质供应装置，以控制碎屑和气泡的产生，并给出液体材料稳定控制的液体材料供应装置。构成：输送线上设有三端口双阀方向控制阀。物质容器和输送管线通过四端口三阀方向控制阀连接在一起，使得四端口三阀方向控制阀和物质容器可以作为一个单元从传输线上移除。在蒸发器中，提供一个孔口构件，以围绕内部管道的端部，其中由与气体和液态物质组成的混合物质混合。用于雾化的气体通过限定在内部管道和孔口构件之间的间隙喷射到蒸发室中。可以根据液体基材的性质独立地控制蒸发室中的蒸发表面的温度。

5. 发明公开

KR1020070053679A 기화 시스템의 기화성능 평가방법 失效
标题翻译：蒸发系统的蒸发性能评估方法
公开(公告)号：KR1020070053679A
公开(公告)日：2007-05-25
申请号：KR1020070046454
申请日：2007-05-14
申请人： 가부시키가이샤 시마즈세이사쿠쇼 , 미츠비시덴키 가부시키가이샤
发明人： 요시오카나오키 , 가와모토다츠시 , 가와오미츠시 , 마츠노시게루 , 야마다아키라 , 미야시타쇼지 , 우치카와후사오키
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： F16K11/207 , B01D1/0082 , C23C16/448 , C23C16/4486 , F16K31/1221 , Y10S261/65
摘要： 본 발명은 기화 시스템의 액체재료 공급장치, 기화기 및 기화성능 평가방법에 관한 것으로서, 액체재료 공급장치에 있어서, 이송 라인에 2밸브 3방향 전환 밸브를 사용하거나 재료용기와 이송 라인을 3밸브 4방향 전환밸브로 접속함과 동시에 3밸브 4방향 전환밸브와 재료용기를 이송 라인으로부터 일체로 떼어낸 구성으로 하고, 또한 기화기에 있어서 액체재료를 포함하는 기액혼합재료가 흐르는 내측 배관의 선단부를 둘러싸도록 오리피스 부재를 설치하여, 내측 배관과 오리피스 부재의 간극으로부터 무화(霧化)용 가스를 기화 챔버내에 분출시키도록 하며, 또한 기화 챔버 내의 기화면의 온도를 액체재료에 따라서 독립적으로 온도 제어하는 것을 특징으로 한다.

6. 发明授权

KR100859898B1 기화 시스템의 액체재료 공급장치 失效
标题翻译：用于蒸发系统的液体物质供应装置
公开(公告)号：KR100859898B1
公开(公告)日：2008-09-23
申请号：KR1020070046453
申请日：2007-05-14
申请人： 가부시키가이샤 시마즈세이사쿠쇼 , 미츠비시덴키 가부시키가이샤
发明人： 요시오카나오키 , 가와모토다츠시 , 가와오미츠시 , 마츠노시게루 , 야마다아키라 , 미야시타쇼지 , 우치카와후사오키
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： F16K11/207 , B01D1/0082 , C23C16/448 , C23C16/4486 , F16K31/1221 , Y10S261/65
摘要： 본 발명은 기화 시스템의 액체재료 공급장치, 기화기 및 기화성능 평가방법에 관한 것으로서, 액체재료 공급장치에 있어서, 이송 라인에 2밸브 3방향 전환 밸브를 사용하거나 재료용기와 이송 라인을 3밸브 4방향 전환밸브로 접속함과 동시에 3밸브 4방향 전환밸브와 재료용기를 이송 라인으로부터 일체로 떼어낸 구성으로 하고, 또한 기화기에 있어서 액체재료를 포함하는 기액혼합재료가 흐르는 내측 배관의 선단부를 둘러싸도록 오리피스 부재를 설치하여, 내측 배관과 오리피스 부재의 간극으로부터 무화(霧化)용 가스를 기화 챔버내에 분출시키도록 하며, 또한 기화 챔버 내의 기화면의 온도를 액체재료에 따라서 독립적으로 온도 제어하는 것을 특징으로 한다.

7. 发明授权

KR100781007B1 기화 시스템의 기화기 失效
标题翻译：用于蒸发系统的蒸发器
公开(公告)号：KR100781007B1
公开(公告)日：2007-11-29
申请号：KR1020010059297
申请日：2001-09-25
申请人： 가부시키가이샤 시마즈세이사쿠쇼 , 미츠비시덴키 가부시키가이샤
发明人： 요시오카나오키 , 가와모토다츠시 , 가와오미츠시 , 마츠노시게루 , 야마다아키라 , 미야시타쇼지 , 우치카와후사오키
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： F16K11/207 , B01D1/0082 , C23C16/448 , C23C16/4486 , F16K31/1221 , Y10S261/65
摘要： 본 발명은 기화 시스템의 액체재료 공급장치, 기화기 및 기화성능 평가방법에 관한 것으로서, 액체재료 공급장치에 있어서, 이송 라인에 2밸브 3방향 전환 밸브를 사용하거나 재료용기와 이송 라인을 3밸브 4방향 전환밸브로 접속함과 동시에 3밸브 4방향 전환밸브와 재료용기를 이송 라인으로부터 일체로 떼어낸 구성으로 하고, 또한 기화기에 있어서 액체재료를 포함하는 기액혼합재료가 흐르는 내측 배관의 선단부를 둘러싸도록 오리피스 부재를 설치하여, 내측 배관과 오리피스 부재의 간극으로부터 무화(霧化)용 가스를 기화 챔버내에 분출시키도록 하며, 또한 기화 챔버 내의 기화면의 온도를 액체재료에 따라서 독립적으로 온도 제어하는 것을 특징으로 한다.

8. 发明授权

KR100756773B1 기화 시스템의 기화성능 평가방법 失效
标题翻译：汽化系统汽化性能评价方法
公开(公告)号：KR100756773B1
公开(公告)日：2007-09-07
申请号：KR1020070046454
申请日：2007-05-14
申请人： 가부시키가이샤 시마즈세이사쿠쇼 , 미츠비시덴키 가부시키가이샤
发明人： 요시오카나오키 , 가와모토다츠시 , 가와오미츠시 , 마츠노시게루 , 야마다아키라 , 미야시타쇼지 , 우치카와후사오키
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： F16K11/207 , B01D1/0082 , C23C16/448 , C23C16/4486 , F16K31/1221 , Y10S261/65
摘要： 본 발명은 기화 시스템의 액체재료 공급장치, 기화기 및 기화성능 평가방법에 관한 것으로서, 액체재료 공급장치에 있어서, 이송 라인에 2밸브 3방향 전환 밸브를 사용하거나 재료용기와 이송 라인을 3밸브 4방향 전환밸브로 접속함과 동시에 3밸브 4방향 전환밸브와 재료용기를 이송 라인으로부터 일체로 떼어낸 구성으로 하고, 또한 기화기에 있어서 액체재료를 포함하는 기액혼합재료가 흐르는 내측 배관의 선단부를 둘러싸도록 오리피스 부재를 설치하여, 내측 배관과 오리피스 부재의 간극으로부터 무화(霧化)용 가스를 기화 챔버내에 분출시키도록 하며, 또한 기화 챔버 내의 기화면의 온도를 액체재료에 따라서 독립적으로 온도 제어하는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明涉及一种液体材料供应部，该汽化系统的蒸发器和蒸发性能的评价方法中，在液体材料供给装置，使用所述第二阀的三通切换阀或材料容器和进料管线3阀4的方向上的输送线中连接到切换阀，并在同一时间所述孔口到第三阀，四通切换阀与所述材料容器和配置已经整体地从输送线去除，并且围绕内管的远端是包含在蒸发器中流动的液体材料气液混合材料通过从内管，并在气化室中的孔口构件，并且其中所述温度控制在蒸发室的显示组的温度独立地之间的间隙中安装的构件，并且喷洒雾化为（雾化）气体，根据液体材料的。

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