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1. 发明公开

KR1020170028833A 연삭 휠 및 피가공물의 연삭 방법 审中-实审
标题翻译：研磨轮和研磨工具的方法
公开(公告)号：KR1020170028833A
公开(公告)日：2017-03-14
申请号：KR1020160103643
申请日：2016-08-16
申请人： 가부시기가이샤 디스코
发明人： 후와나루토 , 고야마마사시 , 야마시타신지
IPC分类号： B24B37/11 , B24B37/04 , B24B7/22 , H01L21/304
摘要： 피가공물을보다평탄하게연삭할수 있는연삭휠을제공한다. 판형의피가공물(11)을연삭하기위한연삭휠(1)로서, 연삭시에피가공물에대면하는제1 면(3a)을갖는원반형의휠 베이스(3)와, 휠베이스의제1 면에환형으로배열되는복수의연삭지석(5)을구비하고, 휠베이스의둘레방향에있어서인접하는 2개의연삭지석은, 휠베이스의직경방향에있어서상이한위치에배치되어있다.

2. 发明授权

KR102252842B1 게터링성의 평가 방법 有权
公开(公告)号：KR102252842B1
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：KR1020170060955
申请日：2017-05-17
申请人： 가부시기가이샤 디스코
发明人： 스케가와나오야 , 요코타료헤이 , 후와나루토
IPC分类号： H01L21/66
摘要： (과제) 실제제품이될 수있는디바이스웨이퍼에대하여, 게터링성을간이하게평가할수 있도록한다. (해결수단) 웨이퍼의게터링성평가방법으로서, 연마휠을사용하여반도체웨이퍼표면의뒷쪽의이면을연마하여이면에연마흔을형성함과함께반도체웨이퍼의내부이면서연마흔의하부에게터링층을형성하는게터링층형성공정과, 연마흔이형성된이면의적어도단위영역을촬상수단 (31) 에의해촬상하는촬상공정과, 촬상된단위영역에있어서 10 ∼ 500 ㎚의 폭을갖는연마흔의수를계수하는계수공정과, 계수공정에의해계수된연마흔의수가소정값 이상인지여부를비교하는비교공정을포함한다.

3. 发明授权

KR102243872B1 피가공물의 연삭 방법 有权
公开(公告)号：KR102243872B1
公开(公告)日：2021-04-22
申请号：KR1020150159527
申请日：2015-11-13
申请人： 가부시기가이샤 디스코
发明人： 후와나루토 , 마츠이히데키 , 야마시타신지
IPC分类号： H01L21/306 , B24B7/22 , B24B7/16
摘要： (과제) 복수의피가공물의전체를적절히평탄화할수 있는피가공물의연삭방법을제공한다. (해결수단) 복수의피가공물 (11) 을동시에연삭가공하는피가공물의연삭방법으로서, 복수의피가공물을유지부재 (13) 에첩착하는피가공물첩착공정과, 유지부재에첩착된복수의피가공물을척 테이블 (14) 로유지하는유지공정과, 연삭휠 (36) 을복수의피가공물에접촉시켜복수의피가공물을동시에연삭가공하는연삭공정을구비하고, 연삭휠은, 원반상의휠 기대 (38) 와, 휠기대의제 1 면 (38a) 에환상으로배열된복수의제 1 연삭지석 (40) 과, 복수의제 1 연삭지석의반경방향내측에서복수의제 1 연삭지석과동심원상으로배열된복수의제 2 연삭지석 (42) 을포함하고, 복수의제 1 연삭지석과복수의제 2 연삭지석의반경방향의간격 (D2) 은, 인접하는피가공물의최소간격 (D1) 보다넓은구성으로하였다.

4. 发明公开

KR1020170131244A 게터링성의 평가 방법 审中-实审
标题翻译：吸气性评估方法
公开(公告)号：KR1020170131244A
公开(公告)日：2017-11-29
申请号：KR1020170060955
申请日：2017-05-17
申请人： 가부시기가이샤 디스코
发明人： 스케가와나오야 , 요코타료헤이 , 후와나루토
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： H01L22/12 , B24B37/00 , H01L21/02016 , H01L21/02024 , H01L21/304 , H01L21/3221 , H01L22/24 , H01L23/544 , H01L29/34
摘要： (과제) 실제제품이될 수있는디바이스웨이퍼에대하여, 게터링성을간이하게평가할수 있도록한다. (해결수단) 웨이퍼의게터링성평가방법으로서, 연마휠을사용하여반도체웨이퍼표면의뒷쪽의이면을연마하여이면에연마흔을형성함과함께반도체웨이퍼의내부이면서연마흔의하부에게터링층을형성하는게터링층형성공정과, 연마흔이형성된이면의적어도단위영역을촬상수단 (31) 에의해촬상하는촬상공정과, 촬상된단위영역에있어서 10 ∼ 500 ㎚의 폭을갖는연마흔의수를계수하는계수공정과, 계수공정에의해계수된연마흔의수가소정값 이상인지여부를비교하는비교공정을포함한다.
摘要翻译：（问题）可以容易地评估可以是真实产品的器件晶片的吸杂性。一种评估晶片吸杂性能的方法，包括以下步骤：用抛光轮抛光半导体晶片背面的后表面以在半导体晶片的后表面上形成软磁底层，通过图像拾取装置（31）形成其上形成有软化部分的背面的背面的至少单位面积的步骤;形成宽度为10-500nm的多个沟槽的步骤并且比较步骤，比较由计数步骤计数的切线的数量是否等于或大于预定值。

5. 发明公开

KR1020160058700A 피가공물의 연삭 방법 审中-实审
标题翻译：研磨工作方法
公开(公告)号：KR1020160058700A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：KR1020150159527
申请日：2015-11-13
申请人： 가부시기가이샤 디스코
发明人： 후와나루토 , 마츠이히데키 , 야마시타신지
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/306 , H01L21/67
CPC分类号： B24B5/00 , B24B7/16 , B24B7/228
摘要： (과제) 복수의피가공물의전체를적절히평탄화할수 있는피가공물의연삭방법을제공한다. (해결수단) 복수의피가공물 (11) 을동시에연삭가공하는피가공물의연삭방법으로서, 복수의피가공물을유지부재 (13) 에첩착하는피가공물첩착공정과, 유지부재에첩착된복수의피가공물을척 테이블 (14) 로유지하는유지공정과, 연삭휠 (36) 을복수의피가공물에접촉시켜복수의피가공물을동시에연삭가공하는연삭공정을구비하고, 연삭휠은, 원반상의휠 기대 (38) 와, 휠기대의제 1 면 (38a) 에환상으로배열된복수의제 1 연삭지석 (40) 과, 복수의제 1 연삭지석의반경방향내측에서복수의제 1 연삭지석과동심원상으로배열된복수의제 2 연삭지석 (42) 을포함하고, 복수의제 1 연삭지석과복수의제 2 연삭지석의반경방향의간격 (D2) 은, 인접하는피가공물의최소간격 (D1) 보다넓은구성으로하였다.
摘要翻译：提供了一种用于研磨工件的方法，其可以适当地平坦化所有多个工件。用于研磨工件的方法，其中多个工件（11）同时被研磨，包括：将多个工件附接到维护构件（13）的工件附接过程; 使用卡盘台（14）将多个工件保持在维修部件上的维护处理。以及通过使砂轮（36）与多个工件接触来同时研磨多个工件的磨削过程。砂轮包括：盘形轮架（38）; 在轮架的第一表面（38a）上布置成环形的多个第一磨石（40）以及多个第二研磨石（42），其沿着径向与所述多个第一研磨石内的所述多个第一研磨石同心地排列，其中，所述多个第一研磨石与所述多个第二研磨石之间的径向的间隙（D2）宽于相邻工件之间的最小间隔（D1）。

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