会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 3. 发明专利
    • 一種多層結構之製造方法
    • 一种多层结构之制造方法
    • TW201810635A
    • 2018-03-16
    • TW106131465
    • 2015-06-25
    • 豪威科技股份有限公司OMNIVISION TECHNOLOGIES, INC.
    • 席列克 歐瑞 奧坤CELLEK, ORAY ORKUN
    • H01L27/146G02B1/10B32B3/02
    • H01L27/14685H01L27/1462H01L27/14687
    • 一種碎形邊緣薄膜,其包含一材料層且該材料層之周緣的碎形維度超過一,與一碎形維度等於一之薄膜材料層相比,該材料薄膜具有較大之抗剝離性。一種製造一碎形邊緣薄膜之方法,包括決定可被該碎形邊緣薄膜覆蓋之一區域形狀。該方法亦包括依據區域形狀產生一薄膜周緣,該薄膜周緣之碎形維度超過一。該方法亦包括決定一光罩周緣,當使用於一光刻程序時,使得具有該光罩周緣之一光罩產生具有薄膜周緣之一碎形邊緣薄膜。該方法亦可包括光蝕刻一薄膜,該薄膜上設有一光阻層,該光阻層已先經過光罩曝光,於該蝕刻中產生該碎形邊緣薄膜。
    • 一种碎形边缘薄膜,其包含一材料层且该材料层之周缘的碎形维度超过一,与一碎形维度等于一之薄膜材料层相比,该材料薄膜具有较大之抗剥离性。一种制造一碎形边缘薄膜之方法,包括决定可被该碎形边缘薄膜覆盖之一区域形状。该方法亦包括依据区域形状产生一薄膜周缘,该薄膜周缘之碎形维度超过一。该方法亦包括决定一光罩周缘,当使用于一光刻进程时,使得具有该光罩周缘之一光罩产生具有薄膜周缘之一碎形边缘薄膜。该方法亦可包括光蚀刻一薄膜,该薄膜上设有一光阻层,该光阻层已先经过光罩曝光,于该蚀刻中产生该碎形边缘薄膜。
    • 4. 发明专利
    • 碎形邊緣薄膜及其製造方法
    • 碎形边缘薄膜及其制造方法
    • TW201605630A
    • 2016-02-16
    • TW104120591
    • 2015-06-25
    • 豪威科技股份有限公司OMNIVISION TECHNOLOGIES, INC.
    • 席列克 歐瑞 奧坤CELLEK, ORAY ORKUN
    • B32B3/02G02B1/10H01L27/146
    • H01L27/14685H01L27/1462H01L27/14687
    • 一種碎形邊緣薄膜,其包含一材料層且該材料層之周緣的碎形維度超過一,與一碎形維度等於一之薄膜材料層相比,該材料薄膜具有較大之抗剝離性。一種製造一碎形邊緣薄膜之方法,包括決定可被該碎形邊緣薄膜覆蓋之一區域形狀。該方法亦包括依據區域形狀產生一薄膜周緣,該薄膜周緣之碎形維度超過一。該方法亦包括決定一光罩周緣,當使用於一光刻程序時,使得具有該光罩周緣之一光罩產生具有薄膜周緣之一碎形邊緣薄膜。該方法亦可包括光蝕刻一薄膜,該薄膜上設有一光阻層,該光阻層已先經過光罩曝光,於該蝕刻中產生該碎形邊緣薄膜。
    • 一种碎形边缘薄膜,其包含一材料层且该材料层之周缘的碎形维度超过一,与一碎形维度等于一之薄膜材料层相比,该材料薄膜具有较大之抗剥离性。一种制造一碎形边缘薄膜之方法,包括决定可被该碎形边缘薄膜覆盖之一区域形状。该方法亦包括依据区域形状产生一薄膜周缘,该薄膜周缘之碎形维度超过一。该方法亦包括决定一光罩周缘,当使用于一光刻进程时,使得具有该光罩周缘之一光罩产生具有薄膜周缘之一碎形边缘薄膜。该方法亦可包括光蚀刻一薄膜,该薄膜上设有一光阻层,该光阻层已先经过光罩曝光,于该蚀刻中产生该碎形边缘薄膜。