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1. 实用新型

TWM266544U 以光阻為罩蔽及以氣體為冷卻劑之粒子照射裝置失效
简体标题：以光阻为罩蔽及以气体为冷却剂之粒子照射设备
公开(公告)号：TWM266544U
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：TW093216815
申请日：2004-10-22
申请人：行政院原子能委員會-核能研究所 ATOMIC ENERGY COUNCIL- INSTITUTE OF NUCLEAR ENERGY RESEARCH
发明人：藍國琪 , 林立夫 , 任天熹 , 張添昌 , 籃山明 LAN, SHAN MING , 辛華煜
IPC分类号： H01L
摘要：本創作係一種以光阻為罩蔽及以氣體為冷卻劑之粒子照射裝置，其包含：一由真空導管、一以上之噴管、一與真空導管對應之移動平台及可放置於移動平台上具光阻塗佈之之晶圓。該照射裝置之真空導管係可提供粒子束之行經路徑；而該各噴管係供噴射出所需之冷卻劑；該對應之移動平台係承載晶圓係與真空導管及噴管之出口對應；且該晶圓之一面預定處係層疊有一以上之光阻罩蔽，該光阻罩蔽之厚度係包括有一補償層、一遮蔽層以及一清洗層。藉此，由於使用氣體自光阻之照射面冷卻使光阻及晶圓具有較佳之散熱性，可用於較高能量(約指1MeV×10μA以上)的粒子束對晶圓的照射方法，如此可提高生產的速率及良率，以達到降低製作成本之功效。
简体摘要：本创作系一种以光阻为罩蔽及以气体为冷却剂之粒子照射设备，其包含：一由真空导管、一以上之喷管、一与真空导管对应之移动平台及可放置于移动平台上具光阻涂布之之晶圆。该照射设备之真空导管系可提供粒子束之行经路径；而该各喷管系供喷射出所需之冷却剂；该对应之移动平台系承载晶圆系与真空导管及喷管之出口对应；且该晶圆之一面预定处系层叠有一以上之光阻罩蔽，该光阻罩蔽之厚度系包括有一补偿层、一屏蔽层以及一清洗层。借此，由于使用气体自光阻之照射面冷却使光阻及晶圆具有较佳之散热性，可用于较高能量(约指1MeV×10μA以上)的粒子束对晶圆的照射方法，如此可提高生产的速率及良率，以达到降低制作成本之功效。

2. 发明专利

TW200930560A 纖維原料擠壓式水解前處理裝置审中-公开
简体标题：纤维原料挤压式水解前处理设备
公开(公告)号：TW200930560A
公开(公告)日：2009-07-16
申请号：TW097100129
申请日：2008-01-03
申请人：行政院原子能委員會核能研究所 ATOMIC ENERGY COUNCIL-INSTITUTE OF NUCLEAR ENERGY RESEARCH
发明人：陳文華 , 任天熹 , 陳盛燮 , 于明嘉 , 黃維凡 , 黃文松
IPC分类号： B30B
摘要：一種纖維原料擠壓式水解前處理裝置,係將纖維原料送入一可連續進料及輸出之雙軸擠壓機內,於輸送過程中加入水、化學溶液或高溫蒸汽於其料缸內,並利用一包覆於該料缸外之加熱與保溫裝置進行加熱。藉此,由該雙軸擠壓機可快速及連續輸送之特性,將該纖維原料進行擠壓、研磨、注液及高溫高壓等前處理作業,可破壞其纖維組織以達到使該纖維原料水解碎裂之目的,進而可減輕後續製程之負擔,並提升整體程序之產能。
简体摘要：一种纤维原料挤压式水解前处理设备,系将纤维原料送入一可连续进料及输出之双轴挤压机内,于输送过程中加入水、化学溶液或高温蒸汽于其料缸内,并利用一包覆于该料缸外之加热与保温设备进行加热。借此,由该双轴挤压机可快速及连续输送之特性,将该纤维原料进行挤压、研磨、注液及高温高压等前处理作业,可破坏其纤维组织以达到使该纤维原料水解碎裂之目的,进而可减轻后续制程之负担,并提升整体进程之产能。

3. 实用新型

TWM273816U 粒子束照射靶之冷卻裝置失效
简体标题：粒子束照射靶之冷却设备
公开(公告)号：TWM273816U
公开(公告)日：2005-08-21
申请号：TW094202662
申请日：2005-02-18
申请人：行政院原子能委員會-核能研究所 ATOMIC ENERGY COUNCIL- INSTITUTE OF NUCLEAR ENERGY RESEARCH
发明人：藍國琪 , 林武智 , 任天熹 , 張添昌 , 胡迪安 , 杜定賢 DUH, TING-SHIEN
IPC分类号： H01L
摘要：本創作係一種粒子束照射靶之冷卻裝置，主要用於粒子照射時增加液態靶良好的散熱效率。其包含一具連接真空腔之伸縮管；一設置於伸縮管一端之氣冷機構，該氣冷機構具有一與真空腔對應之氣冷腔，且氣冷機構之周緣設置有與氣冷腔連通，且供所需之冷卻氣體通過之進、出氣口；一由設置於氣冷機構一端之連接座、及設置於連接座一端之散熱部所構成之水冷機構，該連接座之周緣設置有與穿孔連通之進／出料管，而該散熱部係具有一散熱區，且散熱部更具有一水冷腔、及與水冷腔連通之進水管及出水管，可供所需之冷卻水通過。藉此，可使冷卻裝置藉由該氣冷機構及水冷機構而達到良好之散熱效果。
简体摘要：本创作系一种粒子束照射靶之冷却设备，主要用于粒子照射时增加液态靶良好的散热效率。其包含一具连接真空腔之伸缩管；一设置于伸缩管一端之气冷机构，该气冷机构具有一与真空腔对应之气冷腔，且气冷机构之周缘设置有与气冷腔连通，且供所需之冷却气体通过之进、出气口；一由设置于气冷机构一端之连接座、及设置于连接座一端之散热部所构成之水冷机构，该连接座之周缘设置有与穿孔连通之进／出料管，而该散热部系具有一散热区，且散热部更具有一水冷腔、及与水冷腔连通之进水管及出水管，可供所需之冷却水通过。借此，可使冷却设备借由该气冷机构及水冷机构而达到良好之散热效果。

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