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1. 发明专利

TW200916600A 熱燈絲鑽石膜沉積裝置及其方法审中-公开
简体标题：热灯丝钻石膜沉积设备及其方法
公开(公告)号：TW200916600A
公开(公告)日：2009-04-16
申请号：TW096137299
申请日：2007-10-04
申请人：行政院原子能委員會核能研究所 ATOMIC ENERGY COUNCIL-INSTITUTE OF NUCLEAR ENERGY RESEARCH
发明人：吳錦裕 , 汪俊翰 , 蔡丁貴 , 蔡明瑞 , 艾啓峰
IPC分类号： C23C , C30B
摘要：一種熱燈絲鑽石膜沉積裝置及其方法,係先對一刀具之工件表面進行特殊前處理,以化學藥水浸蝕該工件並進行鑽石粉超音波振盪,接著將該工件置入該熱燈絲鑽石膜沉積裝置之氫電漿環境中,使其拋掉雜質以達清潔,並以雙偏壓電源產生電漿,以促進該工件表面鑽石核種產生,最後再以穩定遞減溫度成長鑽石膜。藉此,使本發明可提升該鑽石膜之磨潤性及附著性,以增加其實用性及廣泛之工業應用性,不僅可降低該鑽石膜應力、減低該工件表面摩擦力及增强該工件磨潤性,且在一般刀具及微刀具上沉積之鑽石膜更可提升該刀具比未鍍之刀具使用壽命達6倍以上,尤其對於印刷電路板(Printed Circuit Board, PCB)之高轉速下亦可正常工作而不易斷刀,係可提高其加工速率並降低其成本。
简体摘要：一种热灯丝钻石膜沉积设备及其方法,系先对一刀具之工件表面进行特殊前处理,以化学药水浸蚀该工件并进行钻石粉超音波振荡,接着将该工件置入该热灯丝钻石膜沉积设备之氢等离子环境中,使其抛掉杂质以达清洁,并以双偏压电源产生等离子,以促进该工件表面钻石核种产生,最后再以稳定递减温度成长钻石膜。借此,使本发明可提升该钻石膜之磨润性及附着性,以增加其实用性及广泛之工业应用性,不仅可降低该钻石膜应力、减低该工件表面摩擦力及增强该工件磨润性,且在一般刀具及微刀具上沉积之钻石膜更可提升该刀具比未镀之刀具使用寿命达6倍以上,尤其对于印刷电路板(Printed Circuit Board, PCB)之高转速下亦可正常工作而不易断刀,系可提高其加工速率并降低其成本。

2. 发明专利

TW200908813A 中空陰極電漿產生裝置失效
简体标题：中空阴极等离子产生设备
公开(公告)号：TW200908813A
公开(公告)日：2009-02-16
申请号：TW096128328
申请日：2007-08-02
申请人：行政院原子能委員會核能研究所 ATOMIC ENERGY COUNCIL- INSTITUTE OF NUCLEAR ENERGY RESEARCH
发明人：曾慶沛 , 謝政昌 , 艾啓峰 , 李佳誠 , 薛天翔 , 汪俊翰
IPC分类号： H05H
摘要：一種中空陰極電漿產生裝置,係由複數個中空陰極電漿源單模組組成之組合,該中空陰極電漿源單模組至少包含有一中空陰極凹槽、一中空陰極鰭片、一氣體導管及一冷卻水導管所構成,且該中空陰極凹槽係含有複數個微小之出氣孔,可將氣體均勻釋出。藉此,使本發明可在增減模組、改變寬度及真空狀態下,能以各種模式電源(DC、Plused、RF)引發電漿,將電漿集中往單方向擴散,並由均勻分佈之氣體帶出電漿。由於本發明係屬一體成型可增加散熱效果,不僅能輕易增加活化寬度,且寬度增加後可在高功率下操作,以提高特定區之電漿密度,除可縮短處理時間外,亦具有長時間使用之優點。而此中空陰極電漿產生裝置係可搭配捲對捲(roll to roll)或一般連線式電漿處理系統同步處理,以提高生產製程整體效率。
简体摘要：一种中空阴极等离子产生设备,系由复数个中空阴极等离子源单模块组成之组合,该中空阴极等离子源单模块至少包含有一中空阴极凹槽、一中空阴极鳍片、一气体导管及一冷却水导管所构成,且该中空阴极凹槽系含有复数个微小之出气孔,可将气体均匀发佈。借此,使本发明可在增减模块、改变宽度及真空状态下,能以各种模式电源(DC、Plused、RF)引发等离子,将等离子集中往单方向扩散,并由均匀分布之气体带出等离子。由于本发明系属一体成型可增加散热效果,不仅能轻易增加活化宽度,且宽度增加后可在高功率下操作,以提高特定区之等离子密度,除可缩短处理时间外,亦具有长时间使用之优点。而此中空阴极等离子产生设备系可搭配卷对卷(roll to roll)或一般连接式等离子处理系统同步处理,以提高生产制程整体效率。

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