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    • 2. 发明专利
    • 用於半導體裝置之多次直接轉移的方法及設備
    • 用于半导体设备之多次直接转移的方法及设备
    • TW201947696A
    • 2019-12-16
    • TW108115983
    • 2019-05-09
    • 美商羅茵尼公司ROHINNI, LLC
    • 皮特森 可迪PETERSON, CODY賀斯卡 安德魯HUSKA, ANDREW
    • H01L21/677B23K26/351
    • 一種用於將一半導體裝置晶粒自一晶圓帶直接轉移至一基板之設備。一第一框架固持該晶圓帶,且一第二框架緊固該基板。該第二框架固持該基板,使得一轉移表面安置為面向該晶圓帶之一第一側上的該半導體裝置晶粒。兩個或更多個針鄰近於該晶圓帶之與該第一側相對之一第二側而安置。該兩個或更多個針之一長度在朝向該晶圓帶之一方向上延伸。一針致動器將該兩個或更多個針致動至一晶粒轉移位置,在該晶粒轉移位置,該兩個或更多個針中之至少一個針按壓在該晶圓帶之該第二側上,以按壓該一或多個半導體裝置晶粒中之一半導體裝置晶粒使之與該基板之該轉移表面接觸。
    • 一种用于将一半导体设备晶粒自一晶圆带直接转移至一基板之设备。一第一框架固持该晶圆带,且一第二框架紧固该基板。该第二框架固持该基板,使得一转移表面安置为面向该晶圆带之一第一侧上的该半导体设备晶粒。两个或更多个针邻近于该晶圆带之与该第一侧相对之一第二侧而安置。该两个或更多个针之一长度在朝向该晶圆带之一方向上延伸。一针致动器将该两个或更多个针致动至一晶粒转移位置,在该晶粒转移位置,该两个或更多个针中之至少一个针按压在该晶圆带之该第二侧上,以按压该一或多个半导体设备晶粒中之一半导体设备晶粒使之与该基板之该转移表面接触。