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    • 1. 发明专利
    • 用於FDSOI之電源軌及MOL構造
    • 用于FDSOI之电源轨及MOL构造
    • TW201842552A
    • 2018-12-01
    • TW106122520
    • 2017-07-05
    • 美商格羅方德半導體公司GLOBALFOUNDRIES US INC.
    • 密特爾 恩拉MITTAL, ANURAG拉漢德 馬布RASHED, MAHBUB
    • H01L21/28H01L21/84H01L29/94H01L21/768
    • 提供在平面電晶體的源極/汲極與局部互連或第一金屬化層電源軌之間的一種電性連接,其包括電性耦合至該源極/汲極的第一接觸區,電性耦合至該第一接觸區及該電晶體之閘極的第二接觸區,以及電性耦合至該局部互連或第一金屬化層電源軌的V0。溝槽矽化物不存在於該電晶體中。也提供一種基於接觸區的電源軌脊柱,其包括第一接觸區,第二接觸區,以及在該第一接觸區上面且電性耦合至該第一接觸區的鄰近V0雙向卡釘,以及在該第二接觸區及該V0雙向卡釘上面且電性耦合至該第二接觸區及該V0雙向卡釘的V0。該電源軌脊柱可被包含於包括數個平面電晶體的半導體結構中,其中該第一接觸區及第二接觸區電性耦合至電晶體的源極/汲極,通孔型閘極接觸也電性耦合至在V0下面的第二接觸區。該第一金屬化層及/或該等接觸區可由具有小於銅之最小面積的非銅重金屬製成。
    • 提供在平面晶体管的源极/汲极与局部互连或第一金属化层电源轨之间的一种电性连接,其包括电性耦合至该源极/汲极的第一接触区,电性耦合至该第一接触区及该晶体管之闸极的第二接触区,以及电性耦合至该局部互连或第一金属化层电源轨的V0。沟槽硅化物不存在于该晶体管中。也提供一种基于接触区的电源轨嵴柱,其包括第一接触区,第二接触区,以及在该第一接触区上面且电性耦合至该第一接触区的邻近V0双向卡钉,以及在该第二接触区及该V0双向卡钉上面且电性耦合至该第二接触区及该V0双向卡钉的V0。该电源轨嵴柱可被包含于包括数个平面晶体管的半导体结构中,其中该第一接触区及第二接触区电性耦合至晶体管的源极/汲极,通孔型闸极接触也电性耦合至在V0下面的第二接触区。该第一金属化层及/或该等接触区可由具有小于铜之最小面积的非铜重金属制成。
    • 9. 发明专利
    • 半導體熔絲及其製法
    • 半导体熔丝及其制法
    • TW201626505A
    • 2016-07-16
    • TW104126811
    • 2015-08-18
    • 格羅方德半導體公司GLOBALFOUNDRIES US INC.
    • 辛格 杰高爾SINGH, JAGAR密特爾 恩拉MITTAL, ANURAG
    • H01L21/822H01L23/525H01L23/535
    • H01L23/5256G11C17/16H01L21/823431H01L27/0617H01L2924/0002H01L2924/00
    • 本發明提出具有磊晶熔絲連接區之半導體熔絲及其製法。該方法包括:製造包含以熔絲連接區電性連接的陽極區和陰極區的半導體熔絲,該製造包括:在該陽極區和該陰極區之間以磊晶方式形成該熔絲連接區,其中該熔絲連接區有助於在該陽極區和該陰極區之間施加編程電流時令該半導體熔絲形成斷路。該半導體熔絲包括:以熔絲連接區電性連接的陽極區和陰極區,其中該熔絲連接區包括磊晶結構且有助於在該陽極區和該陰極區之間施加編程電流時令該半導體熔絲的形成斷路,其中,該磊晶結構係與該半導體熔絲的該陽極區和該陰極區至少部分結晶對準。
    • 本发明提出具有磊晶熔丝连接区之半导体熔丝及其制法。该方法包括:制造包含以熔丝连接区电性连接的阳极区和阴极区的半导体熔丝,该制造包括:在该阳极区和该阴极区之间以磊晶方式形成该熔丝连接区,其中该熔丝连接区有助于在该阳极区和该阴极区之间施加编程电流时令该半导体熔丝形成断路。该半导体熔丝包括:以熔丝连接区电性连接的阳极区和阴极区,其中该熔丝连接区包括磊晶结构且有助于在该阳极区和该阴极区之间施加编程电流时令该半导体熔丝的形成断路,其中,该磊晶结构系与该半导体熔丝的该阳极区和该阴极区至少部分结晶对准。