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3. 发明专利

TW201703176A 包括磁性門密封件的基板載體門組件、基板載體及方法审中-公开
简体标题：包括磁性门密封件的基板载体门组件、基板载体及方法
公开(公告)号：TW201703176A
公开(公告)日：2017-01-16
申请号：TW105112340
申请日：2016-04-20
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：瑪索可約翰J , MAZZOCCO, JOHN J. , 馬利尼爾 , MERRY, NIR
IPC分类号： H01L21/673 , E05C19/16
CPC分类号： E05C19/166 , H01L21/67373 , H01L21/67376 , H01L21/67393
摘要：一種基板載體門組件，包括可被調變之相對高的密封力。基板載體門組件包括配置為密封至一載體主體的一載體門、該載體主體上的一第一吸引構件及該載體門上的一第二吸引構件。吸引構件選自以下群組：一磁性材料及一永久磁鐵。基板載體門組件包括一磁場產生器，該磁場產生器可通電以減少該吸引構件之間的吸引力，使得該載體門相對容易移除，還在未通電時提供強化的密封。提供了包括基板載體門組件的基板載體及處理基板的方法。亦揭露包括一接口及一磁性接口密封件的基板載體，該接口配置為允許氣體被注射進一載體腔室或移除自該載體腔室，亦揭露許多其他態樣。
简体摘要：一种基板载体门组件，包括可被调制之相对高的密封力。基板载体门组件包括配置为密封至一载体主体的一载体门、该载体主体上的一第一吸引构件及该载体门上的一第二吸引构件。吸引构件选自以下群组：一磁性材料及一永久磁铁。基板载体门组件包括一磁场产生器，该磁场产生器可通电以减少该吸引构件之间的吸引力，使得该载体门相对容易移除，还在未通电时提供强化的密封。提供了包括基板载体门组件的基板载体及处理基板的方法。亦揭露包括一接口及一磁性接口密封件的基板载体，该接口配置为允许气体被注射进一载体腔室或移除自该载体腔室，亦揭露许多其他态样。

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