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    • 4. 发明专利
    • 壓印用模具的製造方法
    • 压印用模具的制造方法
    • TW201718228A
    • 2017-06-01
    • TW105129796
    • 2016-09-13
    • 綜研化學股份有限公司SOKEN CHEMICAL & ENGINEERING CO., LTD.
    • 坂田郁美SAKATA, IKUMI武田亜衣TAKEDA, AI
    • B29C59/04
    • B29C33/38B29C33/3842B29C33/3878B29C33/424B29C37/0067B29C41/28B29C41/36B29C59/04B29C2035/0827H01L21/027
    • 本發明提供不易產生轉印不良的壓印用模具的製造方法。根據本發明,所述壓印用模具的製造方法具備如下步驟:捲繞步驟,將具有形成有由所期望的微細凹凸圖案的反轉圖案構成的基體圖案的樹脂層的膜模具,以能夠在兩端的對接部形成不存在上述基體圖案的間隙的方式捲繞於圓柱形的轉印輥;樹脂填充步驟,向上述間隙填充樹脂組成物;以及,圖案形成步驟,將設置在圖案追加模具的轉印圖案按壓於上述樹脂組成物而將由上述轉印圖案的反轉圖案構成的追加圖案形成在上述樹脂組成物上;上述樹脂組成物以如下方式填充:在將上述圖案追加模具按壓於上述樹脂組成物之前或者將上述圖案追加模具按壓於上述樹脂組成物之時,上述樹脂組成物從上述間隙溢出而在上述樹脂層的表面上形成上述樹脂組成物的溢出部分。
    • 本发明提供不易产生转印不良的压印用模具的制造方法。根据本发明,所述压印用模具的制造方法具备如下步骤:卷绕步骤,将具有形成有由所期望的微细凹凸图案的反转图案构成的基体图案的树脂层的膜模具,以能够在两端的对接部形成不存在上述基体图案的间隙的方式卷绕于圆柱形的转印辊;树脂填充步骤,向上述间隙填充树脂组成物;以及,图案形成步骤,将设置在图案追加模具的转印图案按压于上述树脂组成物而将由上述转印图案的反转图案构成的追加图案形成在上述树脂组成物上;上述树脂组成物以如下方式填充:在将上述图案追加模具按压于上述树脂组成物之前或者将上述图案追加模具按压于上述树脂组成物之时,上述树脂组成物从上述间隙溢出而在上述树脂层的表面上形成上述树脂组成物的溢出部分。