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1. 发明专利

TWI254371B 模擬裝置 SIMULATOR 有权
简体标题：仿真设备 SIMULATOR
公开(公告)号：TWI254371B
公开(公告)日：2006-05-01
申请号：TW092119213
申请日：2003-07-15
申请人：瑞薩科技股份有限公司 RENESAS TECHNOLOGY CORPORATION
发明人：加門和也 KAZUYA KAMON
IPC分类号： H01L
CPC分类号： B24B37/042 , G06F17/5022 , G06F2217/12 , H01L21/67253 , Y02P90/265
摘要： [課題]
提供一種模擬裝置，可考慮CMP中的種種參數模擬。[解決手段]
在佔有率二維分佈計算部111中，取得佔有率之二維分佈像DP，參數調整部112中實施實測資料D2的參數調整。在高度分佈計算部113中，根據佔有率的二維分佈像 DP實施高度分布計算，在相關係數計算部118中，將實測資料D21與高度分佈資料DP1做最小平方分析而算出相關係數。佔有率之二維分佈像DP經由傅立葉計算部114、空間過濾部115、逆傅立葉計算部116，而變成佔有率之二維分佈像DPX，更經過高度計算部113而得到高度分佈資料 DP2。因此，在相關計算部118將高度分佈資料DP2與CMP製程後之實測資料D22做最小平方分析而算出相關係數。
简体摘要： [课题] 提供一种仿真设备，可考虑CMP中的种种参数仿真。[解决手段] 在占有率二维分布计算部111中，取得占有率之二维分布像DP，参数调整部112中实施实测数据D2的参数调整。在高度分布计算部113中，根据占有率的二维分布像 DP实施高度分布计算，在相关系数计算部118中，将实测数据D21与高度分布数据DP1做最小平方分析而算出相关系数。占有率之二维分布像DP经由傅里叶计算部114、空间过滤部115、逆傅里叶计算部116，而变成占有率之二维分布像DPX，更经过高度计算部113而得到高度分布数据 DP2。因此，在相关计算部118将高度分布数据DP2与CMP制程后之实测数据D22做最小平方分析而算出相关系数。

2. 发明专利

TW200416858A 模擬裝置 SIMULATOR 审中-公开
简体标题：仿真设备 SIMULATOR
公开(公告)号：TW200416858A
公开(公告)日：2004-09-01
申请号：TW092119213
申请日：2003-07-15
申请人：瑞薩科技股份有限公司 RENESAS TECHNOLOGY CORPORATION
发明人：加門和也 KAZUYA KAMON
IPC分类号： H01L
CPC分类号： B24B37/042 , G06F17/5022 , G06F2217/12 , H01L21/67253 , Y02P90/265
摘要：〔課題〕提供一種模擬裝置，可考慮CMP中的種種參數模擬。〔解決手段〕在佔有率二維分佈計算部111中，取得佔有率之二維分佈像DP，參數調整部112中實施實測資料D2的參數調整。在高度分佈計算部113中，根據佔有率的二維分佈像DP實施高度分布計算，在相關係數計算部118中，將實測資料D21與高度分佈資料DP1做最小平方分析而算出相關係數。佔有率之二維分佈像DP經由傅立葉計算部114、空間過濾部115、逆傅立葉計算部116，而變成佔有率之二維分佈像DPX，更經過高度計算部113而得到高度分佈資料DP2。因此，在相關計算部118將高度分佈資料DP2與CMP製程後之實測資料D22做最小平方分析而算出相關係數。
简体摘要：〔课题〕提供一种仿真设备，可考虑CMP中的种种参数仿真。〔解决手段〕在占有率二维分布计算部111中，取得占有率之二维分布像DP，参数调整部112中实施实测数据D2的参数调整。在高度分布计算部113中，根据占有率的二维分布像DP实施高度分布计算，在相关系数计算部118中，将实测数据D21与高度分布数据DP1做最小平方分析而算出相关系数。占有率之二维分布像DP经由傅里叶计算部114、空间过滤部115、逆傅里叶计算部116，而变成占有率之二维分布像DPX，更经过高度计算部113而得到高度分布数据DP2。因此，在相关计算部118将高度分布数据DP2与CMP制程后之实测数据D22做最小平方分析而算出相关系数。

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