专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

CN118959694A 基于电磁阀的流量自适应调节方法及系统审中-公开
公开(公告)号：CN118959694A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411448399.X
申请日：2024-10-17
申请人：沈阳芯达半导体设备有限公司
发明人：魏猛 , 李冬海 , 郭聪 , 宋文博
IPC分类号： F16K37/00 , F16K31/06
摘要：本发明公开了基于电磁阀的流量自适应调节方法及系统，属于流体控制领域，其中方法包括：确定目标电磁阀，基于目标电磁阀进行传感器组布设基于流量信息进行数据处理；建立初始智能控制策略模型；基于历史数据对初始智能控制策略模型进行监督训练，获取智能控制策略模型；构建自适应优化空间；基于传感器组进行目标电磁阀的实时流量监测，目标电磁阀基于所述调整策略进行调整；搭建反馈管理维护中心，对目标电磁阀进行实时监测，对监测结果进行反馈。解决了现有的电磁阀无法通过实时监测和自动调节，实现对流量的精确控制，且系统的稳定性和可靠性低的技术问题。

2. 发明公开

CN114077169A 显影液热交换系统有权
公开(公告)号：CN114077169A
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202111364677.X
申请日：2021-11-17
申请人：沈阳芯达半导体设备有限公司
发明人：魏猛 , 李冬海 , 张佳男
IPC分类号： G03F7/30
摘要：本发明公开了显影液热交换系统，包括底座和热循环显影液喷嘴，所述底座的顶部通过支架固定安装有恒温水槽、热浸泡罐和晶圆吸盘，所述热浸泡罐的底部通过安装座安装有显影液第一输入管和显影液第二输入管。通过热浸泡罐的设置，能够通过保温水对显影液进行加热，然后通过保暖套管的设置，能够在循环水热交换块与热循环显影液喷嘴之间对显影液进行保温，通过热交换机构的设置，能够使恒温水槽提供的保暖用水循环进行使用，并且能够对多路显影液进行保温和加热，实现了显影液温度的恒定而且不会使得回水对保温水造成影响，在显影工艺时同时使多路显影液（包括一路）自始至终控制在设定的工艺温度内，使得显影效果大幅度提高。

3. 发明授权

CN114077169B 显影液热交换系统有权
公开(公告)号：CN114077169B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202111364677.X
申请日：2021-11-17
申请人：沈阳芯达半导体设备有限公司
发明人：魏猛 , 李冬海 , 张佳男
IPC分类号： G03F7/30
摘要：本发明公开了显影液热交换系统，包括底座和热循环显影液喷嘴，所述底座的顶部通过支架固定安装有恒温水槽、热浸泡罐和晶圆吸盘，所述热浸泡罐的底部通过安装座安装有显影液第一输入管和显影液第二输入管。通过热浸泡罐的设置，能够通过保温水对显影液进行加热，然后通过保暖套管的设置，能够在循环水热交换块与热循环显影液喷嘴之间对显影液进行保温，通过热交换机构的设置，能够使恒温水槽提供的保暖用水循环进行使用，并且能够对多路显影液进行保温和加热，实现了显影液温度的恒定而且不会使得回水对保温水造成影响，在显影工艺时同时使多路显影液（包括一路）自始至终控制在设定的工艺温度内，使得显影效果大幅度提高。

4. 外观设计

CN308369649S 电子设备的复合盘手动调试图形用户界面有权
公开(公告)号：CN308369649S
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202330096880.7
申请日：2023-03-07
申请人：沈阳芯达半导体设备有限公司
设计人：魏猛 , 胡延兵 , 罗强 , 李冬海
摘要： 1.本外观设计产品的名称：电子设备的复合盘手动调试图形用户界面。
2.本外观设计产品的用途：电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.本外观设计后视图、左视图、右视图、俯视图、仰视图为惯常设计，省略后视图、左视
图、右视图、俯视图、仰视图。
6.图形用户界面的用途：用于实现复合盘的手动调试功能，从而通过复合盘对 WAFER
进行加热和冷却处理。
7.图形用户界面的人机交互方式：主视图为打开调试系统后的主页面，主要包括主要
由主页、加工、复合盘、手动等功能菜单；用户点击界面左侧“手动”按钮，进入界面变化状态
图 1，出现各个复合盘编号“HP1”、“HP2”、“HP3”；用户点击界面左侧“HP1”按钮，进入界面变
化状态图 2，界面变化状态图 2 为热盘 1 的调试界面，该调试界面由温度（盘面温度），时
间（烘烤时间），以及“OUT”、“IN”、“PIN UP”、“PIN DOWN”、“RESET”五个按钮组成；用户点击
界面中间“时间”和“温度”进入界面变化状态图 3，设置配方（盘面温度和烘烤时间）；用户
点击界面右侧的“RESET”按钮进入界面变化状态图 4，使得热盘处于初始化状态，冷板处于
OUT 位置；用户点击界面右侧的“IN”按钮进入界面变化状态图 5，将 WAFER 送入热盘上方
对应位置；用户点击界面右侧的“PIN UP”按钮进入界面变化状态图6，将 WAFER 顶起至
PINUP 位；用户点击界面右侧的“OUT”按钮进入界面变化状态图 7，使接送盘驶离热盘上面
至 OUT 位；用户点击界面右侧的“PIN DOWN”按钮进入界面变化状态图8，将 WAFER 送到热
盘盘面进行加工处理；用户等待处理完毕，点击界面“PIN UP”按钮进入界面变化状态图 9，
将 WAFER 顶起至 PIN UP 位；用户点击界面右侧的“IN”按钮进入界面变化状态图 10，使
得冷盘进入到 IN 位；用户点击界面右侧的“PIN DOWN”按钮进入界面变化状态图 11，使
WAFER 落入冷盘盘面；用户点击界面右侧的“OUT”按钮进入界面变化状态图12，将加工完毕
的 WAFER 送出。
4

5. 外观设计

CN307874832S 带半导体单元调试图形用户界面的显示屏幕面板有权
公开(公告)号：CN307874832S
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN202230622966.4
申请日：2022-09-21
申请人：沈阳芯达半导体设备有限公司
设计人：胡延兵 , 魏猛 , 李冬海 , 宋文博
摘要： 1.本外观设计产品的名称：带半导体单元调试图形用户界面的显示屏幕面板。
2.本外观设计产品的用途：用于显示图形用户界面。
3.本外观设计产品的设计要点：在于显示屏幕面板上所显示的图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.本外观设计后视图、左视图、右视图、俯视图、仰视图为惯常设计，故省略，省略后视图、左视图、右视图、俯视图、仰视图。
6. 该显示屏幕面板用于试验台。
7.图形用户界面的用途：图形用户界面为半导体单元进行调试及测试。
主视图为用户登录后显示的界面，即复合盘测试界面。
用户点击界面左侧“胶泵测试”按钮，进入界面变化状态图1。
用户点击界面左侧“冷盘测试”按钮，进入界面变化状态图2。
用户点击界面左侧“WEE测试”按钮，进入界面变化状态图3。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式