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1. 发明专利

JPWO2007114293A1 ウエハー用保管庫及びその保管制御方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2007114293A1
公开(公告)日：2009-08-20
申请号：JP2008508634
申请日：2007-03-29
申请人：ユースエンジニアリング株式会社 , 株式会社Ihi , 株式会社Ihi
发明人：清水　孝雄 , 孝雄清水 , 邦尚三好 , 邦尚三好 , 俊孝大野 , 俊孝大野 , 希遠石橋 , 希遠石橋
IPC分类号： B65G1/00 , B65G1/137 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67766 , H01L21/67769 , H01L21/67772
摘要：搬送効率や収納効率が高く、塵埃の影響を防止するとともに、保管中のウエハーから発生するガスによっても影響を受けることのないウエハー用保管庫及びその保管制御方法を提供すること。ウエハー用保管庫は、内部にウエハーを収納する保管用カセット11と、保管用カセット11を複数個配置する収納棚12A、12Bと、収納棚12A、12Bに対向して配置されるウエハー搬送部20とを保管庫本体10内に備え、搬送用カセット15、16を保管庫本体10に搬入搬出する入出庫17を有し、保管庫本体10内には不活性ガスが供給され、ウエハー搬送部20では、保管庫本体10内に搬入された搬送用カセット15、16から取り出したウエハーを保管用カセット11に収納し、保管用カセット11から取り出したウエハーを搬送用カセット15、16に収納するものであって、保管用カセット11には密閉機能を確保できる扉を有し、ウエハーの保管用カセット11内への搬入時及び保管用カセット11外への搬出時以外には、扉を閉塞することを特徴とする。

2. 发明专利

JPWO2009151046A1 ストッカー有权
公开(公告)号：JPWO2009151046A1
公开(公告)日：2011-11-17
申请号：JP2010516857
申请日：2009-06-09
申请人：株式会社Ihi , 株式会社Ihi
发明人：希遠石橋 , 希遠石橋 , 賢輔平田 , 賢輔平田
IPC分类号： B65G1/00 , F24F7/06
CPC分类号： B65G1/02 , H01L21/67769
摘要：本発明は、ストッカーであって、従来よりも数が少ない空気清浄装置でも、チャンバーが存在することにより、チャンバーの開口部の下流側における空気の流れにおいて、無風の部分やよどみの発生を無くすことができる。したがって、従来よりも数が少ない空気清浄装置でも上記不具合の発生を防ぐことができ、製造工場の建設・運営コストを低下させることができる。

3. 发明专利

JP4558226B2 Exterior wall panel finish for transport equipment 有权
公开(公告)号：JP4558226B2
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：JP2001048842
申请日：2001-02-23
申请人： Ihi運搬機械株式会社 , 株式会社Ihi
发明人：俊孝大野 , 文夫後藤 , 晋村山 , 希遠石橋 , 一弘藤原
IPC分类号： B65G47/52

4. 发明专利

JP4501283B2 Ceiling transport device for exterior wall panel 有权
公开(公告)号：JP4501283B2
公开(公告)日：2010-07-14
申请号：JP2001024259
申请日：2001-01-31
申请人：株式会社Ihi
发明人：俊孝大野 , 晋村山 , 希遠石橋
IPC分类号： E04G21/16 , B05B13/02 , B61B13/06 , B65G1/04 , B65G49/00

5. 发明专利

JP5365302B2 Vehicle system 有权
公开(公告)号：JP5365302B2
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：JP2009081661
申请日：2009-03-30
申请人：株式会社Ihi
发明人：希遠石橋 , 晋村山 , 芳幸和田 , 俊孝大野
IPC分类号： B65G1/00 , B65G49/06 , H01L21/677
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a traveling vehicle system attaining space-saving by arranging a substrate cassette storage part above a track and capable of enhancing conveying efficiency of an automated guided truck. SOLUTION: The traveling vehicle system A includes: a substrate treatment device for applying storage of the substrate or predetermined treatment; and the automated guided truck AG having horizontal movement parts 8a, 8b for horizontally moving a lifting part 10 for lifting the substrate in a vertical direction in the state that the substrate is stored in a substrate cassette 1 and the substrate cassette 1 toward the substrate treatment device and conveying the substrate cassette 1 along the track L provided toward the substrate treatment device; and a substrate cassette storage part BF1 for retaining/storing the substrate cassette 1 above the track L. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

6. 发明专利

JP4800611B2 Plate storage method and apparatus 有权
公开(公告)号：JP4800611B2
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：JP2004360186
申请日：2004-12-13
申请人：コーニングジャパン株式会社 , 株式会社Ihi
发明人：芳幸和田 , 俊孝大野 , 太郎徳田 , 正幸新海 , 進杉山 , 希遠石橋
IPC分类号： B65G49/06 , H01L21/677
CPC分类号： B65G49/068 , B65G49/061 , B65G49/062

7. 发明专利

JP4349101B2 Substrate transport apparatus 有权
公开(公告)号：JP4349101B2
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：JP2003392706
申请日：2003-11-21
申请人：株式会社Ihi
发明人：希遠石橋
IPC分类号： B65G49/06 , B65G51/03 , B65G13/04 , H01L21/677 , H01L21/68

8. 发明专利

JP5365303B2 Vehicle system 有权
公开(公告)号：JP5365303B2
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：JP2009081867
申请日：2009-03-30
申请人：株式会社Ihi
发明人：希遠石橋 , 晋村山 , 芳幸和田 , 俊孝大野
IPC分类号： B65G1/00 , B65G49/06 , H01L21/677
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a traveling vehicle system capable of attaining enhancement of conveying efficiency of an automated guided truck and space-saving of a facility. SOLUTION: The traveling vehicle system includes: a substrate treatment devices R1, R2 applying storage of the substrate or predetermined treatment; the automated guided truck AG conveying the substrate G along a track LA provided toward the substrate treatment devices R1, R2 in the state that the substrate G is stored in a substrate cassette 1; and a substrate cassette exchanging device CG having a lifting part K1 for retaining the substrate cassette 1 conveyed from the automated guided truck AG and lifting it in a vertical direction, a sheet conveying part 15 for sheet-conveying the substrate between the substrate cassette 1 and the substrate treatment devices R1, R2 at a lower side of the lifting part K1 and a substrate cassette retaining part K2 for retaining the substrate cassette 1 at an upper side of the lifting part K1. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

9. 发明专利

JP4715088B2 Substrate transport apparatus and a substrate storage transport equipment 有权
公开(公告)号：JP4715088B2
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：JP2003397571
申请日：2003-11-27
申请人：株式会社Ihi
发明人：芳幸和田 , 晋村山 , 幸三濱田 , 希遠石橋 , 賢司飯村
IPC分类号： B65G49/06 , H01L21/677 , H01L21/68

10. 发明专利

JP4349102B2 Substrate transport apparatus 有权
公开(公告)号：JP4349102B2
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：JP2003392707
申请日：2003-11-21
申请人：株式会社Ihi
发明人：希遠石橋
IPC分类号： B65G13/04 , B65G49/06 , B65G39/00 , H01L21/677 , H01L21/68

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