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    • 4. 发明申请
    • ビーム検出部材およびそれを用いたビーム検出器
    • 使用它的光束检测会员和光束检测器
    • WO2007099973A1
    • 2007-09-07
    • PCT/JP2007/053684
    • 2007-02-27
    • 株式会社神戸製鋼所小橋 宏司橘 武史横田 嘉宏林 和志
    • 小橋 宏司橘 武史横田 嘉宏林 和志
    • C09K11/65C01B31/06C09K11/00C23C16/27G01T1/202G01T1/29
    • G01T1/29C23C16/0254C23C16/274C23C16/277
    •  放射光ビームや軟X線ビーム等の位置及びその強度分布、更には、これらの時間変化を高精度で長期間安定して検出することが可能で、従来の検出装置よりも低コストで製造し得るビーム検出部材およびそれを用いたビーム検出器を提供する。  ビームの位置や強度を検出するためのビーム検出部材2であって、ビーム7が照射されるビーム照射部6が、少なくとも珪素(Si)、窒素(N)、リチウム(Li)、ベリリウム(Be)、ホウ素(B)、リン(P)、硫黄(S)、ニッケル(Ni)、バナジウム(V)から選ばれた一種または二種以上の元素(X)を、X/C=0.1~1000ppm含む多結晶ダイヤモンド(C)膜4からなり、この多結晶ダイヤモンド膜4に前記ビーム7が照射されると発光8,8aする発光機能を有する。このようなビーム検出部材2と前記発光現象を観測する発光観測手段3,3aとによりビーム検出器1を構成する。
    • 一种能够以高精度和不断延长的时间检测位置,其强度分布和进一步的辐射光束,软X射线束等的时间变化的光束检测部件,并且可以产生光束检测器 成本比传统的成本低,而使用它的光束检测器。 一种用于检测光束的位置和强度的光束检测部件(2),其中发射光束(7)的光束发射单元(6)由多晶金刚石(C)膜(4)组成,所述多晶金刚石(C)膜以包含X / C = 0.1-1000ppm选自至少硅(Si),氮(N),锂(Li),铍(Be),硼(B),磷(P))中的一种或至少两种元素(X) 硫(S),镍(Ni),钒(V)),并且当多晶金刚石膜(4)被光束(7)照射时具有发光(8,8a)的发光功能。 光束检测器(1)由用于观察上述发光现象的光束检测部件(2)和发射光观察装置(3,3a)组成。