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    • 8. 发明专利
    • レーザ装置
    • 激光装置
    • JP2016092323A
    • 2016-05-23
    • JP2014227858
    • 2014-11-10
    • 株式会社片岡製作所
    • 林 優一郎酒川 友一小市 真樹田中 慎二
    • H01S3/00B23K26/00H01S3/131
    • 【課題】レーザ装置がアプリケーション用の機器に供給するレーザ光の出力の制御の精度をより一層向上させる。 【解決手段】レーザ光を発振するレーザ光源と、レーザ光源が発振するレーザ光を機器に供給される供給光と当該機器に供給されないモニタ光とに分割することができ、供給光の出力とモニタ光の出力との比率を変化させることが可能であり、かつ供給光を0にしてその分の出力をモニタ光に振り向けることができる分光素子と、モニタ光を受けてその出力を計測するためのセンサと、分光素子を操作して供給光を0にする閉期間中にセンサを介して計測したモニタ光の出力及び同分光素子を操作して供給光を供給しながらモニタ光を抽出する開期間中にセンサを介して計測したモニタ光の出力の双方に基づき、開期間における現在の供給光の出力とその目標値との偏差を知得して当該偏差を縮小するように分光素子を操作する制御部とを具備するレーザ装置を構成した。 【選択図】図2
    • 要解决的问题:为了进一步提高从激光装置提供的激光的输出控制的精度到应用的装置。解决方案:激光装置包括用于振荡激光的激光源,分光元件,其能够将由 所述激光源提供供应给设备的光并且监视未提供给所述设备的光,能够改变所述供给光的输出与所述监视光的输出的比率,并且能够将所述供应光减少到0 并将该部分应用于监视光;传感器,用于接收监视光以测量其输出;以及控制部分,用于操作分光元件,以便获得在打开期间当前供给光的输出之间的偏差;以及 基于通过传感器测量的监视光的输出的目标值,其中通过操作sp将供给光减小到0的关闭时段 光学元件和通过传感器在开放期间测量的监视光的输出,以通过操作分光元件供应供应光并提取偏光来提取监视器光。选择图:图2