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    • 4. 发明专利
    • Pumping device
    • 空值
    • JP5177331B1
    • 2013-04-03
    • JP2012543399
    • 2012-03-01
    • 株式会社村田製作所
    • 篤彦 平田幸治 兒玉健太 大森
    • F04B45/04
    • F04B43/0054F04B17/003F04B43/046F04B45/047F04B2203/0406H01L41/0973
    • 圧電ポンプ(1)はバネ板(15)を備える。 バネ板(15)は、アクチュエータ(3)を構成する円板部(24)と、筐体(2)を構成する外枠部(23)と、弾性支持部(4)とを備える。 アクチュエータ(3)は主面の中心から外周にかけて屈曲振動する。 弾性支持部(4)は、梁部(25)と連結部(26,27,28)とを備えて構成され、円板部(24)を外枠部(23)に弾性支持する。 梁部(25)は、円板部(24)と外枠部(23)との間のギャップにて円板部(24)の外周に沿う方向に延伸される。 連結部(26)は、梁部(25)を円板部(24)に連結する。 連結部(27,28)は、連結部(26)からオフセットした位置に設けられ梁部(25)を外枠部(23)に連結する。
      【選択図】図6
    • 压电泵(1)包括板簧(15)。 板簧(15)包括构成致动器(3)的盘部分(24),构成壳体(2)的外框部分(23)和弹性支撑部分(4)。 致动器(3)从其主表面的中心弯曲地振动到其外周。 弹性支撑部分(4)包括梁部分(25)和连接部分(26,27,28),并将盘部分(24)弹性支撑到外框部分(23)。 梁部分(25)沿着盘部分(24)的外周的方向在盘部分(24)和外框部分(23)之间的间隙中延伸。 连接部分(26)将梁部分(25)连接到盘部分(24)。 连接部分(27,28)设置在与连接部分(26)偏离的位置,并将梁部分(25)连接到外部框架部分(23)。