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    • 8. 发明专利
    • 弾性表面波フィルタ
    • 表面声波滤波器
    • JP2015106802A
    • 2015-06-08
    • JP2013247748
    • 2013-11-29
    • 株式会社村田製作所
    • 豊田 祐二
    • H03H9/64H03H9/145
    • H03H9/02992H03H9/02897H03H9/6469
    • 【課題】下層配線と上層配線との間に発生する寄生容量を低減できる、弾性表面波フィルタを提供する。 【解決手段】弾性表面波フィルタは、圧電基板20と、下層配線60と、上層配線70と、層間絶縁膜80とを備えている。下層配線60は、圧電基板20上に設けられている。上層配線70は、下層配線60に交差している。上層配線70は、下層配線60とは電位が異なっている。層間絶縁膜80は、下層配線60および上層配線70の間に設けられている。下層配線60の延びる方向に沿う断面視において、層間絶縁膜80は、上層配線70の幅W1以下の幅W2を有する部分を有している。 【選択図】図2
    • 要解决的问题:提供能够减少下层布线和上层布线之间产生的寄生电容的声表面波滤波器。声表面波滤波器包括压电基片20,下层布线60,上层布线70, 和层间绝缘膜80.下层布线60设置在压电基板20上。上层布线70与下层布线60相交。上层布线70的电位与下层布线60的电位不同 层间绝缘膜80设置在下层布线60和上层布线70之间。在沿着下层布线60延伸的方向的截面图中,层间绝缘膜80具有宽度 W2等于或小于上层布线70的宽度W1。