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1. 发明专利

JPWO2019064663A1 共振子及び共振装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019064663A1
公开(公告)日：2020-10-15
申请号：JP2018016719
申请日：2018-04-25
申请人：株式会社村田製作所
发明人：井上義久 , 河合良太
IPC分类号： H03H9/24
摘要：共振子上の絶縁体層又は、絶縁体層上の導電層に印加された電圧が共振子の振動に与える影響を抑制する。振動部であって、上部電極及び下部電極と、上部電極と下部電極との間に設けられ、上部電極に対向する主面を有し、上部電極及び下部電極の間に電圧が印加されたときに振動部を所定の振動モードで振動させる、圧電膜と、上部電極を挟んで圧電膜の主面と対向して設けられ、振動部における第1領域において露出した、絶縁体からなる保護膜と、保護膜を挟んで圧電膜の前記主面と対向して設けられ、振動部における第1領域と隣接する領域である第2領域において露出した、導電膜と、保護膜に形成され、導電膜を下部電極に電気的に接続させる接続電極と、を有する振動部と、振動部の少なくとも一部を囲むように設けられた保持部と、振動部と保持部とを接続する保持腕とを備え、上部電極は、導電膜と重なり合う領域の面積が導電膜の面積の総和の半分以下となるように、又は導電膜と重なり合う領域を避けて形成された。

2. 发明专利

JPWO2019155663A1 MEMSデバイス有权
公开(公告)号：JPWO2019155663A1
公开(公告)日：2021-03-04
申请号：JP2018031559
申请日：2018-08-27
申请人：株式会社村田製作所
发明人：梅田圭一 , 大川忠行 , 加本拓 , 後藤雄一 , 井上義久 , 岸武彦
IPC分类号： H03H9/24 , H01L41/053 , H01L41/047 , H01L41/113 , H01L41/09 , H01L41/187 , H04R17/02 , H04R17/00 , B81B3/00
摘要：圧電膜と、当該圧電膜を挟む第1電極及び第2電極と、第2電極の少なくとも一部を覆うように設けられ、第2電極の一部を開口する開口部を有する保護膜と、少なくとも開口部において第2電極と接触し、保護膜の少なくとも一部を覆うように設けられた第3電極と、第3電極と接触する第1コンタクト部を有する第1配線層と、を備える。

3. 发明专利

JP6723526B2 共振子及び共振装置有权
公开(公告)号：JP6723526B2
公开(公告)日：2020-07-15
申请号：JP2018519087
申请日：2017-02-16
申请人：株式会社村田製作所
发明人：井上義久 , 西村俊雄 , 竹山佳介 , 河合良太 , 後藤雄一
IPC分类号： H03H9/24

4. 发明专利

JPWO2020085188A1 共振装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2020085188A1
公开(公告)日：2021-09-02
申请号：JP2019040867
申请日：2019-10-17
申请人：株式会社村田製作所
发明人：梅田圭一 , 矢谷直人 , 河合良太 , 井上義久
IPC分类号： H03H9/24
摘要：保持部の絶縁膜に帯電した電荷が共振周波数に与える影響を低減することのできる共振装置を提供する。共振装置1は、振動部120と、振動部120の周囲の少なくとも一部に配置され、振動部120を振動可能に保持する保持体と当該保持体の上に形成される絶縁膜235とを含む保持部140と、を含む共振子10と、振動部120の振動空間の少なくとも一部を形成する凹部21を含む下蓋20と、を備え、絶縁膜235の内側面は、凹部21を定める側壁23の内面23aから第1距離D1を空けて配置される。

5. 发明专利

JP2020191663A 共振子及び共振装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020191663A
公开(公告)日：2020-11-26
申请号：JP2020130067
申请日：2020-07-31
申请人：株式会社村田製作所
发明人：河合良太 , 井上義久 , カーヤカリヴィレ
IPC分类号： H03H9/24
摘要：【課題】DLDのばらつきを抑制しつつ、DLDを改善する共振子及び共振装置を提供する。【解決手段】共振子10は、振動部120と、保持部140と、保持腕111a〜d、112a〜dと、を有する。振動部は、振動腕と、基部130と、孔17と、を有する。振動腕は、各々が固定端と開放端とを有する3本以上の振動腕135A〜Dで構成され、少なくとも2本が異なる位相で面外屈曲する。基部130は、複数の振動腕の固定端に接続される前端及び当該前端に対向する後端を有する。保持部140は、振動部の周囲の少なくとも一部に設けられている。保持腕111a〜d、112a〜dは、振動部と保持部との間に設けられ、一端が基部に接続され、他端が保持部に接続されている。孔17は、振動部に複数形成されている。【選択図】図3

6. 发明专利

JP6742601B2 共振子及び共振装置有权
公开(公告)号：JP6742601B2
公开(公告)日：2020-08-19
申请号：JP2018520672
申请日：2017-03-16
申请人：株式会社村田製作所
发明人：吉井健太郎 , 後藤雄一 , 竹山佳介 , 西村俊雄 , 盛永俊吾 , 河合良太 , 井上義久
IPC分类号： H03H3/04 , H03H9/02 , H03H9/24

7. 发明专利

JPWO2017208568A1 共振子及び共振装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2017208568A1
公开(公告)日：2019-03-14
申请号：JP2017010605
申请日：2017-03-16
申请人：株式会社村田製作所
发明人：吉井健太郎 , 後藤雄一 , 竹山佳介 , 西村俊雄 , 盛永俊吾 , 河合良太 , 井上義久
IPC分类号： H03H3/04 , H03H9/02 , H03H9/24
摘要：共振子上の絶縁体層又は、絶縁体層上の導電層に帯電した電荷が共振周波数に与える影響を抑制する。第1電極及び第2電極と、第1電極と第2電極との間に設けられ、第1電極に対向する上面を有し、第1電極及び第2電極の間に電圧が印加されたときに所定の振動モードで振動する、圧電膜と、第1電極を介して圧電膜の上面と対向して設けられた、絶縁体からなる保護膜と、保護膜を介して圧電膜の前記上面と対向して設けられた、導電体からなる導電膜と、を備え、導電膜は、第1電極及び第2電極のいずれか一方に電気的に接続される。

8. 发明专利

JP6886646B2 共振子及び共振装置有权
公开(公告)号：JP6886646B2
公开(公告)日：2021-06-16
申请号：JP2019519459
申请日：2018-01-29
申请人：株式会社村田製作所
发明人：河合良太 , 井上義久 , カーヤカリヴィレ
IPC分类号： H03H9/24

9. 发明专利

JPWO2019064662A1 共振子及び共振装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019064662A1
公开(公告)日：2020-10-22
申请号：JP2018016709
申请日：2018-04-25
申请人：株式会社村田製作所
发明人：井上義久 , 河合良太
IPC分类号： H03H9/24
摘要：共振子上の絶縁体層又は、絶縁体層上の導電層に帯電した電荷が共振周波数に与える影響を抑制するとともに、強度の向上を図ることができる。固定端と開放端とを有し、屈曲振動する振動腕、並びに、振動腕の固定端に接続される前端、及び当該前端に対向する後端を有する基部、を有する振動部と、振動部の少なくとも一部を囲むように設けられた保持部と、振動部と保持部とを接続する保持腕とを備え、振動部は、上部電極及び下部電極と、上部電極と下部電極との間に設けられ、上部電極に対向する主面を有し、上部電極及び下部電極の間に電圧が印加されたときに振動腕を屈曲振動させる、圧電膜と、上部電極を挟んで圧電膜の主面と対向して設けられ、振動腕における第1領域において露出した、絶縁体からなる保護膜と、保護膜を挟んで圧電膜の主面と対向して設けられ、振動腕における第1領域と隣接する開放端近傍の領域である第2領域において露出した、導電膜と、保護膜に形成され、導電膜を上部電極及び下部電極のいずれか一方に電気的に接続するビア電極とを有し、ビア電極は、圧電膜の主面を平面視したとき、振動腕の第2領域内であって、開放端よりも第1領域に近い部分に位置する。

10. 发明专利

JPWO2019035238A1 共振子及び共振装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019035238A1
公开(公告)日：2020-04-16
申请号：JP2018011992
申请日：2018-03-26
申请人：株式会社村田製作所
发明人：井上義久 , 河合良太
IPC分类号： H03H9/24
摘要：共振子において、DLDを改善する。基部と、第1電極及び第2電極と、第1電極と第2電極との間に設けられ、第1電極に対向する上面を有し、第1及び第2電極の間に電圧が印加されたときに所定の振動モードで振動する圧電膜とを有し、一端が基部の前端と接続する固定端であり、他端が前端から離れる方向に延びた開放端である3本以上の振動腕と、を有し、3本以上の振動腕は、3本以上の振動腕が並ぶ方向において、最も外側に位置し、同位相で振動する2本の第1腕と、2本の第1腕の間に挟まれた1本以上の第2腕とを有し、第1腕は、第2腕よりも質量が大きい。

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