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    • 1. 发明申请
    • 無電解銅めっき液および無電解銅めっき方法
    • 电镀铜镀层解决方案和电镀铜镀层的方法
    • WO2005038087A1
    • 2005-04-28
    • PCT/JP2004/014049
    • 2004-09-17
    • 株式会社日鉱マテリアルズ矢部 淳司関口 淳之輔伊森 徹藤平 善久
    • 矢部 淳司関口 淳之輔伊森 徹藤平 善久
    • C23C18/40
    • C23C18/405H01L21/288
    •  めっき反応が起こりにくい半導体ウェハー等の鏡面上等で無電解銅めっきを行う際に、より低温で均一なめっきが可能となる無電解銅めっき液を提供することを目的とする。還元剤として第一の還元剤とともに、第二の還元剤として次亜リン酸または次亜リン酸塩を使用し、さらに銅析出抑制用安定剤を同時に使用することを特徴とする無電解銅めっき液。第一の還元剤としては、ホルマリン、グリオキシル酸等が挙げられ、次亜リン酸塩としては、次亜リン酸ナトリウム、次亜リン酸カリウム、次亜リン酸アンモニウム等が挙げられる。銅析出抑制用安定剤としては2,2'−ビピリジル、イミダゾール、ニコチン酸、チオ尿素、2−メルカプトベンゾチアゾール、シアン化ナトリウム、チオグリコール酸等が挙げられる。
    • 一种化学镀铜溶液,其特征在于将次亚磷酸或次磷酸盐与第一还原剂一起用作第二还原剂,并且同时使用用于抑制铜沉淀的稳定剂。 第一还原剂包括福尔马林和乙醛酸,次磷酸盐包括次磷酸钠,次磷酸钾和次磷酸铵。 用于抑制铜沉淀的稳定剂包括2,2'-联苯基,咪唑,烟酸,硫脲,2-巯基苯并噻唑,氰化钠和巯基乙酸。 化学镀铜溶液允许在降低的温度下,在诸如半导体晶片等的反射镜表面上的无电镀铜等中均匀镀,其不易受电镀反应的影响。
    • 4. 发明申请
    • 無電解金めっき液
    • 电镀金镀层溶液
    • WO2004111287A2
    • 2004-12-23
    • PCT/JP2004/004656
    • 2004-03-31
    • 株式会社日鉱マテリアルズ伊森 徹日角 義幸藤平 善久
    • 伊森 徹日角 義幸藤平 善久
    • C23C
    • C23C18/44H05K3/244
    • An electroless gold plating solution with which a gold plating film free of pitting corrosion at its surface can be obtained, which gold plating film when soldered realizes satisfactory soldering strength. In particular, an electroless gold plating solution characterized by containing a water soluble compound of gold and further containing as a reducing agent a hydroxyalkylsulfonic acid of the following general formula or salt thereof and an amine compound. (wherein R represents any of hydrogen, carboxyl, substituted or unsubstituted phenyl, naphthyl, saturated or unsaturated alkyl, acetyl, acetonyl, pyridyl and furyl; X represents any of hydrogen, Na, K and NH4; and n is an integer of 0 to 4.)
    • 可以获得其表面没有点腐蚀的镀金膜的无电镀金液,焊接时的镀金膜实现令人满意的焊接强度。 特别是一种无电金镀液,其特征在于,含有金的水溶性化合物,还含有作为还原剂的下述通式的羟烷基磺酸或其盐和胺化合物。 (其中R表示氢,羧基,取代或未取代的苯基,萘基,饱和或不饱和的烷基,乙酰基,丙酰基,吡啶基和呋喃基中的任一个; X表示氢,Na,K和NH 4中的任一个; n表示0〜 4)