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1. 发明公开

CN116152507A 图像处理系统及图像处理方法审中-实审
公开(公告)号：CN116152507A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202310270799.5
申请日：2018-03-15
申请人：株式会社日立高新技术
发明人：筱田伸一 , 丰田康隆 , 崎村茂寿 , 石川昌义 , 新藤博之 , 菅原仁志
IPC分类号： G06V10/30 , G06V10/44 , G06V10/70 , G06N20/00
摘要：本发明涉及图像处理系统及图像处理方法，目的在于：兼顾对使用了识别器的图像识别所使用的对照图像进行学习的图像处理系统的数据量的抑制和识别器的识别性能提高。为了达到上述目的，提出一种具备使用对照图像来识别图像的识别器(9)的图像处理系统，该图像处理系统具备对图像识别所需要的对照图像数据进行机器学习的机器学习引擎(1)，该机器学习引擎使用识别失败了的图像(2)，搜索识别成功了的图像(3)，向通过该搜索得到的识别成功了的图像，附加根据通过上述输入装置选择出的上述识别失败了的图像的部分图像而得到的信息，生成修正对照图像数据(13)。

2. 发明公开

CN113994368A 图像处理程序、图像处理装置以及图像处理方法审中-实审
公开(公告)号：CN113994368A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN201980097253.6
申请日：2019-06-13
申请人：株式会社日立高新技术
发明人：大内将记 , 筱田伸一 , 丰田康隆 , 弓场龙 , 新藤博之
IPC分类号： G06T7/00 , G06N3/04 , G06N3/08
摘要：本发明的目的在于提供一种用于实现高速且虚报少的芯片对数据库检查的计算机程序以及使用该计算机程序的半导体检查装置。为了实现上述目的，提出了一种计算机程序以及使用了该计算机程序的半导体检查装置，该计算机程序具备：编码器层(S302)，其构成为决定设计数据图像的特征；以及解码器层(S303)，其根据编码器层输出的特征量，基于对检查对象图案进行拍摄而得到的图像(检查对象图像)的变化，生成各像素的亮度值的统计量，将从解码器层得到的与亮度值相关的统计量与检查对象图像进行比较，检测图像上的缺陷区域，由此能够实现虚报少的芯片对数据库检查。

3. 发明公开

CN110352431A 图像处理系统和用于进行图像处理的计算机程序有权
公开(公告)号：CN110352431A
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201880014768.0
申请日：2018-03-15
申请人：株式会社日立高新技术
发明人：筱田伸一 , 丰田康隆 , 崎村茂寿 , 石川昌义 , 新藤博之 , 菅原仁志
IPC分类号： G06K9/78
摘要：本发明的目的在于：兼顾对使用了识别器的图像识别所使用的对照图像进行学习的图像处理系统的数据量的抑制和识别器的识别性能提高。为了达到上述目的，提出一种具备使用对照图像来识别图像的识别器(9)的图像处理系统，该图像处理系统具备对图像识别所需要的对照图像数据进行机器学习的机器学习引擎(1)，该机器学习引擎使用识别失败了的图像(2)，搜索识别成功了的图像(3)，向通过该搜索得到的识别成功了的图像，附加根据通过上述输入装置选择出的上述识别失败了的图像的部分图像而得到的信息，生成修正对照图像数据(13)。

4. 发明公开

CN105074896A 图案测定装置以及半导体测量系统有权
公开(公告)号：CN105074896A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201480009471.7
申请日：2014-02-05
申请人：株式会社日立高新技术
发明人：丰田康隆 , 长谷川升雄 , 加藤毅 , 菅原仁志 , 北条穰 , 日比野大辅 , 新藤博之
IPC分类号： H01L21/66 , G01N23/225
CPC分类号： G06T7/001 , G01N23/225 , G01N23/2251 , G01N2223/6113 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148 , H01J37/222 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/2817 , H01L22/12
摘要：本发明的目的在于提供一种能够求出用于适当地选择针对半导体器件的处理的评价结果的图案测定装置以及半导体测量系统。为了达到上述目的，本发明提出一种图案测定装置，其具备进行电子器件的电路图案和基准图案的比较的运算装置，该运算装置根据上述电路图案和基准图案之间的测量结果与至少2个阈值的比较，以电路图案的处理单位将该电路图案分类。

5. 发明公开

CN104094390A 半导体评价装置以及计算机程序有权
公开(公告)号：CN104094390A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201380007975.0
申请日：2013-02-08
申请人：株式会社日立高新技术
发明人：本多明日香 , 新藤博之
IPC分类号： H01L21/66 , G01N23/225
CPC分类号： G01B15/00 , G01N23/00 , G03F7/70558 , G03F7/70641 , H01J37/02 , H01L22/12
摘要：本发明目的在于提供合适地制成比较检查等中使用的参考图案的半导体评价装置。说明置、以及计算机程序。另外，说明以基于图案的二维评价来提取更正确的范围的工艺窗口为其它目的的半导体评价装置以及计算机程序。为了达到上述目的，在本发明中，提出一种半导体评价装置，基于由带电粒子束装置得到的信号来进行形成于样品上的图案的尺寸测定，选择该尺寸测定结果满足规定的条件的图案、或形成该图案时的曝光条件，从设计数据上为同一形状的图案的图像中得到轮廓线数据且将轮廓线数据合成来形成合成轮廓线数据，所述设计数据上为同一形状的图案是该所选择的曝光条件下制成的图案、或与该所选择的图案处于已知的位置关系的图案。

6. 发明公开

CN118382802A 图像检查装置、图像处理方法审中-实审
公开(公告)号：CN118382802A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202180104796.3
申请日：2021-12-28
申请人：株式会社日立高新技术
发明人：福田光佑 , 石川昌义 , 吉田泰浩 , 新藤博之
IPC分类号： G01N23/2251
摘要：本发明提供一种图像检查装置，在使用试样的设计数据和拍摄图像来学习推定拍摄图像的像素值的概率分布的模型的图像处理中，能够防止由设计数据与拍摄图像之间的位置偏移引起的概率分布的推定值的精度降低。一种图像检查装置，使用试样的设计数据和所述试样的拍摄图像来检查所述拍摄图像，具有：学习处理部，学习概率分布推定模型，该概率分布推定模型根据设计数据推定拍摄图像的像素值的概率分布；检查处理部，使用由所述学习处理部生成的概率分布推定模型、检查用设计数据和检查用拍摄图像来检查所述检查用拍摄图像，所述学习处理部具有：概率分布推定部，根据试样的学习用设计数据推定试样的学习用拍摄图像的像素值的概率分布；位置偏移量推定部，推定由所述概率分布推定部推定出的学习时概率分布与所述学习用拍摄图像之间的位置偏移量；位置偏移反映部，将由所述位置偏移量推定部推定出的推定位置偏移量反应到所述学习时概率分布；模型评价部，使用由所述位置偏移反映部计算出的位置偏移反映后学习时概率分布和所述学习用拍摄图像，评价所述概率分布推定部的概率分布推定模型，按照评价值更新所述概率分布推定模型的参数。

7. 发明公开

CN115219537A 缺陷检查装置以及缺陷检查方法审中-实审
公开(公告)号：CN115219537A
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202210349312.8
申请日：2022-04-01
申请人：株式会社日立高新技术
发明人：海老塚泰 , 新藤博之 , 荫谷龙吾
IPC分类号： G01N23/2251
摘要：本发明提供一种缺陷检查装置以及缺陷检查方法，其在合成图像中能够检查多种多样的缺陷种类。该缺陷检查装置将来自第一检测器的第一检测信号和来自第二检测器的第二检测信号以第一合成比率进行合成而生成第一合成图像，并且将所述第一检测信号和所述第二检测信号以与所述第一合成比率不同的第二合成比率进行合成而生成第二合成图像。然后，基于所述第一合成图像生成第一检查图像，并且基于所述第二合成图像生成第二检查图像。并且，执行所述第一检查图像和所述第二检查图像的逻辑运算来生成合成检查图像。对所述合成检查图像执行缺陷判定。

8. 发明授权

CN104718428B 图案的检查、测量装置及程序有权
公开(公告)号：CN104718428B
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201380052997.9
申请日：2013-10-11
申请人：株式会社日立高新技术
发明人：皆川刚 , 广井高志 , 吉田健之 , 二宫拓 , 山本琢磨 , 新藤博之 , 福永文彦 , 丰田康隆 , 筱田伸一
IPC分类号： G01B15/04 , G01N21/956 , G01N23/225 , G06T1/00 , H01L21/66
CPC分类号： G06T7/001 , G01B2210/56 , G06K9/4604 , G06K9/52 , G06T7/0002 , G06T7/13 , G06T2207/30168 , H01J37/244 , H01J2237/24592 , H01J2237/2817
摘要：本发明提供一种图案的检查、测量装置，对检查或测量对象图案进行拍摄，使用从所得到的图像数据提取的边缘位置来进行检查或测量，能够降低噪声等的影响，提高检查或测量结果的可靠性。为此，图案的检查、测量装置的特征在于，对检查或测量对象图案进行拍摄，从所得到的图像数据利用边缘提取参数来提取边缘位置，利用该边缘位置来进行检查或测量对象图案的检查或测量，使用表示作为检查或测量的基准的形状的基准图案和所述图像数据来生成所述边缘提取参数。

9. 发明公开

CN117233192A 缺陷检查装置审中-实审
公开(公告)号：CN117233192A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202310557221.8
申请日：2023-05-17
申请人：株式会社日立高新技术
发明人：吉田泰浩 , 石川昌义 , 山内俊典 , 福田光佑 , 新藤博之
IPC分类号： G01N23/2251
摘要：本发明涉及缺陷检查装置，提供在检查时不使用设计数据，对噪声、制造误差稳健的缺陷检查装置。缺陷检查装置具备：特征量计算部，其基于试样的拍摄图像来计算特征量；图像信息削减部，其通过削减所述特征量的信息量来生成潜在变量；统计量推定部，其基于所述潜在变量来推定正常的图像能够取得的图像统计量；以及缺陷检测部，其基于所述图像统计量和试样的检查图像来检测所述检查图像中的缺陷。

10. 发明授权

CN110352431B 图像处理系统、计算机可读存储介质以及系统有权
公开(公告)号：CN110352431B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN201880014768.0
申请日：2018-03-15
申请人：株式会社日立高新技术
发明人：筱田伸一 , 丰田康隆 , 崎村茂寿 , 石川昌义 , 新藤博之 , 菅原仁志
IPC分类号： G06V10/98 , G06V10/772 , G06V10/774 , G06T7/00
摘要：本发明的目的在于：兼顾对使用了识别器的图像识别所使用的对照图像进行学习的图像处理系统的数据量的抑制和识别器的识别性能提高。为了达到上述目的，提出一种具备使用对照图像来识别图像的识别器(9)的图像处理系统，该图像处理系统具备对图像识别所需要的对照图像数据进行机器学习的机器学习引擎(1)，该机器学习引擎使用识别失败了的图像(2)，搜索识别成功了的图像(3)，向通过该搜索得到的识别成功了的图像，附加根据通过上述输入装置选择出的上述识别失败了的图像的部分图像而得到的信息，生成修正对照图像数据(13)。

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