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1. 发明专利

JP2017174495A 質量分析装置および質量分析方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017174495A
公开(公告)日：2017-09-28
申请号：JP2014138445
申请日：2014-07-04
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：山本昭夫 , 利根正純 , 渡辺敏光 , 大月繁夫 , 加島一樹
IPC分类号： G01N27/62 , H01J49/26
CPC分类号： G01N27/62 , H01J49/06 , H01J49/10 , H01J49/26
摘要：【課題】イオン化効率がより高い状態で質量分析を行い、適切な質量分析結果を得る。【解決手段】イオン化部3は、バリア電源8,9から供給される電圧によって試料をイオン化する。イオントラップ部4bは、イオン化部3によってイオン化された試料のイオンを捕捉する。検出部6cは、イオンを検出する。導入部6bは、イオントラップ部4bにより捕捉されたイオンを、導入電源11,12から供給される電圧によって、検出部6cに導入する。制御部16は、第1の期間において、イオン化部3に供給される電圧および導入部6bに供給される電圧の極性を切り替え、切り替えた極性におけるイオンの検出量に基づいて、第1の期間に続く第2の期間において、イオン化部3に供給される電圧および導入部6bに供給される電圧の極性を制御する。【選択図】図1

2. 发明专利

JP2019215976A 荷電粒子ビーム制御装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019215976A
公开(公告)日：2019-12-19
申请号：JP2018111493
申请日：2018-06-12
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：村上真一 , 李ウェン , 高橋弘之 , 利根正純
IPC分类号： G05F1/56 , H01J37/248
摘要：【課題】荷電粒子ビーム制御装置において、グランド電位のばらつきにより電子ビームの照射精度が悪化することを防止する。【解決手段】電流制御回路(1)は、制御信号(V1)に基づき電流検出抵抗(R1)に流れる電流量を調整して定電流(Id)を供給する電流変換部(4)と、制御信号の第1のグランド側端子電圧(G1)と電流検出抵抗(R1)の第2のグランド側端子電圧(G2)とが入力され第1のグランド側端子電圧(G1)と第2のグランド側端子電圧(G2)との電圧差に比例した出力信号(V3)を出力する差動増幅部(5)と、差動増幅部(5)が出力した出力信号(V3)と制御信号(V1)とが入力され出力信号(V3)と制御信号(V1)を所定の比率で加算する補正部(6)とを有する。【選択図】図2

3. 发明专利

JP6247427B2 イオンポンプを備えた荷電粒子線装置有权
公开(公告)号：JP6247427B2
公开(公告)日：2017-12-13
申请号：JP2017516247
申请日：2015-05-01
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：利根正純 , 任田浩 , 大西富士夫
IPC分类号： H01J37/18 , H01J37/244 , H01J41/18
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/248 , H01J37/28

4. 发明专利

JP2015095378A 高電圧発生回路およびそれを用いたイオンポンプ审中-公开
标题翻译：高压发生电路，以及使用其的离子泵
公开(公告)号：JP2015095378A
公开(公告)日：2015-05-18
申请号：JP2013234539
申请日：2013-11-13
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：利根正純 , 渡辺敏光 , 幕内雅巳 , 大西富士夫
IPC分类号： H01J41/12
CPC分类号： H01J41/18
摘要：【課題】真空度に応じて負荷電流と印加電圧とを制御することで低消費電力化、かつ、電子顕微鏡装置を小型化する高電圧発生回路およびそれを備えたイオンポンプを提供する。【解決手段】排気機構部が有する陰極と陽極に電圧を印加することで容器内を真空にするイオンポンプであって、トランス1次側に直流電圧を供給する電圧供給部と、トランス1次側のスイッチング素子に電圧パルスを供給するパルス供給部と、トランス2次側の出力電圧を検出する電圧検出部と、トランス2次側の負荷電流を検出する電流検出部と、前記検出した出力電圧と、負荷電流と、前記検出した出力電圧値と負荷電流を乗算して算出した出力電力値のうち少なくともいずれか一つに基づいて、前記パルス供給部が出力する電圧パルスのパルス幅またはパルス周期を調整する制御部と、を備えるイオンポンプ。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种高压发生电路和采用该电路的离子泵，其能够通过根据真空度控制负载电流和施加电压来降低功耗; 并且减小电子显微镜装置的尺寸。解决方案：一种离子泵，其中在空气排出机构部分中包括的阴极和阳极施加电压以使离子泵的容器的内部变为真空状态，包括：向变压器初级侧供给DC电压的电压供给部; 脉冲供给部，向变压器初级侧的开关元件供给电压脉冲; 检测变压器次级侧的输出电压的电压检测器; 检测变压器次级侧的负载电流的电流检测器; 基于检测到的输出电压，负载电流和输出功率值中的至少一个来调整从脉冲供给部输出的电压脉冲的脉冲宽度或脉冲周期的控制器，电压值由负载电流。

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