专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JP4408704B2 Jet nozzle and a light source device using the same 有权
公开(公告)号：JP4408704B2
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：JP2004002151
申请日：2004-01-07
申请人：ギガフォトン株式会社 , 株式会社小松製作所
发明人：真生中野
IPC分类号： G21K5/00 , H05G2/00 , G03F7/20 , G21K5/02 , G21K5/08 , H01L21/027 , H05H1/24

2. 发明专利

JP4261577B2 Corona preionization electrode 有权
公开(公告)号：JP4261577B2
公开(公告)日：2009-04-30
申请号：JP2006345806
申请日：2006-12-22
申请人：株式会社小松製作所
发明人：真生中野 , 彩子大部 , 敏博西坂
IPC分类号： H01S3/038

3. 发明专利

JP4026697B2 Pulse laser power supply unit for 有权
公开(公告)号：JP4026697B2
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：JP32077398
申请日：1998-11-11
申请人：株式会社小松製作所
发明人：真生中野
IPC分类号： H02M9/04
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To enable maintaining high energy efficiency, even when pulse laser light is extended by extending pulse energy supplied to a laser discharging part with respect to of time and flexible setting of the pulse extension, which allows the setting range of the pulse extension to be widened, SOLUTION: This power supply for pulse laser transfers electric charge energy accumulated in a charging capacitor C0, while compressing the energy with magnetic pulse in sequence via a magnetic pulse compressing circuit made up of saturable reactors SL1-SL3 and capacitors C1, C2, when a switching element SM is turned on. Then, it supplies the energy to a laser discharging part LD connected parallel to a peaking capacitor CP. It is directly connected onto a shared transfer circuit, a final magnetic pulse compressing closed circuit, that compresses the energy with magnetic pulse to transfer it to the peaking capacitor CP, as well as a final energy transfer closed circuit that causes the pulse energy from the peaking capacitor CP to flow into the laser discharging part LD. The circuit comprises a coil LL that extends the pulse energy in terms of time, and a diode D that is connected parallel to the coil LL, treats the energy transfer direction by the energy transfer closed circuit as the forward direction.

4. 发明专利

JP4885587B2 Target supply unit 有权
标题翻译：空值
公开(公告)号：JP4885587B2
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：JP2006088245
申请日：2006-03-28
申请人：ギガフォトン株式会社 , 株式会社小松製作所
发明人：真生中野
IPC分类号： H01L21/027 , H05G2/00
CPC分类号： H01J49/162 , H01J49/027 , H01J49/16 , H05G2/001

5. 发明专利

JP4199339B2 Pulse laser power supply unit for 有权
公开(公告)号：JP4199339B2
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：JP29882198
申请日：1998-10-20
申请人：株式会社小松製作所
发明人：真生中野
IPC分类号： H01S3/097 , H02M9/04

6. 发明专利

JP3779031B2 Corona preionization electrode 失效
公开(公告)号：JP3779031B2
公开(公告)日：2006-05-24
申请号：JP14930797
申请日：1997-06-06
申请人：株式会社小松製作所
发明人：真生中野
IPC分类号： H01S3/038 , H01S3/0977

7. 发明专利

JP4628122B2 Extreme ultraviolet light source apparatus for a nozzle 有权
标题翻译：空值
公开(公告)号：JP4628122B2
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：JP2005028337
申请日：2005-02-04
申请人：ギガフォトン株式会社 , 株式会社小松製作所
发明人：真生中野 , 陽介今井
IPC分类号： H05G2/00 , G21K5/08 , H01L21/027

8. 发明专利

JP4578883B2 Extreme ultraviolet light source device 有权
公开(公告)号：JP4578883B2
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：JP2004225124
申请日：2004-08-02
申请人：ギガフォトン株式会社 , 株式会社小松製作所
发明人：真生中野
IPC分类号： H05G2/00 , G21K5/00 , G21K5/02 , G21K5/08 , H01L21/027

9. 发明专利

JP3910733B2 Corona preionization electrode 失效
公开(公告)号：JP3910733B2
公开(公告)日：2007-04-25
申请号：JP16531798
申请日：1998-06-12
申请人：株式会社小松製作所
发明人：真生中野 , 彩子大部 , 敏博西坂
IPC分类号： H01S3/038 , H01S3/0977

10. 发明专利

JP3796038B2 Gas laser oscillation device 失效
公开(公告)号：JP3796038B2
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：JP4362198
申请日：1998-02-25
申请人：株式会社小松製作所
发明人：真生中野 , 隆之渡邊
IPC分类号： H01S3/038 , H01S3/036 , H01S3/0971 , H01S3/0977 , H01S3/225
CPC分类号： H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/09713 , H01S3/225

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式