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1. 发明专利

JP2016085226A 流体計測システム审中-公开
标题翻译：流体测量系统
公开(公告)号：JP2016085226A
公开(公告)日：2016-05-19
申请号：JP2015255020
申请日：2015-12-25
申请人：株式会社堀場エステック
发明人：松浦和宏 , 高倉洋 , 古川幸正 , 安田忠弘
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/00
摘要：【課題】流量計測機器及び制御機器を有する流量計測システムにおいて、そのメンテナンス性を向上させる。【解決手段】MFC2及びこのMFC2を管理する制御機器3を有する流量計測システム100であって、前記MFC2が、流量センサ21と、この流量センサ21により得られる計測データを用いた流量算出に用いる流量算出関連データを格納する関連データ格納部D1とを備え、前記制御機器3が、前記関連データ格納部D1から前記流量算出関連データを取得し、前記流量センサ21の計測データ及び前記流量算出関連データを用いて流量算出を行うものである。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提高具有流量测量装置和控制装置的流量测量系统的可维护性。解决方案：在具有MFC2的流量测量系统100和用于管理MFC 2的控制装置3中， MFC2包括：流量传感器21; 以及相关数据存储部D1，用于存储要由流量传感器21获得的测量数据用于流量计算的流量计算相关数据，并且控制装置3从相关数据中获得流量计算相关数据存储部分D1，并且通过使用流量传感器21的测量数据和流量计算相关数据来执行流量计算。选择图：图1

2. 发明专利

JP2018147218A 流体制御装置及び流体制御装置用プログラム审中-公开
公开(公告)号：JP2018147218A
公开(公告)日：2018-09-20
申请号：JP2017041577
申请日：2017-03-06
申请人：株式会社堀場エステック
发明人：松浦和宏 , 山口正男 , 長井健太郎
IPC分类号： G05B11/36 , G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , G05B6/02
摘要：【課題】測定流量にピークが発生することを抑制する。【解決手段】流体の流量を測定する流量測定部と、流体制御バルブと、予め設定された設定流量及び流量測定部の測定流量の偏差と、予め設定された制御係数とに基づいて得られる流体制御バルブの開度操作量を開度操作量信号として出力する開度操作量出力部とを具備し、測定流量が安定している安定状態及び設定流量の変動により測定流量が変動する過渡状態において、過渡状態の方が安定状態よりも前記偏差に対する前記開度操作量の変動が緩やかになるように、制御係数が設定されており、安定状態から過渡状態に切り替わるタイミング又はそのタイミングから所定時間経過する前に、開度操作量出力部が、安定状態における複数のタイミングで出力した各開度操作量から算出される切替時用開度操作量を切替時用開度操作量信号として出力するようにした。【選択図】図7

3. 发明专利

JP5868815B2 流量制御装置有权
公开(公告)号：JP5868815B2
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：JP2012193335
申请日：2012-09-03
申请人：株式会社堀場エステック
发明人：高倉洋 , 長井健太郎 , 松浦和宏
IPC分类号： G01F1/00 , G01F1/36 , G05B11/36 , G05D7/06

4. 发明专利

JP6879782B2 流体制御装置及び流体制御装置用プログラム有权
公开(公告)号：JP6879782B2
公开(公告)日：2021-06-02
申请号：JP2017041577
申请日：2017-03-06
申请人：株式会社堀場エステック
发明人：松浦和宏 , 山口正男 , 長井健太郎
IPC分类号： G05B11/36 , G05D7/06

5. 发明专利

JP2019159687A 流量制御装置、流量制御方法、及び、流量制御装置用プログラム审中-公开
公开(公告)号：JP2019159687A
公开(公告)日：2019-09-19
申请号：JP2018044413
申请日：2018-03-12
申请人：株式会社堀場エステック
发明人：瀧尻興太郎 , 長井健太郎 , 今里裕子 , 曾采薇 , 松浦和宏
IPC分类号： G05D7/06
摘要：【課題】制御点において実際に流れている流量を大きなノイズを含ませずに推定し、流量制御の高速化を実現しつつ、流量制御の安定性も得られる流量制御装置を提供する。【解決手段】流路に設けられた流体抵抗と、流体抵抗の下流側に設けられた下流側バルブと、前記流体抵抗を流れ、当該流体抵抗と前記下流側バルブとの間の流路中の容積へ流入する抵抗流量を測定する抵抗流量測定機構と、前記流量特性記憶部に記憶されている流量特性に基づいてバルブ流量を推定する対象流量推定部と、設定流量と、前記対象流量推定部により推定されたバルブ流量とに基づいて前記下流側バルブを制御する流量制御部と、を備えた。【選択図】図1

6. 发明专利

JP2018152051A 診断システム、診断方法、診断プログラム及び流量制御装置。审中-公开
公开(公告)号：JP2018152051A
公开(公告)日：2018-09-27
申请号：JP2018006632
申请日：2018-01-18
申请人：株式会社堀場エステック
发明人：赤土和也 , 長井健太郎 , 松浦和宏
IPC分类号： G01F1/36 , G05B23/02
摘要：【課題】測定周囲条件の変動にかかわらず、流量センサの機能をより正確に診断する。【解決手段】流体の流量を測定する流量センサと、前記流量センサの出力値又はこれに関連する値(以下、これらを総称して「出力関連値」という)を測定し、測定された出力関連値とその測定周囲条件とを関連付け、前記出力関連値又はその出力関連値が正常であるか判断するために予め定められた基準値を前記測定データの測定周囲条件に応じて補正する補正部と、前記補正部の補正結果に基づいて前記出力関連値と前記基準値とを比較し、前記流量センサの機能を診断する診断部と、を具備する。【選択図】図1

7. 发明专利

JP5864849B2 流体計測システム有权
标题翻译：流体测量系统
公开(公告)号：JP5864849B2
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：JP2010250209
申请日：2010-11-08
申请人：株式会社堀場エステック
发明人：松浦和宏 , 高倉洋 , 古川幸正 , 安田忠弘
IPC分类号： G01D21/00 , G01F1/00
CPC分类号： G01F15/068 , G01F15/005

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