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热词
    • 8. 发明专利
    • 遮断開放器
    • 关闭开启装置
    • JP2016205409A
    • 2016-12-08
    • JP2015082998
    • 2015-04-15
    • 株式会社フジキン東京エレクトロン株式会社
    • 石橋 圭介谷川 毅山路 道雄船越 高志木曽 秀則岡部 庸之菊地 広秋坂下 訓康
    • F16K27/00
    • F16K27/00
    • 【課題】 流体の逆流による内部汚染を防止して、弁の交換頻度を減少することができる遮断開放器を提供する。 【解決手段】 第1開閉弁2および第2開閉弁3は、いずれも2ポート弁とされている。第1通路ブロック5に、第1開閉弁用流入通路11および第1開閉弁用流出通路12が形成されている。第2通路ブロック6に、第2開閉弁用流入通路14および第2開閉弁用流出通路15が形成されている。第2開閉弁用流出通路15が、第1通路ブロック5に形成された連通路13を介して第1開閉弁用流出通路12の上流側部分に連通している。第2開閉弁用流出通路15と連通路13との間にオリフィス20が設けられている。 【選択図】 図1
    • 甲防止内部污染流体的逆流,从而提供一个切断开口装置,其可以减少更换阀的的频率。 第一开闭阀2和开闭阀3,第二均为一个2通阀。 第一通路块5,第一开闭阀的入口通道11和第1开闭阀的出口通道12形成。 第二通道块6,第二开闭阀为流入通路14和第二开闭阀为出口通道15形成。 第二开闭阀为出口通道15与流出通道12通过形成在第一通道块5中的连通通道13中的第一开闭阀的上游部分连通。 孔20被第二开闭阀的出口通道15和连通路径13之间。 点域1
    • 9. 发明专利
    • 流体制御装置
    • 流体控制装置
    • JP2016180483A
    • 2016-10-13
    • JP2015062080
    • 2015-03-25
    • 株式会社フジキン
    • 木曽 秀則徳田 伊知郎中田 知宏
    • F16K37/00
    • 【課題】ラインに既設の流体制御装置に対し、流体通路の開閉状態を確認可能な機能を付加することにより、当該流体通路の開閉状態を確認可能な流体制御装置を提供する。さらに、高い清浄度が求められるクリーンルーム内での使用にも適した流体制御装置を提供する。 【解決手段】流体制御装置1は、外部供給路4を介して導入される駆動圧によって流体通路211を開閉するエアオペレートバルブ2と、エアオペレートバルブ2の流体通路211の開閉状態を検知する検知装置3とからなる。検知装置3は、外部供給路4に連結して取り付けられ、エアオペレートバルブ2内の駆動圧導入室に駆動圧が導入されるのに応じて、当該駆動圧導入室の内部の駆動圧の圧力を検出する圧力検出手段と、検出された圧力に基づき、流体通路211の開閉状態を判別する開閉判別手段とを有する。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种流体控制装置,其能够通过添加用于检查流体通道的打开和关闭状态的功能来检查流体通道的打开和关闭状态到已经存在于流水线中的流体控制装置,以及 以进一步提供也适用于需要高清洁度的洁净室的流体控制装置。解决方案:流体控制装置1包括气动阀2,该气动阀2通过通过 外部供给路径4以及检测装置3,其通过气动阀2检测流体通道211的打开和关闭状态。检测装置3具有安装在外部供给路径4上的检测装置, 当驱动压力被引入驱动压力引入c时,气动阀2中的驱动压力引入室内部的驱动压力的压力 以及基于检测到的压力来确定流体通道211的打开和关闭状态的打开和关闭确定装置。选择的图示:图1
    • 10. 发明专利
    • 流体制御機器
    • JPWO2020044827A1
    • 2021-08-26
    • JP2019027964
    • 2019-07-16
    • 株式会社フジキン
    • 丹野 竜太郎篠原 努鈴木 裕也木曽 秀則渡邊 義明
    • F16K37/00
    • 【課題】流体制御機器において、流体の漏出が僅かな場合でも精度よく漏出を検知可能なものを提供する。【解決手段】流体制御機器(V1)は、流路が形成されたバルブボディ(1)と 、閉空間(S2)を流路から隔離するダイヤフラム(22)と、ダイヤフラム(22)との間に閉空間(S2)を形成すると共に、閉空間(S2)に連通し、ダイヤフラム押え(23)が上下動可能に貫挿される貫挿孔(241a)が設けられたボンネット(24)と、貫挿孔(241a)内を上下動してダイヤフラム(22)を押圧すると共に、貫挿孔(241a)から抜出不能とする拡径部(232)が設けられたダイヤフラム押え(23)と、閉空間(S2)内の圧力を検出する圧力センサ(P)と、閉空間(S2)内において、ダイヤフラム押え(23)の拡径部(232)とボンネット(24)の間に介在し、ダイヤフラム押え(23)の上下動に伴ってダイヤフラム押え(23)の拡径部(232)とボンネット(24)の間で弾性的に膨縮する弾性体(6)とを有する。