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    • 1. 发明专利
    • ワイヤボンディング装置
    • 引线接合装置
    • JP6067951B1
    • 2017-01-25
    • JP2016553671
    • 2015-12-25
    • 株式会社カイジョー
    • 神藤 力杉藤 哲郎
    • H01L21/607H01L21/60
    • H01L2224/78
    • 【課題】ワイヤカットエラー等での第2ボンド点でのボンディング状態やキャピラリ、ワイヤ等の部材の影響を受けづらく、キャピラリ先端からワイヤを自動で突出させることができるワイヤボンディング装置を提供すること。 【解決手段】ワイヤ40が挿通される貫通孔を有したキャピラリ6と、キャピラリ6の上方に設けられ、当該キャピラリ6に挿通されるワイヤ40を把持する把持手段と、キャピラリ6を上下に振動させる加振手段とを備え、把持手段にワイヤ40を把持させた状態で、加振手段によりキャピラリ6を上下に振動させることによって、キャピラリ先端からワイヤ40を突出させるようにする。 【選択図】図7
    • 在线切割误差等的第二接合点的接合状态和毛细管,几乎不受构件的影响,如金属丝,提供一种能够从毛细管尖端线自动伸出的引线接合设备。 具有通孔的金属丝40被插入的毛细管6中,毛细管6的上方,振动和握持用于夹持导线40的装置被插入到毛细管6,在垂直毛细管6 和,通过振动装置振动毛细管6向上和向下,向毛细管尖端以便伸出线40振动装置,在被夹持电线40的夹紧装置的状态。 点域7
    • 3. 发明专利
    • ボンディング装置
    • 绑定设备
    • JP2015216227A
    • 2015-12-03
    • JP2014098057
    • 2014-05-09
    • 株式会社カイジョー
    • 杉藤 哲郎
    • H01L21/60
    • H01L24/78B23K20/005B23K20/02B23K20/106H01L2224/78301H01L2224/78349H01L2224/78824H01L2924/00014
    • 【課題】ワイヤの先端部に形成されたボールを半導体チップの電極にスクラブ振動と共に押圧して接合する際に、キャピラリ先端部を自在にコントロールすることが可能なボンディング装置を提供すること。 【解決手段】振動駆動部7を備え、振動駆動部7は、ボンディングアーム3の先端部に一端が固定され、ボンディングアーム3の軸方向に沿って伸縮する複数の圧電素子10と、複数の圧電素子10の各々の他端に各々固定され、キャピラリ20の基端側周面に接触する複数のキャピラリ保持部15と、ボンディングアーム3に少なくとも一端側が固定され、他端側がキャピラリ20の基端側周面のキャピラリ保持部15とは反対側に接触して、キャピラリ20を複数のキャピラリ保持部15に押圧して挟持する押圧保持部21とを備え、複数の圧電素子は、各圧電素子への駆動電圧波形に対して、振幅、位相、周波数又は波形の関数的操作を加えるようにする。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种接合装置,当将形成在线尖端处的球结合到半导体芯片的电极并且擦洗振荡时,能够灵活地控制毛细管尖端。粘合装置包括振荡驱动 第7部分包括:多个压电元件10,每个压电元件10的一端固定到接合臂3的尖端,并且沿着接合臂3的轴线的方向膨胀和收缩; 多个毛细管保持部15,其各自固定在多个压电元件10的彼此的端部,并且在基端侧与毛细管20的周面接触; 以及压力保持部21,其中至少一个端侧固定到接合臂3,另一侧在与毛细管保持部15相对的一侧接触毛细管20的基端侧外周表面,以推动毛细管20 到多个毛细管保持部15夹持毛细管20.在多个压电元件中,对各压电元件的驱动电压的波形进行振幅,相位,频率或波形的功能动作。
    • 6. 发明专利
    • ボンディング装置
    • 绑定设备
    • JP2015177046A
    • 2015-10-05
    • JP2014052640
    • 2014-03-14
    • 株式会社カイジョー
    • 杉藤 哲郎
    • H01L21/60
    • H01L24/78B23K20/005B23K20/007B23K20/10H01L2224/78301H01L2224/78349H01L2924/00014
    • 【課題】圧電素子が駆動する負荷の軽量小型化を図るようにして、キャピラリが低周波から高周波まで安定した振動を行うことが可能であり、また、キャピラリへの予圧を一定にするようにして、圧電素子の伸縮動作を阻害することなく安定した振動をキャピラリに伝達することが可能なボンディング装置を提供すること。 【解決手段】振動駆動部7を備え、振動駆動部7は、ボンディングアーム3の先端部に一端が固定され、ボンディングアーム3の軸方向に沿って伸縮する圧電素子10と、圧電素子10の他端に固定され、キャピラリ20の基端側周面に接触するキャピラリ保持部15と、キャピラリ20の基端側周面のキャピラリ保持部15とは反対側の半周面に巻き回された糸状体23と、糸状体23に張力を付与することによりキャピラリ20をキャピラリ保持部15に押圧保持するボンディングアーム3側に配された引張機構25とを備えるようにする。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种通过减少由压电元件驱动的负载的重量和尺寸来允许毛细管从低频到高频稳定的振动的接合装置,并且允许将稳定的振动传递到毛细管而没有 通过使毛细管上的预载量恒定,抑制压电元件的伸长和收缩。解决方案:接合装置包括振动驱动部分7,振动驱动部分7包括压电元件10,该压电元件10的一端固定到 接合臂3,并且在接合臂3的轴向方向伸长收缩,固定在压电元件10的另一端并与毛细管20的基端侧周面接触的毛细管保持部15, 在相对侧的毛细管20的基端侧周面的半周面上卷绕的线状体23 毛细管保持部15以及布置在接合臂3侧上的张力机构25,用于通过向螺纹状主体23施加张力来将毛细管20压在毛细管保持部15上。