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1. 发明专利

JP2019195495A 血管径測定システム审中-公开
公开(公告)号：JP2019195495A
公开(公告)日：2019-11-14
申请号：JP2018091321
申请日：2018-05-10
申请人：株式会社アルバック , 国立大学法人東北大学
发明人：鈴木大地 , 不破耕 , 前平謙 , 大橋靖知 , 藤田勝博 , 川久保大輔 , 芳賀洋一 , 松永忠雄
IPC分类号： H04R17/00 , A61B8/14
摘要：【課題】血管径を精度よく且つ再現性よく測定することができ、ウェアラブル性に優れた超音波プローブを有する血管径測定システムを提供する。【解決手段】パルスエコー法により生体の血管径を測定する血管径測定システムは、アレイ状の圧電素子22にパルス電圧を印加して超音波を発振し、反射波を受信する送受信部2を有する超音波プローブAPと、血管径を測定する測定器本体とを備え、プローブと本体とが通信自在に接続される。プローブの装着方向を下とし、上下方向に貫通するシリコン貫通電極31を形成したシリコン基板3を更に備え、駆動回路41と、電源と、増幅回路43と、A/D変換回路とが搭載され、各圧電素子の下面が接触する第1電極21と上面が接触する第2電極25とに電極を介して夫々接続され、本体に駆動回路を制御し血管径を測定する制御手段と、血管径を報知する報知手段とを設ける。【選択図】図1

2. 发明专利

JP2019195496A アレイ型の超音波プローブ及びその製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019195496A
公开(公告)日：2019-11-14
申请号：JP2018091322
申请日：2018-05-10
申请人：株式会社アルバック , 国立大学法人東北大学
发明人：鈴木大地 , 不破耕 , 前平謙 , 大橋靖知 , 藤田勝博 , 川久保大輔 , 芳賀洋一 , 松永忠雄
IPC分类号： H04R17/00 , H04R31/00 , A61B8/14
摘要：【課題】超音波の伝搬特性に優れた低コストのアレイ型の超音波プローブを提供する。【解決手段】、同一平面上にアレイ状に配置された同等の厚さを持つ複数の圧電素子22を有して生体の血管径をパルスエコー法を用いて計測する本発明の超音波プローブAPは、生体の音響インピーダンスと各圧電素子の音響インピーダンスとを整合させる音響整合層1と、音響整合層上に積層され、各圧電素子の下面22aが接触する第1電極膜21と、第1電極膜上に積層され、圧電素子と同等の厚さを持つと共に圧電素子を夫々囲繞する第1開口23aが開設された第1ドライフィルムレジスト23と、第1ドライフィルムレジスト上に積層され、圧電素子の上面22bを部分的に露出させる第2開口24aが開設されて第2開口の周縁部と第1電極膜との間で圧電素子を夫々挟持する第2ドライフィルムレジスト24と、各圧電素子の上面が接触する第2電極膜25と、第2電極膜を覆うバッキング材3とを備える。【選択図】図1

3. 发明专利

JPWO2016167224A1 吸着装置、真空処理装置有权
公开(公告)号：JPWO2016167224A1
公开(公告)日：2018-01-18
申请号：JP2017512529
申请日：2016-04-11
申请人：株式会社アルバック
发明人：川久保大輔 , 前平謙 , 不破耕 , 鈴木傑之
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00
CPC分类号： B65G49/00 , H01L21/683 , H02N13/00
摘要：【課題】吸着力が弱くならない吸着装置を提供する。【解決手段】吸着装置19aの受電端子24を、受電側凹部23内に配置し、蓋部25aによって蓋ができるようにする。基板51〜53を吸着する際には、吸着装置19aを給電台18a上に載置し、給電端子64を受電端子24に接触させ、基板51〜53と吸着電極22との間の等価容量を充電する。吸着装置19aを移動させる際には、等価容量の残留電荷で基板51〜53を吸着しながら、蓋部25aによって、受電側凹部23を蓋し、受電端子24に真空槽中の残留ガスが接触しないようにする。受電端子24が腐食したり、薄膜が形成されたりすることが無くなり、等価容量の残留電荷が放出されないようになる。

4. 发明专利

JP2019125603A 吸着方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019125603A
公开(公告)日：2019-07-25
申请号：JP2018002946
申请日：2018-01-11
申请人：株式会社アルバック
发明人：川久保大輔 , 前平謙 , 不破耕 , 森本直樹
IPC分类号： H02N13/00 , H01L21/683
摘要：【課題】吸着対象基板を均一に吸着する。【解決手段】吸着板12に複数配置された各吸着電極11それぞれに、仮吸着電圧を印加し、吸着対象基板17を吸着しながら、一枚の吸着電極11に交流電圧を印加し、他の吸着電極11に流れる交流電流を測定する。吸着電極11を替え、少なくとも二回交流電圧を印加して交流電流を測定し、測定結果から各吸着電極11と吸着対象基板17との間の静電容量を求め、吸着対象基板17が均一に吸着される電圧を本吸着電圧として設定する。【選択図】図2

5. 发明专利

JP2017034780A 非接触式の給電システム审中-公开
标题翻译：非接触类型馈电系统
公开(公告)号：JP2017034780A
公开(公告)日：2017-02-09
申请号：JP2015150369
申请日：2015-07-30
申请人：株式会社アルバック
发明人：鈴木傑之 , 川久保大輔 , 南展史 , 武者和博 , 川口崇文
IPC分类号： B25J19/00 , H01L21/677 , B65G49/07 , H02J50/00
摘要：【課題】非接触式給電システムを簡単な構成で残留電荷の影響を受けずに確実にワークを脱離できるように構成する。【解決手段】本発明の給電システムPSは、給電回路ユニット2と、互いに対向配置される一対の電極間で機械的に分離されたキャパシタ4と、受電回路ユニット5とを備える。受電回路ユニットが、直流電圧に変換すると共に制御用電圧を出力する変換回路51と、スイッチング素子を有して吸着用電極に第1極性または第2極性の直流電圧を印加する電圧印加回路52と、受電回路制御部53と、変換回路から制御用電圧が入力され、第1極性または第2極性の直流電圧のいずれが印加されたかを記憶する記憶部55とを備える。受電回路制御部が、記憶部からの出力を受けて第1極性または第2極性の直流電圧が交互に吸着用電極に印加されるように、スイッチング素子を制御する。【選択図】図2
摘要翻译：公开被配置，而不会受到残余电荷的非接触电力供给系统以简单的结构可靠地工作可被消除。本发明的电源系统PS包括电源电路部2，电容器4，其被机械地一对相对设置的电极间分离，并且电力接收电路单元5。接收电路部，其输出一个控制电压和所述DC电压转换，电压施加电路52用于施加第一极性或直流电压施加到吸附电极的第二极性的转换电路51具有开关元件包括电力接收电路控制部53，控制电压从转换电路输入，和用于存储一个被施加到第一极性或DC电压的所述第二极性的存储单元55。输入电路控制单元，使得第一极性或DC电压的响应于来自所述存储单元的输出的第二极性施加到吸附电极交替地控制开关元件。 .The

6. 发明专利

JP2021157945A 四重極型質量分析装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021157945A
公开(公告)日：2021-10-07
申请号：JP2020056746
申请日：2020-03-26
申请人：株式会社アルバック
发明人：李享昭 , 川久保大輔
IPC分类号： H01J49/42
摘要：【課題】温度変動に対する安定性がよい検波回路を有する四重極型質量分析装置を提供する。【解決手段】四重極部4の交流電圧を検出する検波回路11の第一、第二整流素子D 1 、D 2 を熱結合させ、温度が変動しても第一整流素子D 1 の順方向降下電圧と第二整流素子D 2 の順方向降下電圧とを同じ大きさにする。補正回路12から第三整流素子D 3 の順方向降下電圧を出力させ、検波回路11の出力に加算させる際に、第一〜第三整流素子D 3 を熱結合させて同じ温度にし、検波回路11の出力から、第一整流素子D 1 の順方向降下電圧の影響と第二整流素子D 2 の順方向降下電圧の影響とを消去する。【選択図】図2

7. 发明专利

JPWO2017002340A1 基板搬送方法有权
公开(公告)号：JPWO2017002340A1
公开(公告)日：2018-04-05
申请号：JP2017526170
申请日：2016-06-23
申请人：株式会社アルバック
发明人：鈴木傑之 , 川久保大輔 , 南展史 , 武者和博
IPC分类号： H02J50/05 , B25J15/06 , B25J19/00 , B65G49/07 , H01L21/677 , H02J50/80
CPC分类号： B25J15/06 , B25J19/00 , B65G49/07 , H01L21/677 , H02J50/05
摘要：別途の通信機器を用いることなく、非接触給電を行う際に通信も行い得るように非接触式給電システムを構成する。給電システムPSは、一対の電極5a,5b間で機械的に分離されるキャパシタ5と、キャパシタの一方の電極に接続される給電回路ユニット6と、キャパシタの他方の電極に接続される受電回路ユニット7とを備える。給電回路ユニットが、キャパシタと共に直列共振回路を構成する発振器61と振幅変調を加える変調器62と第1の制御手段63とを有し、互いに異なる振幅に変調された搬送波をキャパシタの一方の電極に供給する。受電回路ユニットが、整流回路72と、直流電圧を給電対象電極4a,4bに選択的に印加する切換回路73と第2の制御手段75とを有する。第2の制御手段は、電力供給用搬送波を供給している間に供給される制御信号用搬送波を基に切換回路の作動を制御する。

8. 发明专利

JP2016115759A 真空処理装置、真空処理方法有权
标题翻译：真空处理器和真空处理方法
公开(公告)号：JP2016115759A
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：JP2014251866
申请日：2014-12-12
申请人：株式会社アルバック
发明人：前平謙 , 川久保大輔 , 不破耕
IPC分类号： H01L21/683
摘要：【課題】処理対象物23の残留電荷を測定し、残留電荷を消滅させる。【解決手段】本発明では、第一電極2が設けられた吸着板22に処理対象物23を配置し、処理対象物23を接地電位に接続し、第一、第二電極2a、2bを電気的に浮遊させた状態で、第一、第二電極2a、2bの電位を測定する。測定した電位から、第一、第二電極2a、2bを除電させる条件を求められるので、第二電極2bを電気的に浮遊させた状態で第一電極2aを除電させ、第一電極2aを電気的に浮遊させた状態で、第二電極2bを除電する。更に、第一、第二電極2a、2bの電位を測定して、除電することもできる。第一、第二電極2a、2bの残留電荷を消滅させることができる。【選択図】図1A
摘要翻译：要解决的问题：测量处理对象23的残余电荷并消除残余电荷。解决方案：一种真空处理方法包括以下步骤：将处理对象23设置在吸收板22上，其中第一电极2 被提供; 将处理对象23连接到地电位; 在第一和第二电极2a，2b电浮动的状态下测量第一和第二电极2a，2b的电位; 在第一电极2a电浮动的状态下，在第一电极2a电浮动的状态下从第一电极2a去除电力，并且在第一电极2a电浮动的状态下从第二电极2b去除电力，可以从测量的电位获得第二电极2a，2b。此外，可以通过测量第一和第二电极2a，2b的电位来执行电力的去除。可以消除第一和第二电极2a，2b的残留电荷。图1A

9. 发明专利

JP5823335B2 液体吐出方法有权
标题翻译：液体排出方法
公开(公告)号：JP5823335B2
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：JP2012083665
申请日：2012-04-02
申请人：株式会社アルバック
发明人：中尾裕利 , 村田真朗 , 佐藤誠一 , 田中保三 , 川久保大輔 , 坂内雄也
IPC分类号： B05D3/00 , B05D1/26

10. 发明专利

JP6942936B2 真空装置、吸着電源有权
公开(公告)号：JP6942936B2
公开(公告)日：2021-09-29
申请号：JP2017162819
申请日：2017-08-25
申请人：株式会社アルバック
发明人：大橋靖知 , 川久保大輔 , 藤田勝博 , 前平謙 , 橘高朋子 , 不破耕
IPC分类号： H01L21/683

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