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    • 4. 发明专利
    • 超純水製造装置の運転方法
    • JP2020037088A
    • 2020-03-12
    • JP2018166220
    • 2018-09-05
    • 栗田工業株式会社
    • 伊藤 晃宮▲崎▼ 洋一
    • B01D61/22B01D61/14F04D15/00C02F1/44
    • 【課題】 定期メンテナンス等による装置の稼働と停止の切り替え時であっても、サブシステムが備える膜ろ過装置内に負荷がかかるのを回避し、超純水に含まれる微粒子が増加するのを抑制することが可能な超純水製造装置の運転方法を提供する。 【解決手段】 一次純水システムと、この一次純水システムで製造された一次純水を処理して超純水を製造するサブシステム100とを備える超純水製造装置の運転方法であって、第一開閉バルブ8を微開状態、第二開閉バルブ9を全開状態、第三開閉バルブ10を全閉状態とする準備工程と、準備工程後、第三開閉バルブ10を全開状態になるまで徐々に開放するとともに、給水ポンプ7によって供給ラインL1の流量を徐々に増加させる運転工程と、運転工程後、第三開閉バルブ10を全閉状態になるまで徐々に閉鎖するとともに、給水ポンプ7によって供給ラインL1の流量を徐々に減少させる停止工程とを備える。 【選択図】図1
    • 9. 发明专利
    • 超純水の製造方法及び超純水製造設備
    • 生产超声波水和超声波水生产设备的方法
    • JP2015178107A
    • 2015-10-08
    • JP2015115518
    • 2015-06-08
    • 栗田工業株式会社
    • 福井 長雄宮▲崎▼ 洋一
    • C02F1/42C02F9/00C02F1/58C02F1/32
    • 【課題】紫外線酸化装置からの紫外線酸化処理水を白金属金属担持触媒樹脂と接触させて純水を製造する方法及び装置において、触媒樹脂の劣化を防止し、長期にわたって安定して過酸化水素を分解処理することができる純水製造方法及び装置を提供する。 【解決手段】被処理水を紫外線酸化装置2で紫外線酸化処理した後、白金系触媒を用いた過酸化水素除去装置4により過酸化水素除去処理する純水の製造方法及び装置において、該紫外線酸化装置2への給水のTOCを5ppb以下とすると共に、紫外線酸化装置2の後段にアニオン交換樹脂塔3を設置する。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种通过将来自UV氧化单元的UV氧化处理的水与铂金属负载的催化剂树脂接触来制备纯水的方法和设备,其防止催化剂树脂的劣化并稳定地分解过氧化氢 长时间。解决方案:在通过在UV氧化装置2中对被处理水进行UV氧化处理并通过过氧化氢去除单元4进行过氧化氢去除处理的方法和装置中,使用 铂类催化剂,UV氧化装置2的给水TOC为5ppb,在UV氧化装置2的后续阶段设置阴离子交换树脂塔3。