专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JP2019073746A 微細孔を有するチタン又はチタン合金の酸化薄膜の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019073746A
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：JP2017198830
申请日：2017-10-12
申请人：栗田工業株式会社
发明人：吉村南美 , 永井達夫
IPC分类号： C25D11/26
摘要：【課題】チタン又はチタン合金薄膜から100nm以下の孔を有するチタン又はチタン合金の酸化薄膜を製造する方法を提供する。【解決手段】処理装置1は、処理槽2とこの処理槽2内に設置された陰極部材4及び陽極部材5とを有し、これら陰極部材4及び陽極部材5はそれぞれ直流電源3のマイナス極及びプラス極に接続している。この処理装置1において、陽極部材5は被処理部材となるものであり、チタン又はチタン合金製の薄膜を用いた部材を用いる。この処理槽2にフッ化水素化合物を0.5重量%以下溶解した酸化剤濃度5g/L以上の硫酸溶液又は電解硫酸液Sを収容して1〜20A/dm 2 の電流密度で電解処理する。【選択図】図1

2. 发明专利

JP6706012B1 微細孔を封孔したチタン又はチタン合金の酸化薄膜の製造方法有权
公开(公告)号：JP6706012B1
公开(公告)日：2020-06-03
申请号：JP2019039983
申请日：2019-03-05
申请人：栗田工業株式会社
发明人：松田卓也 , 吉村南美 , 永井達夫
IPC分类号： C25D11/26
摘要：【課題】微細孔を封孔したチタン又はチタン合金の酸化薄膜の製造方法を提供する。【解決手段】電解処理装置1は、処理槽2とこの処理槽2内に設置された陰極部材4及び陽極部材5とを有し、これら陰極部材4及び陽極部材5はそれぞれ直流電源3のマイナス極及びプラス極に接続している。この電解処理装置1において、陽極部材5は被処理部材となるものであり、チタン又はチタン合金製の薄膜を用いた部材を用いる。この処理槽2にフッ化水素化合物を0.5重量%以下溶解した酸化剤濃度5g/L以上の電解硫酸液Sを収容して1〜20A/dm 2 の電流密度で電解処理する(開孔工程)。その後電流密度を0.1A/dm 2 以下で電解処理を行う(封孔工程)。【選択図】図1

3. 发明专利

JP6512257B1 微細孔を有するチタン又はチタン合金の酸化薄膜の製造方法有权
公开(公告)号：JP6512257B1
公开(公告)日：2019-05-15
申请号：JP2017198830
申请日：2017-10-12
申请人：栗田工業株式会社
发明人：吉村南美 , 永井達夫
IPC分类号： C25D11/26
摘要：【課題】チタン又はチタン合金薄膜から100nm以下の孔を有するチタン又はチタン合金の酸化薄膜を製造する方法を提供する。【解決手段】処理装置1は、処理槽2とこの処理槽2内に設置された陰極部材4及び陽極部材5とを有し、これら陰極部材4及び陽極部材5はそれぞれ直流電源3のマイナス極及びプラス極に接続している。この処理装置1において、陽極部材5は被処理部材となるものであり、チタン又はチタン合金製の薄膜を用いた部材を用いる。この処理槽2にフッ化水素化合物を0.5重量%以下溶解した酸化剤濃度5g/L以上の硫酸溶液又は電解硫酸液Sを収容して1〜20A/dm 2 の電流密度で電解処理する。【選択図】図1

4. 发明专利

JP2020172678A チタン又はチタン合金の酸化皮膜の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020172678A
公开(公告)日：2020-10-22
申请号：JP2019074443
申请日：2019-04-09
申请人：栗田工業株式会社
发明人：松田卓也 , 吉村南美 , 永井達夫
IPC分类号： C25F1/08 , C25D11/26
摘要：【課題】耐薬品性及び耐腐食性に優れ、半導体製造装置への適用に好適な孔を有しないチタン又はチタン合金表面の酸化皮膜を製造する方法を提供する。【解決手段】電解処理装置1は、処理槽2とこの処理槽2内に設置された第一電極部材4及び第二電極部材5とを有し、これら第一電極部材4及び第二電極部材5は直流電源3のプラス極及びマイナス極にそれぞれ接続している。この電解処理装置1において、第一電極部材4は、チタン又はチタン合金製の部材であってその表面に厚い陽極酸化皮膜が形成されたものを用いる。また、第二電極部材5としては、ダイヤモンド基材とした電極や白金族金属を基材とした電極等を用いる。処理槽2に収容する電解処理の溶液としては、硫酸濃度5〜30重量%の電解硫酸Sを用いる。この電解硫酸Sの温度は20〜50℃であり、0.01〜0.1A/dm 2 の電流密度で電流を印加する。【選択図】図5

5. 发明专利

JP2020143325A 微細孔を封孔したチタン又はチタン合金の酸化薄膜の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020143325A
公开(公告)日：2020-09-10
申请号：JP2019039983
申请日：2019-03-05
申请人：栗田工業株式会社
发明人：松田卓也 , 吉村南美 , 永井達夫
IPC分类号： C25D11/26
摘要：【課題】微細孔を封孔したチタン又はチタン合金の酸化薄膜の製造方法を提供する。【解決手段】電解処理装置1は、処理槽2とこの処理槽2内に設置された陰極部材4及び陽極部材5とを有し、これら陰極部材4及び陽極部材5はそれぞれ直流電源3のマイナス極及びプラス極に接続している。この電解処理装置1において、陽極部材5は被処理部材となるものであり、チタン又はチタン合金製の薄膜を用いた部材を用いる。この処理槽2にフッ化水素化合物を0.5重量%以下溶解した酸化剤濃度5g/L以上の電解硫酸液Sを収容して1〜20A/dm 2 の電流密度で電解処理する(開孔工程)。その後電流密度を0.1A/dm 2 以下で電解処理を行う(封孔工程)。【選択図】図1

6. 发明专利

JP2018188702A 金属材表面の酸化皮膜の除去方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018188702A
公开(公告)日：2018-11-29
申请号：JP2017091680
申请日：2017-05-02
申请人：栗田工業株式会社
发明人：吉村南美 , 永井達夫
IPC分类号： C25F1/00
摘要：【課題】アルミニウム又はアルミニウム合金表面に形成される自然酸化皮膜の様な薄い皮膜のみならず、陽極酸化等により形成された厚い酸化皮膜の除去を容易にした金属材表面の酸化皮膜の除去方法の提供。【解決手段】処理装置1は、処理槽2と処理槽2内に設置された陰極部材4及び陽極部材5とを有し、陰極部材4及び陽極部材5は夫々直流電源3のマイナス極及びプラス極に接続しており、処理装置1において、陰極部材4は、アルミニウム又はアルミニウム合金製の部材であって、その表面に厚い陽極酸化皮膜が形成されたものを用い、陽極部材5としては、ダイヤモンド基材とした電極や白金族金属を基材とした電極等を用い、処理槽2に収容する電解処理の溶液としては、pH2以下の硫酸又は硫酸を電気分解したpH2以下の電解硫酸の温度10℃以上の電解液S中で電解処理して、表面の酸化皮膜を除去する、酸化皮膜除去方法。【選択図】図1

7. 发明专利

JP6870389B2 金属材表面の酸化皮膜を除去する方法有权
公开(公告)号：JP6870389B2
公开(公告)日：2021-05-12
申请号：JP2017041568
申请日：2017-03-06
申请人：栗田工業株式会社
发明人：吉村南美 , 永井達夫
IPC分类号： C25F1/08

8. 发明专利

JP2018145477A 金属材表面の酸化皮膜を除去する方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018145477A
公开(公告)日：2018-09-20
申请号：JP2017041568
申请日：2017-03-06
申请人：栗田工業株式会社
发明人：吉村南美 , 永井達夫
IPC分类号： C25F1/08
摘要：【課題】チタン又はチタン合金表面に形成される自然酸化皮膜のみならず陽極酸化などにより形成された厚い酸化皮膜除去を容易にし、再生可能な表面を形成することが可能な金属材表面の酸化皮膜の除去方法の提供。【解決手段】処理装置1は、処理槽2とこの処理槽2内に設置された陰極部材4及び陽極部材5とを有し、これら陰極部材4及び陽極部材5はそれぞれ直流電源3のマイナス極及びプラス極に接続している。この処理装置1において、陰極部材4は、チタン又はチタン合金製の部材であってその表面に厚い陽極酸化皮膜が形成されたものを用いる。また、陽極部材5としては、ダイヤモンド基材とした電極や白金族金属を基材とした電極等を用いる。処理槽2に収容する電解処理の溶液としては、硫酸濃度5〜75重量%の電解液Sを用いる。この電解液Sの温度は10℃以上、好ましくは20〜90℃である、酸化皮膜の除去方法。【選択図】図1

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式