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1. 发明专利

TW200712261A 氟系氣體產生裝置失效
简体标题：氟系气体产生设备
公开(公告)号：TW200712261A
公开(公告)日：2007-04-01
申请号：TW095124690
申请日：2006-07-06
申请人：東洋炭素股份有限公司 TOYO TANSO CO., LTD.
发明人：田中則之 TANAKA, NORIYUKI , 吉本修 YOSHIMOTO, OSAMU , 平岩次郎 HIRAIWA, JIRO , 早川宏 HAYAKAWA, HIROSHI , 東城哲朗 TOJO, TETSURO
IPC分类号： C25B
CPC分类号： C25B1/245 , C25B15/02 , C25B15/08
摘要：一種氟系氣體產生裝置,在具備陽極室與陰極室之電解槽內,具有由包含氟化氫之混合溶融鹽所構成之電解浴,將前述電解浴電氣分解,產生包含氟之氣體的氟系氣體產生裝置,其具有:用來在前述電解槽,供給到達電解浴中之電氣分解用原料的原料供給配管;設置於前述原料供給配管的途中之常閉型閥;及設有連結較前述常閉型閥更下流側的前述原料供給配管與前述電解槽的氣相部分之常開型閥的迂迴用配管。藉此,使得電解浴不會被吸入到氟系氣體產生裝置之原料供給配管內,可事先防止在原料供給配管內產生固化。
简体摘要：一种氟系气体产生设备,在具备阳极室与阴极室之电解槽内,具有由包含氟化氢之混合溶融盐所构成之电解浴,将前述电解浴电气分解,产生包含氟之气体的氟系气体产生设备,其具有:用来在前述电解槽,供给到达电解浴中之电气分解用原料的原料供给配管;设置于前述原料供给配管的途中之常闭型阀;及设有链接较前述常闭型阀更下流侧的前述原料供给配管与前述电解槽的气相部分之常开型阀的迂回用配管。借此,使得电解浴不会被吸入到氟系气体产生设备之原料供给配管内,可事先防止在原料供给配管内产生固化。

2. 发明专利

TW200413571A 氟氣體產生裝置及其電解浴液面控制方法失效
简体标题：氟气体产生设备及其电解浴液面控制方法
公开(公告)号：TW200413571A
公开(公告)日：2004-08-01
申请号：TW092131292
申请日：2003-11-07
申请人：東洋炭素股份有限公司 TOYO TANSO CO., LTD.
发明人：平岩次郎 HIRAIWA, JIRO , 吉本修 YOSHIMOTO, OSAMU , 東城哲朗 TOJO, TETSURO
IPC分类号： C25B
CPC分类号： C25B1/245 , C25B15/02
摘要：本發明的課題是針對於提供一種即使氟氣體產生裝置停止電氣分解也可控制電解槽的電解浴液面的位置的安全的氟氣體產生裝置。本發明用以解決手段是一種氟氣體產生裝置，屬於電解分解含有氟化氫的混合溶解鹽所構成的電解浴而用以產生氟氣體的氟氣體產生裝置，其特徵為：具有藉由隔間壁所分離的陽極室與陰極室；具備控制在中止氟氣體產生時上述陽極室與上述陰極室中至少任一方的電解浴液面高度的電解浴液面控制手段。
简体摘要：本发明的课题是针对于提供一种即使氟气体产生设备停止电气分解也可控制电解槽的电解浴液面的位置的安全的氟气体产生设备。本发明用以解决手段是一种氟气体产生设备，属于电解分解含有氟化氢的混合溶解盐所构成的电解浴而用以产生氟气体的氟气体产生设备，其特征为：具有借由隔间壁所分离的阳极室与阴极室；具备控制在中止氟气体产生时上述阳极室与上述阴极室中至少任一方的电解浴液面高度的电解浴液面控制手段。

3. 发明专利

TW200426248A 氣體發生裝置的電流控制方法及電流控制裝置 ELECTRIC CURRENT CONTROL METHOD AND APPARATUS FOR USE IN GAS GENERATORS 失效
简体标题：气体发生设备的电流控制方法及电流控制设备 ELECTRIC CURRENT CONTROL METHOD AND APPARATUS FOR USE IN GAS GENERATORS
公开(公告)号：TW200426248A
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：TW093113225
申请日：2004-05-11
申请人：東洋炭素股份有限公司 TOYO TANSO CO., LTD.
发明人：東城哲朗 TOJO, TETSURO , 平岩次郎 HIRAIWA, JIRO , 吉本修 YOSHIMOTO, OSAMU
IPC分类号： C25B
CPC分类号： C25B15/02 , C25B1/245
摘要：本發明的課題是針對於提供一種可持續電解的最適當狀態，可進行穩定作業，而且不依賴人員而可發生氟氣或發生氟化物氣體的氣體發生裝置的電流控制方法及電流控制裝置。本發明用以解決手段是：一種氣體發生裝置的電流控制方法，屬於在含有氟化氫的混合溶融鹽所成的電解浴5，作為陽極4a使用碳電極進行電解而發生氟氣或氟化物氣體的氣體發生裝置的電流控制方法，其特徵為：測定將一定電流施加於氣體發生裝置時的陰極4b，陽極間4a的電壓變動幅，按照電壓變動幅一面變動投入電流量一面施加電流。
简体摘要：本发明的课题是针对于提供一种可持续电解的最适当状态，可进行稳定作业，而且不依赖人员而可发生氟气或发生氟化物气体的气体发生设备的电流控制方法及电流控制设备。本发明用以解决手段是：一种气体发生设备的电流控制方法，属于在含有氟化氢的混合溶融盐所成的电解浴5，作为阳极4a使用碳电极进行电解而发生氟气或氟化物气体的气体发生设备的电流控制方法，其特征为：测定将一定电流施加于气体发生设备时的阴极4b，阳极间4a的电压变动幅，按照电压变动幅一面变动投入电流量一面施加电流。

4. 发明专利

TWI308602B 氟氣產生裝置 FLUORINE GAS GENERATOR 失效
简体标题：氟气产生设备 FLUORINE GAS GENERATOR
公开(公告)号：TWI308602B
公开(公告)日：2009-04-11
申请号：TW092114611
申请日：2003-05-29
申请人：東洋炭素股份有限公司 TOYO TANSO CO., LTD.
发明人：東城哲朗 TOJO, TETSURO , 平岩次郎 HIRAIWA, JIRO , 吉本修 YOSHIMOTO, OSAMU , 竹林仁 TAKEBAYASHI, HITOSHI , 多田良臣 TADA, YOSHITOMI , 田中宇大 TANAKA, UDAI
IPC分类号： C25B
CPC分类号： C25B1/245 , C25B15/02
摘要：本發明提供一種:可安定且安全地產生高濃度氟氣的氟氣產生裝置。
本發明的氟氣產生裝置,是可對由含有氟化氫之混合熔鹽所形成的電解浴2進行電氣分解以產生高純度氟氣的氟氣產生裝置,其中具備:利用隔板16將設有陽極的陽極室3、與設有陰極的陰極室4分隔的電解槽1;和使陽極室3與陰極室4內維持大氣壓的壓力維持手段;及3段以上之可偵測前述陽極室3與陰極室4內的前述電解浴2液面高度的液面偵測手段5、6。
简体摘要：本发明提供一种:可安定且安全地产生高浓度氟气的氟气产生设备。本发明的氟气产生设备,是可对由含有氟化氢之混合熔盐所形成的电解浴2进行电气分解以产生高纯度氟气的氟气产生设备,其中具备:利用隔板16将设有阳极的阳极室3、与设有阴极的阴极室4分隔的电解槽1;和使阳极室3与阴极室4内维持大气压的压力维持手段;及3段以上之可侦测前述阳极室3与阴极室4内的前述电解浴2液面高度的液面侦测手段5、6。

5. 发明专利

TWI242537B 氟氣體產生裝置 FLUORINE GAS GENERATOR 失效
简体标题：氟气体产生设备 FLUORINE GAS GENERATOR
公开(公告)号：TWI242537B
公开(公告)日：2005-11-01
申请号：TW092129624
申请日：2003-10-24
申请人：東洋炭素股份有限公司 TOYO TANSO CO., LTD.
发明人：東城哲朗 TOJO, TETSURO , 吉本修 YOSHIMOTO, OSAMU , 平岩次郎 HIRAIWA, JIRO
IPC分类号： C01B
CPC分类号： C25B1/245
摘要：本發明的課題是針對於在氟氣體產生裝置的HF的供給停止時或緊急時，電解浴也不會腐蝕上游線，且在線內不會留下HF。
本發明用以解決手段是一種氟氣體產生裝置，屬於電氣分解含有氟化氫的混合溶融鹽所構成的電解浴而用以產生氟氣體的氟氣體產生裝置，其特徵為具備：
在上述電解浴中供給氟化氫氣體的氟化氫氣體供給線；
配置於上述氟化氫氣體供給線上，且在停止上述氟化氫氣體的供給時封閉的第一自動閥；以及
在停止上述氟化氫氣體的供給時，排除殘存於比上述氟化氫氣體供給線的上述第一自動閥更下游側的線內的氟化氫氣體而置換成惰性氣體的惰性氣體置換手段。
简体摘要：本发明的课题是针对于在氟气体产生设备的HF的供给停止时或紧急时，电解浴也不会腐蚀上游线，且在线内不会留下HF。本发明用以解决手段是一种氟气体产生设备，属于电气分解含有氟化氢的混合溶融盐所构成的电解浴而用以产生氟气体的氟气体产生设备，其特征为具备：在上述电解浴中供给氟化氢气体的氟化氢气体供给线；配置于上述氟化氢气体供给在线，且在停止上述氟化氢气体的供给时封闭的第一自动阀；以及在停止上述氟化氢气体的供给时，排除残存于比上述氟化氢气体供给线的上述第一自动阀更下游侧的线内的氟化氢气体而置换成惰性气体的惰性气体置换手段。

6. 发明专利

TW200416306A 氟氣產生裝置失效
简体标题：氟气产生设备
公开(公告)号：TW200416306A
公开(公告)日：2004-09-01
申请号：TW092126008
申请日：2003-09-19
申请人：東洋炭素股份有限公司 TOYO TANSO CO., LTD.
发明人：平岩次郎 HIRAIWA, JIRO , 吉本修 YOSHIMOTO, OSAMU , 東城哲朗 TOJO, TETSURO
IPC分类号： C25B
CPC分类号： C25B15/00 , C25B1/245 , C25B9/00
摘要：本發明是提供一種即使萬一在氣體漏出的情況時，儘可能地使所使用或產生的氣體不會混合，且不會外漏至外部而能夠安全地進行處理，又，亦能夠容易進行維修或交換作業等之氟氣產生裝置。此氟氣產生裝置是具備有用來收容氟氣產生用電解槽1之框體100的氟氣產生裝置。該框體100是區隔成包含收容前述電解槽1的隔間之2個以上的隔間102、103。
简体摘要：本发明是提供一种即使万一在气体漏出的情况时，尽可能地使所使用或产生的气体不会混合，且不会外漏至外部而能够安全地进行处理，又，亦能够容易进行维修或交换作业等之氟气产生设备。此氟气产生设备是具备有用来收容氟气产生用电解槽1之框体100的氟气产生设备。该框体100是区隔成包含收容前述电解槽1的隔间之2个以上的隔间102、103。

7. 发明专利

TW200741802A 半導體製造設備审中-公开
简体标题：半导体制造设备
公开(公告)号：TW200741802A
公开(公告)日：2007-11-01
申请号：TW096104462
申请日：2007-02-07
申请人：東洋炭素股份有限公司 TOYO TANSO CO., LTD. , 東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：平岩次郎 HIRAIWA, JIRO , 吉本修 YOSHIMOTO, OSAMU , 早川宏 HAYAKAWA, HIROSHI , 東城哲朗 TOJO, TETSURO , 岡部庸之 OKABE, TSUNEYUKI , 淺野貴庸 ASANO, TAKANOBU , 和田真一 WADA, SHINICHI , 中尾賢 NAKAO, KEN , 加藤壽 KATO, HITOSHI
IPC分类号： H01L
CPC分类号： F17D1/04 , C01B7/19 , F17C2250/032 , F17C2270/0518 , H01L21/67017 , H01L21/67276
摘要：氟氣產生裝置,和半導體製造裝置3a~3e,係經由氣體供給系統2來連接,該系統具有可將現場氟氣產生裝置1a~1e所產生之氟氣作特定量貯藏的貯藏槽12;現場氟氣產生裝置1a~1e中有一個以上停止之際,則從貯存有特定量氟氣之貯藏槽12,對半導體製造裝置3a~3e供給氟氣,藉此維持半導體製造裝置3a~3e的運用。藉此,可以對半導體製造裝置安全及安定地供給氟氣產生裝置所產生的氟氣,且可得到半導體製造之成本表現優良的半導體製造設備。
简体摘要：氟气产生设备,和半导体制造设备3a~3e,系经由气体供给系统2来连接,该系统具有可将现场氟气产生设备1a~1e所产生之氟气作特定量贮藏的贮藏槽12;现场氟气产生设备1a~1e中有一个以上停止之际,则从贮存有特定量氟气之贮藏槽12,对半导体制造设备3a~3e供给氟气,借此维持半导体制造设备3a~3e的运用。借此,可以对半导体制造设备安全及安定地供给氟气产生设备所产生的氟气,且可得到半导体制造之成本表现优良的半导体制造设备。

8. 发明专利

TWI265980B 氣體發生裝置的電流控制方法及電流控制裝置 ELECTRIC CURRENT CONTROL METHOD AND APPARATUS FOR USE IN GAS GENERATORS 失效
简体标题：气体发生设备的电流控制方法及电流控制设备 ELECTRIC CURRENT CONTROL METHOD AND APPARATUS FOR USE IN GAS GENERATORS
公开(公告)号：TWI265980B
公开(公告)日：2006-11-11
申请号：TW093113225
申请日：2004-05-11
申请人：東洋炭素股份有限公司 TOYO TANSO CO., LTD.
发明人：東城哲朗 TOJO, TETSURO , 平岩次郎 HIRAIWA, JIRO , 吉本修 YOSHIMOTO, OSAMU
IPC分类号： C25B
CPC分类号： C25B15/02 , C25B1/245
摘要：本發明的課題是針對於提供一種可持續電解的最適當狀態，可進行穩定作業，而且不依賴人員而可發生氟氣或發生氟化物氣體的氣體發生裝置的電流控制方法及電流控制裝置。
本發明用以解決手段是：一種氣體發生裝置的電流控制方法，屬於在含有氟化氫的混合溶融鹽所成的電解浴5，作為陽極4a使用碳電極進行電解而發生氟氣或氟化物氣體的氣體發生裝置的電流控制方法，其特徵為：測定將一定電流施加於氣體發生裝置時的陰極4b，陽極間4a的電壓變動幅，按照電壓變動幅一面變動投入電流量一面施加電流。
简体摘要：本发明的课题是针对于提供一种可持续电解的最适当状态，可进行稳定作业，而且不依赖人员而可发生氟气或发生氟化物气体的气体发生设备的电流控制方法及电流控制设备。本发明用以解决手段是：一种气体发生设备的电流控制方法，属于在含有氟化氢的混合溶融盐所成的电解浴5，作为阳极4a使用碳电极进行电解而发生氟气或氟化物气体的气体发生设备的电流控制方法，其特征为：测定将一定电流施加于气体发生设备时的阴极4b，阳极间4a的电压变动幅，按照电压变动幅一面变动投入电流量一面施加电流。

9. 发明专利

TWI250229B 熔融鹽電解槽之控制裝置及控制方法 APPARATUS AND METHOD FOR MOLTEN SALT ELECTROLYTIC BATH CONTROL 失效
简体标题：熔融盐电解槽之控制设备及控制方法 APPARATUS AND METHOD FOR MOLTEN SALT ELECTROLYTIC BATH CONTROL
公开(公告)号：TWI250229B
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：TW093119204
申请日：2004-06-29
申请人：東洋炭素股份有限公司 TOYO TANSO CO., LTD.
发明人：東城哲朗 TOJO, TETSURO , 平岩次郎 HIRAIWA, JIRO , 吉本修 YOSHIMOTO, OSAMU
IPC分类号： C25C
CPC分类号： C25B1/245 , C25B15/00 , C25C7/06
摘要： [課題]目的在於提供：由電解浴熔融至能夠開始電解之狀態為止，可以安全的過渡之控制裝置及其控制方法。
[解決手段]一種令收容在電解槽1之固體狀電解浴2熔融，自動地成為可電解狀態之熔融鹽電解槽之控制裝置，具有：藉由設置在電解槽1之檢測器33，以檢測電解槽之狀態變化之檢測手段，及在前述檢測手段實施後，將電解浴液面調整為可以電解之狀態之調整手段。
简体摘要： [课题]目的在于提供：由电解浴熔融至能够开始电解之状态为止，可以安全的过渡之控制设备及其控制方法。 [解决手段]一种令收容在电解槽1之固体状电解浴2熔融，自动地成为可电解状态之熔融盐电解槽之控制设备，具有：借由设置在电解槽1之检测器33，以检测电解槽之状态变化之检测手段，及在前述检测手段实施后，将电解浴液面调整为可以电解之状态之调整手段。

10. 发明专利

TWI248990B 氟氣體產生裝置及其電解浴液面控制方法失效
简体标题：氟气体产生设备及其电解浴液面控制方法
公开(公告)号：TWI248990B
公开(公告)日：2006-02-11
申请号：TW092131292
申请日：2003-11-07
申请人：東洋炭素股份有限公司 TOYO TANSO CO., LTD.
发明人：平岩次郎 HIRAIWA, JIRO , 吉本修 YOSHIMOTO, OSAMU , 東城哲朗 TOJO, TETSURO
IPC分类号： C25B
CPC分类号： C25B1/245 , C25B15/02
摘要：本發明的課題是針對於提供一種即使氟氣體產生裝置停止電氣分解也可控制電解槽的電解浴液面的位置的安全的氟氣體產生裝置。
本發明用以解決手段是一種氟氣體產生裝置，屬於電解分解含有氟化氫的混合溶解鹽所構成的電解浴而用以產生氟氣體的氟氣體產生裝置，其特徵為：具有藉由隔間壁所分離的陽極室與陰極室；具備控制在中止氟氣體產生時上述陽極室與上述陰極室中至少任一方的電解浴液面高度的電解浴液面控制手段。
简体摘要：本发明的课题是针对于提供一种即使氟气体产生设备停止电气分解也可控制电解槽的电解浴液面的位置的安全的氟气体产生设备。本发明用以解决手段是一种氟气体产生设备，属于电解分解含有氟化氢的混合溶解盐所构成的电解浴而用以产生氟气体的氟气体产生设备，其特征为：具有借由隔间壁所分离的阳极室与阴极室；具备控制在中止氟气体产生时上述阳极室与上述阴极室中至少任一方的电解浴液面高度的电解浴液面控制手段。

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