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    • 6. 发明专利
    • 表面處理裝置
    • 表面处理设备
    • TW200946572A
    • 2009-11-16
    • TW098107504
    • 2009-03-06
    • 東洋炭素股份有限公司
    • 平岩次郎竹林仁吉本修田中則之藤田一郎佐佐木啟能森一高
    • C08J
    • H01L21/6719B01J4/008H01L21/67017H01L21/67109
    • 表面處理裝置100,是具備:稀釋氣體供給裝置(1)、及氟氣體供給裝置(2)、及將稀釋氣體及氟氣體混合的混合器(5)、及使用由混合器(5)生成的混合氣體將被處理物處理的反應器(6)。將從稀釋氣體供給裝置供給的稀釋氣體由加熱器(8)加熱,將被加熱的稀釋氣體及從氟氣體供給裝置供給的氟氣體在混合器(5)混合。被混合的氣體,是朝反應器(6)被送出。反應器(6)內的氣體,是藉由排氣裝置(207)從反應器(6)朝流路(219)、(220)、(221)、(222)被導引。閥(223)、(224)、(225)、(226)是依順被打開,將反應器(6)內的氣體的流量,一邊藉由使用流路(219)、(220)、(221)、(222)調整,一邊將反應器(6)內的氣體朝除害裝置(208)被送出。
    • 表面处理设备100,是具备:稀释气体供给设备(1)、及氟气体供给设备(2)、及将稀释气体及氟气体混合的混合器(5)、及使用由混合器(5)生成的混合气体将被处理物处理的反应器(6)。将从稀释气体供给设备供给的稀释气体由加热器(8)加热,将被加热的稀释气体及从氟气体供给设备供给的氟气体在混合器(5)混合。被混合的气体,是朝反应器(6)被送出。反应器(6)内的气体,是借由排气设备(207)从反应器(6)朝流路(219)、(220)、(221)、(222)被导引。阀(223)、(224)、(225)、(226)是依顺被打开,将反应器(6)内的气体的流量,一边借由使用流路(219)、(220)、(221)、(222)调整,一边将反应器(6)内的气体朝除害设备(208)被送出。
    • 7. 发明专利
    • 氣體產生裝置 GAS GENERATOR
    • 气体产生设备 GAS GENERATOR
    • TWI332037B
    • 2010-10-21
    • TW093136785
    • 2004-11-29
    • 東洋炭素股份有限公司
    • 早川宏吉本修田中則之平岩次郎東城哲朗
    • C25B
    • C25B15/02C25B1/245C25B15/08
    • 本發明是提供一種:藉由延長過濾器的壽命,而可長時間保護壓力調整閥的氣體產生裝置。
      本發明的氣體產生裝置,是對電解槽內的電解浴進行電解後產生氣體的氣體產生裝置,其中具備:可去除氣體產生裝置所衍生之不需要的成分的去除塔、和去除前述去除塔所排出之微粒的過濾器、及可調整前述電解槽內壓力的壓力調整閥,而前述的過濾器是插入在前述去除塔的下游,且前述壓力調整閥是配置在前述過濾器的下游。
    • 本发明是提供一种:借由延长过滤器的寿命,而可长时间保护压力调整阀的气体产生设备。 本发明的气体产生设备,是对电解槽内的电解浴进行电解后产生气体的气体产生设备,其中具备:可去除气体产生设备所衍生之不需要的成分的去除塔、和去除前述去除塔所排出之微粒的过滤器、及可调整前述电解槽内压力的压力调整阀,而前述的过滤器是插入在前述去除塔的下游,且前述压力调整阀是配置在前述过滤器的下游。