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1. 发明专利

JP5496630B2 An electrostatic chuck device 有权
公开(公告)号：JP5496630B2
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：JP2009280672
申请日：2009-12-10
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 住友大阪セメント株式会社
发明人：康晴佐々木 , 健二増澤 , 暁之眞壁 , 守小坂井 , 隆佐藤 , 和典石村 , 竜二早原 , 仁河野
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/3065 , H01L21/31
CPC分类号： H01L21/6831 , H01J37/32642 , H01J2237/332 , H01J2237/338 , H01L21/67069 , H01L21/67103 , H01L21/67109 , H01L21/67248

2. 发明专利

JP5163349B2 An electrostatic chuck device 有权
公开(公告)号：JP5163349B2
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：JP2008199656
申请日：2008-08-01
申请人：住友大阪セメント株式会社
发明人：守小坂井 , 和典石村 , 隆佐藤 , 竜二早原 , 剛志渡辺 , 義明森谷
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/3065

3. 发明专利

JP5522220B2 An electrostatic chuck device 有权
公开(公告)号：JP5522220B2
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：JP2012200990
申请日：2012-09-12
申请人：住友大阪セメント株式会社
发明人：守小坂井 , 和典石村 , 隆佐藤 , 竜二早原 , 剛志渡辺 , 義明森谷
IPC分类号： H01L21/683 , B23Q3/15 , H02N13/00

4. 发明专利

JP5423632B2 An electrostatic chuck device 有权
公开(公告)号：JP5423632B2
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：JP2010216823
申请日：2010-09-28
申请人：住友大阪セメント株式会社
发明人：隆佐藤 , 和典石村 , 竜二早原 , 剛志渡辺 , 守小坂井 , 圭古内 , 義明森谷
IPC分类号： H01L21/683 , B23Q3/15 , H02N13/00
CPC分类号： H01L21/6831 , H01L21/67103 , Y10T279/23

5. 发明专利

JPWO2013047555A1 静電チャック装置有权
标题翻译：静电吸盘装置
公开(公告)号：JPWO2013047555A1
公开(公告)日：2015-03-26
申请号：JP2013536319
申请日：2012-09-26
申请人：住友大阪セメント株式会社
发明人：竜二早原 , 竜二早原 , 和典石村 , 和典石村 , 小坂井　守 , 守小坂井
IPC分类号： H01L21/683 , B23Q3/15 , H02N13/00
CPC分类号： H01L21/6833 , H01L21/67109 , H01L21/6831
摘要：ウエハ等の板状試料を載置する載置面における面内温度分布を均一化することができ、さらには板状試料上におけるプラズマ密度を均一化することで板状試料のプラズマエッチングの面内均一性を向上させることができる静電チャック装置が提供される。そのような静電チャック装置は、上面を板状試料を載置する載置面とするとともに静電吸着用内部電極を内蔵してなる静電チャック部と、この静電チャック部を冷却する冷却ベース部とを備え、この静電チャック部と冷却ベース部との間に所定の形状のヒーターパターン(21)を有するヒータエレメント(4)を設け、このヒーターパターン(21)の隙間部分(23)に、ヒーターパターン(21)から独立しかつヒーターパターン(21)と同一の材質からなる島状部(24)を備えている。
摘要翻译：用于安装板样品诸如晶片安装面的面内温度分布变得均匀，并且通过均匀的板样品的等离子体密度进一步板状样的等离子蚀刻的平面静电夹持装置提供了能够改善均匀性。这样的静电卡盘装置，其包括静电吸盘部内置用于与安装表面的静电吸引内部电极的板状样件安装于上表面，冷却用于冷却所述静电吸盘部和基座部分，一加热元件（4），其具有被设置在静电吸盘部冷却基座单元之间的加热器图案（21）的预定形状，该加热器图案的间隙部分（21）（23）于，单独的和岛屿由相同的材料作为从加热器图案（21）的加热器图案（21）至（24）。

6. 发明专利

JP5504924B2 An electrostatic chuck device 有权
公开(公告)号：JP5504924B2
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：JP2010018211
申请日：2010-01-29
申请人：住友大阪セメント株式会社
发明人：隆佐藤 , 和典石村 , 竜二早原 , 剛志渡辺 , 守小坂井
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00

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