专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

2. 发明专利

JP2015084383A フォーカスリング及びプラズマ処理装置有权
标题翻译：聚焦环和等离子体加工设备
公开(公告)号：JP2015084383A
公开(公告)日：2015-04-30
申请号：JP2013222563
申请日：2013-10-25
申请人：東京エレクトロン株式会社 , グリーン、ツィードアンドカンパニージャパン株式会社
发明人：長山将之 , 佐藤直行 , 岡正彦 , 松岡保幸
IPC分类号： H05H1/46 , H01L21/683 , H01L21/3065
CPC分类号： H01J37/32642 , H01J37/32091
摘要：【課題】十分な熱伝導性を確保すること。【解決手段】フォーカスリングは、処理チャンバー内で被処理基板を載置保持する載置台の外周上部に着脱可能に装着されるフォーカスリングである。このフォーカスリングは、被処理基板を保持する側の表面と載置台の外周上部に装着される側の裏面とを有するリング状のリング本体と、リング本体の裏面に予め固定され、このリング本体を載置台の外周上部に装着する際に、リング本体と載置台の外周上部との間に介在するように装着された粘着性の熱伝導シートとを有する。熱伝導シートは、リング本体に予め接着され一体化されたものであり;熱伝導シートの一方の面にこの熱伝導シートと同質の未加硫ゴムを塗布した後、この面をリング本体に接合し、リング本体と共に加熱処理することによりリング本体に加硫接着されることで一体化されたものである。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：确保足够的热导率。解决方案：聚焦环是可拆卸地附接到安装基座的外周的上部的聚焦环，以便在处理室中安装和保持待处理的基板。聚焦环具有：环状环状体，其具有在待加工基板的保持侧的前表面和安装基部的外周的上部的安装侧的后表面; 以及预先固定在所述环形体的后表面上并且以将所述环体附接到所述环体的上部的方式安装在所述环状体和所述安装基部的外周的上部之间的粘合性导热性片安装基座的外周。将导热片预先粘合到环体上并统一起来，并且在导热片的一个表面上涂覆与导热片质量相同的未硫化橡胶之后，将该表面接合到环体上，一起加热与环体硫化并粘附到环体上，由此将片和环体统一。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式