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1. 发明专利

JP6832207B2 静電容量測定用の測定器有权
公开(公告)号：JP6832207B2
公开(公告)日：2021-02-24
申请号：JP2017064814
申请日：2017-03-29
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：杉田吉平 , 南朋秀 , 西尾哲
IPC分类号： H01L21/683 , G01R27/26

2. 发明专利

JP2017228754A 静電容量測定用の測定器、及び、測定器を用いて処理システムにおける搬送位置データを較正する方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017228754A
公开(公告)日：2017-12-28
申请号：JP2016207649
申请日：2016-10-24
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：杉田吉平 , 南朋秀
IPC分类号： G01B7/00 , H01L21/68
摘要：【課題】フォーカスリングと測定器との位置関係を把握する。【解決手段】静電容量測定用の測定器が提供される。測定器は、円盤形状を有するベース基板と、ベース基板のエッジに沿って配列された複数の側部電極をそれぞれ提供する複数の第1センサ、各々がベース基板の底面に沿って設けられた底部電極を有する一以上の第2センサ、及び、回路基板を備える。回路基板は、複数の側部電極及び底部電極に高周波信号を与え、複数の側部電極における電圧振幅のそれぞれから静電容量を表す複数の第1測定値を生成し、底部電極における電圧振幅から静電容量を表す第2測定値を生成するよう構成されている。【選択図】図5

3. 发明专利

JP2016011875A 圧力センサの製造方法および圧力センサ审中-公开
标题翻译：压力传感器制造方法和压力传感器
公开(公告)号：JP2016011875A
公开(公告)日：2016-01-21
申请号：JP2014133255
申请日：2014-06-27
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：南朋秀
IPC分类号： G01L21/12
CPC分类号： G01L21/12
摘要：【課題】気体の圧力の測定精度を向上させる。【解決手段】気体に晒された電気抵抗体20を発熱させ、気体の圧力に応じて生じた電気抵抗体20の温度変化を、電気抵抗体20の抵抗値の変化として出力するセンサモジュール10の製造方法であって、基板11上に酸化膜または窒化膜である絶縁層14を形成する第1の工程と、絶縁層14上に、300度以上、かつ、600度以下の温度条件下で、電気抵抗体20となる導体層21を形成する第2の工程とを含む。【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：提高测量气体压力的精度。传感器模块10的制造方法，其将暴露于气体的电阻器20加热并输出根据气体压力产生的电阻器20的温度变化，作为电阻器20的电阻值的变化包括：在基板11上形成作为氧化膜或氮化膜的绝缘体层14的第一工序; 以及在温度在300度至600度的范围内，在绝缘体层14上形成作为电阻器的导体层21的第二步骤。

4. 发明专利

JP2021005827A アンテナ装置及び温度検出方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021005827A
公开(公告)日：2021-01-14
申请号：JP2019119616
申请日：2019-06-27
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：呉同 , 南朋秀
IPC分类号： H01Q1/38 , G01K7/32 , G01K1/024 , H01L21/66 , H01Q9/16
摘要：【課題】ウエハに設けたアンテナを用いてウエハの温度の検出結果を好適に送信し得る技術を提供する。【解決手段】例示的実施形態のアンテナ装置は第1金属層と第1金属層上に設けられた第1誘電体層と第1誘電体層上に設けられた第2金属層と第2金属層上に設けられた第2誘電体層とを有し、アンテナ装置は第2誘電体層上に設けられた第1金属端子及び第2金属端子と第2誘電体層上に設けられた温度検出器とを備え、第1金属端子と第2金属端子とは互いに離隔して配置され、温度検出器の一対の入出力端子の各々は第1金属端子及び第2金属端子の各々に電気的に接続され、第2金属層は第1誘電体層上に配置された第1部分と第2部分とを有し、第1部分と第2部分とは互いに離隔して配置され、第1金属端子は第1部分の上方に配置され、第2金属端子は第2部分の上方に配置され、第1誘電体層の材料はFR-4樹脂よりも高い熱伝導率と高い耐熱性とを有する。【選択図】図1

5. 发明专利

JP6712939B2 静電容量測定用の測定器、及び、測定器を用いて処理システムにおける搬送位置データを較正する方法有权
公开(公告)号：JP6712939B2
公开(公告)日：2020-06-24
申请号：JP2016207649
申请日：2016-10-24
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：杉田吉平 , 南朋秀
IPC分类号： H01L21/66 , G01B7/00 , H01L21/68

6. 发明专利

JP2017003557A 静電容量測定用のセンサチップ及び同センサチップを備えた測定器审中-公开
标题翻译：计装备有传感器芯片和传感器芯片电容测量
公开(公告)号：JP2017003557A
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：JP2015207787
申请日：2015-10-22
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：杉田吉平 , 南朋秀
IPC分类号： H01L21/68 , G01B7/14
摘要：【課題】特定方向に高い指向性をもって静電容量の測定を行うことを可能とする。【解決手段】一実施形態の静電容量測定用のセンサチップは、第1電極、第2電極、及び第3電極を有している。第1電極は第1部分を有している。第2電極は、第1電極の第1部分の上で延在する第2部分を有し、センサチップ内において第1電極から絶縁されている。第3電極は、第1電極の第1部分及び第2電極の第2部分に交差する方向に延びる前面を有し、第1部分の上、且つ第2部分の上に設けられており、該センサチップ内において第1電極及び第2電極から絶縁されている。【選択図】図8
摘要翻译：甲使得能够测量具有高指向性的电容在特定方向上。用传感器芯片在一个实施例中的电容测量包括第一电极，第二电极和第三电极。所述第一电极具有第一部分。所述第二电极具有延伸在所述第一电极的第一部分和从所述传感器芯片的第一电极绝缘的第二部分。所述第三电极具有前表面延伸的方向交叉的第一部分的第二部分与所述第一电极的第二电极，在第一部分上，这与设置在第二部分中，所述它是由所述第一电极和在所述传感器芯片的第二电极绝缘。点域8

7. 发明专利

JP6948873B2 測定器を較正する方法、及び、ケース有权
公开(公告)号：JP6948873B2
公开(公告)日：2021-10-13
申请号：JP2017148031
申请日：2017-07-31
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：杉田吉平 , 南朋秀
IPC分类号： G01B7/00

8. 发明专利

JP6586394B2 静電容量を表すデータを取得する方法有权
公开(公告)号：JP6586394B2
公开(公告)日：2019-10-02
申请号：JP2016110095
申请日：2016-06-01
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：杉田吉平 , 南朋秀
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/3065 , G01B7/00 , H01L21/68

9. 发明专利

JP6293588B2 圧力センサおよび圧力センサの製造方法有权
公开(公告)号：JP6293588B2
公开(公告)日：2018-03-14
申请号：JP2014133267
申请日：2014-06-27
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：南朋秀
IPC分类号： G01L21/12
CPC分类号： C23C14/5873 , G01L21/12

10. 发明专利

JP2017005133A フォーカスリングを検査するためのシステム、及びフォーカスリングを検査する方法审中-公开
标题翻译：检查的系统中的方法，和用于检查所述聚焦环的聚焦环
公开(公告)号：JP2017005133A
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：JP2015118183
申请日：2015-06-11
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：杉田吉平 , 南朋秀
IPC分类号： G01B7/06 , H01L21/3065
CPC分类号： G01N27/24
摘要：【課題】フォーカスリングを検査するためのシステムを提供する。【解決手段】一実施形態のシステムは、測定器、搬送装置、及び演算装置を備える。測定器は、ベース基板、センサチップ、及び回路基板を有している。センサチップは、センサ電極を有し、ベース基板のエッジに沿って設けられている。回路基板は、センサ電極に高周波信号を与え、センサ電極における電圧振幅から静電容量を表すデジタル値を取得する。搬送装置は、測定器を走査する。演算装置は、フォーカスリングの内縁に交差する方向に沿った複数の位置において測定器によって取得された複数のデジタル値に対する差分演算により、複数の差分値を求める。【選択図】図1
摘要翻译：本发明的一个目的是提供一种用于检测聚焦环的系统。一个实施方式的系统包括测量仪器，运输设备和算术单元。该仪器具有基础基板，传感器芯片，和一个电路板。传感器芯片具有传感器电极，沿基材的边缘设置。电路板给出了一个高频信号到传感器电极，以获得表示所述电压振幅的在传感器电极的电容的数字值。输送装置扫描测量仪器。计算装置，相对于多个在多个沿方向交叉的聚焦环的内边缘的位置由测量装置得到的数字值的差的操作，获得多个差值。点域1

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